
量子井戸とは、電荷キャリアのエネルギー分布が離散的であるポテンシャル井戸のことである。
バルク領域ではキャリアは3つの空間方向に自由に移動できるのに対し、量子井戸ではキャリアの移動は2つの(平面)方向にしか自由ではありません。量子サイズ効果は、少なくとも1つの方向(半導体ヘテロ構造量子井戸の場合は成長方向、つまり横方向)の領域のサイズがキャリア(半導体中の電子と正孔)のド・ブロイ波長に匹敵するようになったときに発生し、その結果、キャリアのエネルギー スペクトルが離散化されます。
半導体量子井戸は二重ヘテロ構造で実現できる。二重ヘテロ構造の概念は、1963年にハーバート・クレーマー[ 2 ]とジョレス・アルフェロフおよびルドルフ・カザリノフ[ 3 ]によって独立に提案された。
1970年、レオ・エサキとラファエル・ツウは合成超格子を発明した。[ 4 ]彼らはまた、異なるバンドギャップを持つ半導体の薄い層を交互に重ねたヘテロ構造が興味深く有用な特性を示すことを示唆した。[ 5 ]それ以来、量子井戸システムの物理学の研究と量子井戸デバイスの開発に多大な努力と研究が注がれてきた。
量子井戸デバイスの開発は、結晶成長技術の進歩に大きく起因している。これは、量子井戸デバイスには欠陥の少ない高純度の構造が必要となるためである。したがって、これらのヘテロ構造の成長を高度に制御することで、非常に微調整された特性を持つ半導体デバイスの開発が可能になる。[ 4 ]
半導体材料およびデバイス、特に量子井戸に基づくものは、物理学研究において注目の的となっている。半導体ヘテロ構造に基づく高速光電子デバイスの開発は、2000年にジョレス・アルフェロフとヘルベルト・クレーマーにノーベル物理学賞が授与されたことで認められた。 [ 6 ] [ 7 ] [ 8 ]
量子井戸デバイスに関する理論は、発光ダイオードやトランジスタなど、多くの現代的な部品の製造と効率において著しい進歩をもたらしました。今日、こうしたデバイスは、現代の携帯電話、コンピュータ、その他多くのコンピューティングデバイスに広く普及しています。
量子井戸は、半導体において、ガリウムヒ素などの材料を、アルミニウムヒ素などのバンドギャップの広い材料の2つの層で挟むことによって形成されます。(その他の例としては、窒化ガリウムの2つの層の間にインジウムガリウム窒化物の層を挟む場合などがあります。)これらの構造は、分子線エピタキシー法または化学気相成長法によって、単分子層まで層の厚さを制御しながら成長させることができます。
薄い金属膜も量子井戸状態を支持することができ、特に金属や半導体表面に成長させた薄い金属オーバーレイがこれに該当します。真空と金属の界面は電子(または正孔)を片側に閉じ込めますが、一般的には半導体基板の場合は絶対ギャップによって、金属基板の場合は投影バンドギャップによって閉じ込められます。
QW材料システムを成長させる主なアプローチは、格子整合、歪み平衡、歪みの3つである。[ 9 ]

最も単純な量子井戸システムの1つは、異なるバンドギャップを持つ2つの半導体材料層の間に、別の種類の半導体材料の薄い層を挿入することによって構築できます。例として、バンドギャップの大きいAlGaAsの2つの層が、バンドギャップの小さいGaAsの薄い層を挟んでいる場合を考えてみましょう。材料の変化がz方向に沿って起こると仮定すると、ポテンシャル井戸はz方向に沿っています( x-y平面には閉じ込めはありません)。含まれる材料のバンドギャップは周囲のAlGaAsよりも小さいため、GaAs領域に量子井戸(ポテンシャル井戸)が形成されます。この構造全体にわたるバンドエネルギーの変化は、キャリアが感じるポテンシャルの変化と見なすことができ、したがって、低エネルギーキャリアはこれらの井戸に捕捉されます。[ 8 ]

量子井戸内には、キャリアが取り得る離散的なエネルギー固有状態が存在する。例えば、伝導帯の電子は、この構造のAlGaAs領域よりも井戸内では低いエネルギーを持つことができる。したがって、エネルギーの低い伝導帯の電子は量子井戸内に捕捉される可能性がある。同様に、価電子帯の正孔も、価電子帯に形成されたポテンシャル井戸の頂上に捕捉される可能性がある。閉じ込められたキャリアが取り得る状態は、箱の中の粒子のような状態である。[ 4 ]
量子井戸および量子井戸デバイスは、固体物理学の一分野であり、今日でも盛んに研究されている。このようなシステムを記述するために用いられる理論は、量子物理学、統計物理学、および電気力学の分野における重要な成果に基づいている。
量子井戸システムの最も単純なモデルは、無限井戸モデルです。このモデルでは、ポテンシャル井戸の壁/障壁は無限であると仮定されます。実際には、量子井戸は一般的に数百ミリ電子ボルトのオーダーです。しかし、第一近似として、無限井戸モデルは、量子井戸の背後にある物理を理解するためのシンプルで有用なモデルとして機能します。[ 4 ]
z方向に配向した無限量子井戸を考えます。この井戸内のキャリアはz方向には閉じ込められていますが、 x – y平面内では自由に移動できます。量子井戸は次のように選択します。に我々は、キャリアがウェル内で電位差を受けず、障壁領域の電位が無限に高いと仮定する。
無限井戸モデルにおけるキャリアのシュレーディンガー方程式は次のとおりです。
どこは換算プランク定数であり、は、ウェル領域内のキャリアの有効質量です。キャリアの有効質量は、電子が量子環境で「感じる」質量であり、有効質量の値はバンドの曲率に大きく依存するため、一般的に半導体によって異なります。 これは、伝導帯の井戸内の電子の有効質量、または価電子帯の井戸内の正孔の有効質量である。

ポテンシャルが無限に高いため、解の波動関数は井戸の障壁領域には存在できません。したがって、以下の境界条件を課すことで、許容される波動関数が得られます。
解の波動関数は次の形式をとる。
下付き文字、()は整数量子数を表し、は、上記で示した各状態に対応する波数ベクトルです。対応する離散エネルギーは次のように与えられます。
単純な無限井戸モデルは、量子井戸システムの物理と量子閉じ込め効果を分析するための良い出発点となる。このモデルは、井戸内のエネルギーが井戸の長さの二乗に反比例することを正しく予測する。これは、半導体層の幅、すなわち井戸の長さを精密に制御することで、井戸内のキャリアに許容されるエネルギー準位を精密に制御できることを意味する。これは、バンドギャップエンジニアリングにとって非常に有用な特性である。さらに、このモデルは、エネルギー準位が有効質量の逆数に比例することを示している。したがって、重い正孔と軽い正孔は、井戸に捕捉されたときに異なるエネルギー状態を持つことになる。重い正孔と軽い正孔は、曲率の異なる価電子帯の最大値が一致するときに発生し、結果として2つの異なる有効質量が生じる。[ 4 ]
無限井戸モデルの欠点は、実際の量子井戸の壁は有限であるため、存在するエネルギー状態よりもはるかに多くのエネルギー状態を予測してしまう点です。また、このモデルは、実際には波動関数が井戸の境界でゼロになるのではなく、(量子トンネル効果によって)壁に「漏れ込み」、指数関数的にゼロに減衰するという事実を無視しています。この特性は、超格子やその他の新しい量子井戸デバイスの設計と製造を可能にし、有限井戸モデルによってより適切に説明されます。
有限井戸モデルは、量子井戸のより現実的なモデルを提供する。ここでは、ヘテロ構造における井戸の壁は有限ポテンシャルを用いてモデル化される。これは、異なる半導体の伝導帯エネルギーの差です。壁は有限であり、電子は障壁領域にトンネルすることができます。したがって、許容波動関数は障壁壁を透過します。[ 5 ]
z方向に配向した有限量子井戸を考えます。この井戸内のキャリアはz方向には閉じ込められますが、 x – y平面内では自由に移動できます。量子井戸は次のように選択します。に我々は、キャリアが井戸内では電位差を受けず、障壁地帯において。
井戸内のキャリアに関するシュレーディンガー方程式は、壁面における境界条件を除いて、無限井戸モデルと比べて変化はありません。境界条件では、波動関数とその傾きが境界で連続であることが要求されます。
障壁領域内におけるキャリアに関するシュレーディンガー方程式は次のようになる。
どこは障壁領域におけるキャリアの実効質量であり、一般的に井戸内の実効質量とは異なる。[ 4 ]

関連する境界条件と、波動関数が井戸の端で連続でなければならないという条件を用いると、波数ベクトルの解が得られる。以下の超越方程式を満たすもの:
そして
どこは障壁領域における指数関数的減衰定数であり、障壁領域で波動関数がゼロに減衰する速さの尺度です。井戸内の量子化されたエネルギー固有状態は、波数ベクトルと量子数 () は次のように与えられます。
指数関数的減衰定数次のように与えられます。
それは束縛キャリアの固有状態に依存する井戸の深さ、バリア領域内のキャリアの実効質量、。
上記の超越方程式の解は、数値的または図解的方法を用いて容易に求めることができます。一般的に解はごく少数しかありません。しかし、ポテンシャルがどれほど小さくても、必ず少なくとも1つの解が存在し、井戸内には1つの束縛状態が存在します。無限井戸と同様に、井戸内の波動関数は正弦波状ですが、井戸の障壁内で指数関数的に減衰します。このため、量子井戸の束縛エネルギー状態は無限井戸に比べて減少します。[ 4 ]

超格子は、異なるバンドギャップを持つ材料を交互に配置した周期的なヘテロ構造です。これらの周期的な層の厚さは、一般的に数ナノメートル程度です。このような構成から生じるバンド構造は、周期的な量子井戸の列です。これらの障壁は、キャリアが多重井戸の障壁領域をトンネルできるほど十分に薄いことが重要です。[ 10 ]超格子の決定的な特性は、井戸間の障壁が隣接する井戸が結合できるほど十分に薄いことです。隣接する波動関数が結合するには障壁が厚すぎる繰り返し量子井戸からなる周期構造は、多重量子井戸(MQW)構造と呼ばれます。[ 4 ]
キャリアは井戸間の障壁領域をトンネル効果で通過できるため、隣接する井戸の波動関数は薄い障壁を介して結合し、その結果、超格子内の電子状態は非局在化ミニバンドを形成します。[ 4 ] 超格子内の許容エネルギー状態の解は、構造の周期性によって生じる境界条件の変化を除けば、有限量子井戸の場合と同様です。ポテンシャルは周期的であるため、このシステムは一次元結晶格子と同様の方法で数学的に記述できます。
量子井戸は準二次元的な性質を持つため、エネルギーの関数として状態密度が明確な段階を示し、バルク材料に見られるような滑らかな平方根依存性とは異なります。さらに、価電子帯の正孔の有効質量は、伝導帯の電子の有効質量に近づけるように調整できます。これらの2つの要因により、レーザーダイオードなどの光デバイスの性能が向上します。その結果、量子井戸は、DVDやレーザーポインター用の赤色レーザー、光ファイバー送信機の赤外線レーザー、青色レーザーなど、ダイオードレーザーに広く使用されています。また、低ノイズ電子機器に使用されるHEMT (高電子移動度トランジスタ)の製造にも使用されています。量子井戸赤外線光検出器も量子井戸に基づいており、赤外線イメージングに使用されています。
量子井戸自体、あるいは好ましくは量子井戸の障壁にドナー不純物をドーピングすることで、二次元電子ガス(2DEG)を形成することができる。このような構造はHEMTの導電チャネルを形成し、低温で興味深い特性を示す。その特性の一つが、高磁場下で観測される量子ホール効果である。アクセプタードーパントを用いると、二次元正孔ガス(2DHG)も形成される。
量子井戸は、その飽和吸収特性を利用して飽和吸収体として作製できます。飽和吸収体は、受動モード同期レーザーで広く使用されています。半導体飽和吸収体(SESAM)は、1974年にp型ゲルマニウムを使用してパルス幅約500 psのCO2レーザーをモード同期した時から、レーザーのモード同期に使用されていました。現代のSESAMは、半導体分布ブラッグ反射器(DBR)上に成長させたIII-V族半導体単一量子井戸(SQW)または多重量子井戸(MQW)です。これらは当初、高速飽和吸収体としてKLMを使用するTi:サファイアレーザーの始動機構として、共鳴パルスモード同期(RPM)方式で使用されていました。RPMは、別の結合共振器モード同期技術です。パルス短縮に非共鳴カー型位相非線形性を用いるAPMレーザーとは異なり、RPMは半導体の共鳴バンド充填効果によってもたらされる振幅非線形性を用いる。SESAMは、その構造の本質的な単純さから、すぐに共振器内飽和吸収体デバイスとして開発された。それ以来、SESAMの使用により、超高速固体レーザーのパルス幅、平均出力、パルスエネルギー、繰り返し周波数を数桁向上させることが可能になった。平均出力60W、繰り返し周波数最大160GHzが得られた。SESAMアシストKLMを使用することで、Ti:サファイア発振器から直接6fs未満のパルスが得られた。SESAMが他の飽和吸収体技術よりも優れている大きな利点は、吸収体パラメータを広い範囲で容易に制御できることである。例えば、飽和フルエンスは上部反射板の反射率を変化させることで制御でき、変調深度と回復時間は吸収層の低温成長条件を変更することで調整できます。この設計の自由度により、SESAMの応用範囲はファイバーレーザーのモード同期にまで拡大しました。ファイバーレーザーでは、自己始動と動作安定性を確保するために比較的高い変調深度が必要です。約1μmと1.5μmで動作するファイバーレーザーが実証されました。[ 11 ]
量子井戸は、熱電デバイスとしてエネルギーハーベスティングに有望であることが示されています。製造が容易で、室温で動作する可能性を秘めているとされています。井戸は、中央の空洞と 2 つの電子リザーバーを接続します。中央の空洞は、リザーバーよりも高温に保たれています。井戸は、特定のエネルギーの電子を通過させるフィルターとして機能します。一般に、空洞とリザーバー間の温度差が大きいほど、電子の流れと出力電力が増加します。[ 12 ] [ 13 ]
実験デバイスは、 1 K の温度差で約 0.18 W/cm 2の出力電力を供給し、これは量子ドット エネルギーハーベスターのほぼ 2 倍の出力です。自由度の増加により、より大きな電流が可能になりました。その効率は量子ドットエネルギーハーベスターよりわずかに低くなっています。量子井戸は特定のレベル以上のあらゆるエネルギーの電子を透過しますが、量子ドットは特定のエネルギーの電子のみを透過します。[ 12 ]
考えられる応用例の一つは、コンピュータチップなどの電気回路からの廃熱を電気に変換し、チップの冷却と電力供給に必要なエネルギーを削減することである。[ 12 ]
量子井戸は太陽電池の効率を高めるために提案されている。従来の単接合セルの理論上の最大効率は約 34% であり、これは主にさまざまな波長の光を捕捉できないためである。異なるバンドギャップの複数の pn 接合を直列に接続した多接合太陽電池は、吸収される波長の範囲を広げることで理論上の効率を高めるが、その複雑さと製造コストにより、ニッチな用途での使用が制限される。一方、真性領域に 1 つ以上の量子井戸を含む ap-i-n 接合からなるセルは、暗電流に対する光電流の増加をもたらし、従来の p-n セルよりも正味の効率向上につながる。[ 14 ]井戸の深さ内のエネルギーを持つ光子は井戸に吸収され、電子-正孔対を生成する。室温条件下では、これらの光生成キャリアは、再結合速度よりも速く井戸から脱出するのに十分な熱エネルギーを持っている。[ 15 ]分子線エピタキシーや化学気相成長法などの層状堆積技術を用いて、精巧な多接合量子井戸太陽電池を作製することができる。また、セル上に金属または誘電体ナノ粒子を添加すると、入射光を多重量子井戸の固有層内に閉じ込められた横方向の伝搬経路に散乱させることで、光吸収がさらに増加することも示されている。[ 16 ]
従来の単接合型太陽電池では、生成される電力は光電流とダイオード両端の電圧の積です。[ 17 ]半導体はバンドギャップよりも高いエネルギーの光子のみを吸収するため、バンドギャップが小さい材料は太陽の放射スペクトルをより多く吸収し、結果として電流が大きくなります。達成可能な最大開放電圧は、材料の内蔵バンドギャップです。[ 17 ]半導体のバンドギャップは電流と電圧の両方を決定するため、太陽電池の設計は常に、低いバンドギャップで電流出力を最大化することと、高いバンドギャップで電圧出力を最大化することのトレードオフになります。[ 18 ]従来の太陽電池の効率の理論上の最大限界はわずか31%と決定されており、最高のシリコンデバイスでも最適な限界は25%です。[ 17 ]
量子井戸 (QW) の導入により、単接合歪み QW シリコン デバイスの効率限界は 28.3% に上昇しました。[ 17 ]この上昇は、内部電圧を決定する障壁材料のバンドギャップによるものです。一方、QW のバンドギャップが吸収限界を決定します。[ 17 ]バーナムのグループは、p-i-n 接合フォトダイオードの実験で、QW を空乏領域に配置するとデバイスの効率が上昇することを示しました。[ 19 ]研究者らは、結果として生じる増加は、吸収スペクトルに低エネルギーが含まれることによる新しいキャリアと光電流の生成が、量子井戸に捕捉されたキャリアの再結合による端子電圧の低下を上回ることを示していると推測しています。さらに研究を進めた結果、光電流の増加は吸収スペクトルの赤方偏移に直接関係していることが明らかになりました。[ 19 ]
現在、非量子井戸型太陽電池の中で、III/V族多接合型太陽電池が最も効率が高く、高集光太陽光下で最大46%の効率を記録しています。多接合型太陽電池は、異なるバンドギャップの複数のピン接合を積み重ねることによって作られます。[ 9 ]異なるバンドギャップの量子井戸をより多く導入することで、吸収スペクトルに太陽放射をより多く取り込むことにより、太陽電池の効率が向上します。バンドギャップと格子定数の直接的な関係が、多接合型太陽電池の進歩を妨げています。量子井戸(QW)をより多く一緒に成長させると、格子定数の変化により材料に転位が生じます。転位は拡散長とキャリア寿命を減少させます。[ 9 ] したがって、量子井戸は、結晶転位を最小限に抑えた多接合型太陽電池への代替アプローチを提供します。
研究者たちは、量子井戸(QW)を用いて結晶転位を最小限に抑えた高品質の材料を成長させ、光吸収とキャリア収集の効率を高めて、より高効率な量子井戸太陽電池を実現しようとしている。バンドギャップの調整可能性は、研究者たちが太陽電池を設計する上で役立つ。量子井戸のバンドギャップエネルギーと、立体歪みによるバンドギャップエネルギーのシフト(量子閉じ込めシュタルク効果(QCSE)と量子サイズ効果(QSE))の関数として、有効バンドギャップを推定することができる。[ 9 ]
材料の歪みはバンドギャップエネルギーに2つの影響を及ぼします。1つ目は伝導帯と価電子帯の相対エネルギーの変化です。このエネルギー変化は歪みによって影響を受け、弾性剛性係数、そして、および静水圧変形ポテンシャル、[ 9 ] [ 20 ]
第二に、歪みにより、重ホールと軽ホールの縮退が分裂する。強く圧縮された材料では、重ホール(hh)はより高いエネルギー状態へ移動する。引張材料では、軽ホール(lh)はより高いエネルギー状態へ移動する。[ 9 ] [ 21 ]せん断変形ポテンシャルから、hhとlhの分裂によるエネルギーの差を計算することができる。、 歪み、、および弾性剛性係数、そして[ 21 ]
量子閉じ込めシュタルク効果は、井戸の厚さに依存したバンドギャップのシフトを引き起こします。は基本電荷です。そしてはそれぞれ、伝導帯および価電子帯における量子井戸の実効幅である。は圧電分極および自発分極による誘導電場であり、は換算プランク定数であり、エネルギーシフトは次のようになります。[ 9 ]
量子サイズ効果(QSE)とは、電荷キャリアのボーア半径が井戸のサイズよりも大きい場合に、閉じ込めによって電荷キャリアが受けるエネルギーの離散化のことです。量子井戸の厚さが増加すると、QSEは減少します。QSEの減少は、状態が下に移動し、実効バンドギャップが減少する。[ 9 ]量子状態の計算にはクロニッヒ・ペニーモデルが使用され、[ 22 ]アンダーソンのルールが適用されて伝導帯と価電子帯のエネルギーオフセットが推定される。[ 23 ]

量子井戸内のキャリアを効果的に利用することで、研究者は量子井戸太陽電池(QWSC)の効率を高めることができます。ピン型太陽電池の真性領域の量子井戸内では、光によって生成されたキャリアは、内部電界によって収集されるか、キャリア再結合によって失われます。[ 9 ]キャリア再結合とは、正孔と電子が再結合して電荷を打ち消すプロセスです。キャリアは電界によるドリフトによって収集できます。薄い井戸を使用して熱電子放出によってキャリアを輸送するか、薄い障壁を使用してトンネル効果によってキャリアを輸送することができます。
脱出のためのキャリア寿命は、トンネル効果と熱電子放出寿命によって決定されます。トンネル効果と熱電子放出寿命はどちらも、低い実効障壁高さに依存します。これらは次の式で表されます。[ 9 ] [ 24 ]
どこそしては障壁と井戸における電荷キャリアの有効質量であり、は有効障壁高さであり、は電場です。
すると、脱出寿命は次のように計算できる。[ 9 ] [ 24 ]
少数キャリアがQWから脱出する総確率は、各井戸の確率の合計です。
ここ、[ 24 ]ここでは組換え寿命であり、は、固有領域における量子井戸の総数です。
のためにキャリアの再回収の可能性が高い。このモデリング方法における仮定は、各キャリアが量子井戸の数が異なるが、実際には異なる数の量子井戸を横切り、キャリア捕獲率は100%であり、これは高バックグラウンドドーピング条件下では当てはまらない可能性がある。[ 9 ]
例えば、In 0.18 Ga 0.82 As (125)/GaAs 0.36 P 0.64 (40トンネル効果と熱電子放出寿命を考慮すると、それぞれ0.89と1.84になります。再結合時間を50nsと仮定しても、単一量子井戸と100個の量子井戸の脱出確率は0.984と0.1686であり、効率的なキャリア捕獲には十分ではありません。[ 9 ]障壁の厚さを20オングストロームに減らすと、4.1276 ps まで短縮され、100 個の QW を超える脱出確率が 0.9918 に増加した。これは、より効率的なキャリア収集には薄い障壁の使用が不可欠であることを示している。[ 9 ]
1.1~1.3 eV の範囲で 、Sayed ら[ 9 ]は、Spectrolab [ 25 ]による Ge 基板上の変成 InGaAs バルク サブセルの外部量子効率(EQE)を Fuji ら[ 26 ]による 100 周期の In 0.30 Ga 0.70 As(3.5 nm)/GaAs(2.7 nm)/ GaAs 0.60 P 0.40 (3.0 nm) QWSC と比較している。バルク材料は 880 ~ 900 nm 領域で QW よりも高い EQE 値を示すが、QW は 400~600 nm の範囲でより高い EQE 値を示す。[ 9 ]この結果は、歪みのバランスとキャリア輸送の問題により、QW の吸収閾値を長波長に拡張することに苦労していることを示す証拠となる。しかし、バルク材料は変形が多く、少数キャリア寿命が低くなる。[ 9 ]
1.6~1.8 eV の範囲では、Heckelman ら[ 27 ] による格子整合 AlGaAsと Jain ら [ 28 ] による InGaAsPが Sayed [ 9 ]によって格子整合 InGaAsP/InGaP QW 構造と比較されている[ 29 ] 1.1 ~ 1.3 eV の範囲と同様に、バルク材料の EQE はスペクトルの長波長領域で高くなっていますが、QW はスペクトルのより広い領域を吸収するという点で有利です。さらに、 QW はより低い温度で成長させることができ、熱劣化を防ぐことができます。[ 9 ]
量子井戸を多くのデバイスに適用することは、これらのデバイスのエネルギー効率を高めるための有効な解決策です。レーザーにおいては、この改良によって既にLEDのような大きな成果が得られています。量子井戸太陽電池(QWSC)を用いることで、太陽光からエネルギーを収穫する手法は、より多くの太陽光を吸収し、電荷キャリアからより効率的にエネルギーを捕捉できるため、より強力なエネルギー生成方法となります。QWSCのような有効な選択肢は、温室効果ガスを排出するエネルギー源から、より環境に優しい代替エネルギーである太陽エネルギーへと移行する機会を人々に提供します。