半導体の固体物理学において、キャリア生成とキャリア再結合は、移動可能な電荷キャリア(電子と正孔)が生成および消滅する過程です。キャリア生成と再結合の過程は、フォトダイオード、発光ダイオード、レーザーダイオードなどの多くの光電子半導体デバイスの動作に不可欠です。また、バイポーラ接合トランジスタやpn接合ダイオードなどのpn接合デバイスの完全な解析においても重要です。
電子-正孔対は、無機半導体における生成と再結合の基本単位であり、価電子帯と伝導帯の間を遷移する電子に対応します。電子の生成は価電子帯から伝導帯への遷移であり、再結合は逆の遷移につながります。遅い再結合速度(または同等に、長いキャリア寿命)は、太陽電池を構成する半導体の好ましい特性です。[ 1 ] [ 2 ]

他の固体と同様に、半導体材料もその結晶特性によって決まる電子バンド構造を持つ。電子間のエネルギー分布は、フェルミ準位と電子の温度によって決まる。絶対零度では、すべての電子のエネルギーはフェルミ準位より低いが、零度以外の温度では、エネルギー準位はフェルミ・ディラック分布に従って満たされる。
ドーピングされていない半導体では、フェルミ準位は、価電子帯と伝導帯と呼ばれる2つの許容帯の間の禁制帯(バンドギャップ)の中央に位置します。禁制帯のすぐ下にある価電子帯は、通常、ほぼ完全に電子で満たされています。フェルミ準位の上にある伝導帯は、通常、ほぼ完全に空です。価電子帯はほぼ満たされているため、その電子は移動できず、電流として流れることはありません。
しかし、価電子帯の電子が他の電子、正孔、光子、あるいは振動する結晶格子自体との相互作用によって伝導帯に到達するのに十分なエネルギーを獲得すると、ほぼ空である伝導帯のエネルギー状態間を自由に移動できるようになる。さらに、物理的に電荷を帯びた粒子のように移動できる正孔も残される。
キャリア生成とは、電子がエネルギーを獲得して価電子帯から伝導帯へ移動し、2つの移動可能なキャリアを生成する過程を指します。一方、再結合とは、伝導帯の電子がエネルギーを失い、価電子帯の正孔のエネルギー状態を再び占める過程を指します。
これらのプロセスは量子化されたエネルギー結晶運動量を保存する必要があり、振動する格子は衝突において光子がそのエネルギーに比べてごくわずかな運動量しか伝達できないため、運動量の保存に大きな役割を果たします。

半導体では、光学的にも熱的にも、再結合と生成が常に起こっています。熱力学の予測どおり、熱平衡状態にある物質では、正味の電荷キャリア密度が一定に保たれるように、生成速度と再結合速度がバランスしています。その結果、各エネルギーバンドにおけるエネルギー状態の占有確率は、フェルミ・ディラック統計によって与えられます。
電子密度と正孔密度の積(そして) は定数です平衡状態では、組換えと生成が等しい速度で起こることで維持されます。キャリアが余剰の場合(つまり、)、再結合の速度が生成の速度よりも大きくなり、システムは平衡状態に戻ります。同様に、キャリアが不足している場合(つまり、)、生成速度が再結合速度よりも大きくなり、再びシステムが平衡状態に戻ります。[ 3 ]電子が1つのエネルギーバンドから別のエネルギーバンドに移動すると、失われた、または得られたエネルギーと運動量は、そのプロセスに関与する他の粒子(例えば、光子、電子、または振動する格子原子のシステム)に渡るか、またはそこから来なければなりません。
光が物質と相互作用すると、吸収されて自由キャリア対または励起子を生成するか、再結合反応を誘発するかのいずれかになります。生成された光子は、反応を引き起こした光子と類似した性質を持ちます。吸収はフォトダイオード、太陽電池、その他の半導体光検出器における主要なプロセスであり、誘導放出はレーザーダイオードの動作原理です。
半導体中のキャリアは、光励起の他に、外部電界によっても生成されることがあり、例えば発光ダイオードやトランジスタなどがその例である。
十分なエネルギーを持つ光が半導体に当たると、バンドギャップを超えて電子が励起されます。これにより電荷キャリアが増加し、材料の電気抵抗が一時的に低下します。光の存在下でのこの高い導電率は光伝導性として知られています。この光を電気に変換する現象は、フォトダイオードなどで広く利用されています。
キャリア再結合は、複数の緩和チャネルを介して起こり得る。主なものとしては、バンド間再結合、ショックレー・リード・ホール(SRH)トラップアシスト再結合、オージェ再結合、表面再結合などが挙げられる。これらの減衰チャネルは、放射性および非放射性に分類できる。後者は、平均寿命経過後に余剰エネルギーがフォノン放出によって熱に変換される際に発生する。一方、前者では、放射寿命の後、少なくともエネルギーの一部が発光または発光によって放出される。キャリアの寿命は、以下の式に従って、両方のタイプのイベントの発生率から得られます。[ 4 ]
そこから内部量子効率または量子収率を定義することもできます。として:
しかし、横方向または深さ方向の解像度で異なる組換えメカニズムの寄与を区別することは依然として困難であり、これらのメカニズムを解明するための改良された実験的および分析的手法が現在も活発に開発されている。[ 5 ]
バンド間再結合とは、電子が伝導帯から価電子帯へ放射的に飛び移る過程のことである。バンド間再結合は自発放出の一種であり、物質が吸収したエネルギーが光子の形で放出される。一般的に、これらの光子は最初に吸収された光子と同じかそれ以下のエネルギーを持つ。この効果によってLEDは光を生成する。光子は比較的運動量が少ないため、放射再結合は直接バンドギャップ材料でのみ重要となる。この過程は二分子再結合とも呼ばれる[ 6 ]。
このタイプの再結合は、励起状態における電子と正孔の密度に依存し、それは次のように表される。そしてそれぞれ。放射再結合を次のように表す。そしてキャリア生成率はGとする。
総発電量は、熱発電量 G 0と半導体に照射される光による発電量 G Lの合計です。
ここでは、半導体に光が当たらない場合を考察する。したがってそしてキャリア密度の変化を時間の関数として次のように表すことができます。
再結合速度は自由電子の濃度とそれらに利用可能な正孔の濃度の両方に影響されるため、R r はnp に比例することがわかります。 そして比例定数 B rを追加して、サイン:
半導体が熱平衡状態にある場合、電子と正孔の再結合速度は、電子が価電子帯から伝導帯へ自発的に遷移することによって生成される速度と釣り合わなければならない。熱発生率と正確にバランスが取れていなければならない [ 7 ]
したがって: どこそしてこれらは平衡キャリア密度です。質量作用の法則を用いて、とは固有キャリア密度であるため、次のように書き換えることができます。
非平衡キャリア密度は[ 8 ]で与えられる。
そして新しい組換え率となる、[ 7 ] [ 8 ]
なぜならそして次のように言える
n型半導体では、
したがって
正味の再結合は、過剰な正孔が消える
この微分方程式を解いて、標準的な指数関数的減衰を得てください。
ここで、p maxは t = 0 のときの最大過剰正孔濃度である。(しかし、ここではそれについては議論しない。
いつ過剰孔の多く(63.21%)は消失している。したがって、材料中の過剰孔の寿命を定義することができる。
つまり、少数キャリアの寿命は多数キャリアの集中度に依存するということだ。
誘導放出とは、入射光子が励起電子と相互作用し、電子が再結合して、 位相、周波数、偏光、進行方向に関して入射光子と同じ性質を持つ光子を放出する過程である。誘導放出は、反転分布の原理とともに、レーザーやメーザーの動作の中核をなす。20世紀初頭にアインシュタインによって、励起状態と基底状態が非縮退であれば吸収率は誘導放出率レベル1とレベル2が同じである場合。[ 9 ]そうでなければ、レベル1とレベル2が同じ場合折りたたんでそれぞれが重縮退している場合、新しい関係は次のようになります。
トラップ放出は、キャリアがバンドギャップの中央にある欠陥関連の波動状態に陥る多段階プロセスです。トラップとは、キャリアを保持できる欠陥のことです。トラップ放出プロセスでは、電子と正孔が再結合し、エネルギー保存のために光子が放出されます。トラップ放出は多段階であるため、フォノンも放出されることがよくあります。トラップ放出は、バルク欠陥[ 10 ]または表面欠陥[ 11 ]を利用して進行することができます。
非放射再結合は、蛍光体や半導体において、電荷キャリアが再結合する際に光子ではなくフォノンを放出する現象である。光電子工学や蛍光体における非放射再結合は、光生成効率を低下させ、熱損失を増加させるため、望ましくない現象である。
非放射寿命とは、半導体の伝導帯にある電子が正孔と再結合するまでの平均時間のことです。光電子工学では、光子を生成するために放射再結合が必要となるため、これは重要なパラメータです。非放射寿命が放射寿命よりも短い場合、キャリアは非放射的に再結合する可能性が高くなります。その結果、内部量子効率が低下します。
ショックレー・リード・ホール再結合(SRH)、別名トラップアシスト再結合では、バンド間を遷移する電子は、ドーパントまたは結晶格子の欠陥によってバンドギャップ内に生成された新しいエネルギー状態(局在状態)を通過します。このようなエネルギー状態はトラップと呼ばれます。非放射再結合は主にこのような場所で発生します。エネルギーは格子振動の形で交換され、フォノンが物質と熱エネルギーを交換します。
トラップはキャリア間の運動量の差を吸収できるため、SRHはシリコンやその他の間接バンドギャップ材料における主要な再結合プロセスです。しかし、トラップアシスト再結合は、キャリア密度が非常に低い(注入レベルが非常に低い)条件下、またはペロブスカイトなどのトラップ密度が高い材料において、直接バンドギャップ材料でも支配的になることがあります。このプロセスは、1952年に発表したウィリアム・ショックレー、ウィリアム・ソーントン・リード[ 12 ]、ロバート・N・ホール[ 13 ]にちなんで名付けられました。
再結合現象はすべて電子の動きで説明できますが、励起電子と、それらが残す正孔という観点から様々な過程を視覚化するのが一般的です。この文脈では、トラップ準位が伝導帯に近い場合、励起電子を一時的に固定することができ、言い換えれば、電子トラップとなります。一方、そのエネルギーが価電子帯に近い場合は、正孔トラップとなります。
浅いトラップと深いトラップの区別は、一般的に電子トラップが伝導帯にどれだけ近いか、そして正孔トラップが価電子帯にどれだけ近いかによって決まります。トラップとバンド間のエネルギー差が熱エネルギー kBTより小さい場合、それは浅いトラップであると言われます。逆に、エネルギー差が熱エネルギーより大きい場合は、深いトラップと呼ばれます。この区別は、浅いトラップはより容易に空にできるため、光電子デバイスの性能にそれほど悪影響を与えないことが多いという点で有用です。

SRHモデルでは、トラップレベルに関して4つのことが起こる可能性があります。[ 14 ]
トラップを介してキャリア再結合が起こる場合、価電子状態密度をギャップ内状態の価電子状態密度に置き換えることができます。 [ 15 ]捕捉された電子/正孔の密度に置き換えられる。
どこはトラップ状態の密度であり、は、その占有状態の確率です。両方のタイプのトラップを含む材料を考えると、2つのトラップ係数を定義できます。および2つのデトラップ係数平衡状態では、捕捉と脱捕捉の両方がバランスしているはずです(そして) 次に、4つの速度を関数としてなる:
どこそしては、準フェルミ準位がトラップエネルギーと一致するときの電子密度と正孔密度です。定常状態では、電子の正味再結合率は正孔の正味再結合率と一致するはずです。つまり、次のようになります。これにより占有確率が排除されるそして、トラップ補助組換えに関するショックレー・リード・ホール式へとつながる。
電子と正孔の平均寿命は次のように定義されます。[ 15 ]
オージェ再結合では、エネルギーは第3のキャリアに与えられ、そのキャリアは別のエネルギーバンドに移動することなく、より高いエネルギー準位に励起されます。相互作用後、第3のキャリアは通常、余剰エネルギーを熱振動によって失います。このプロセスは3粒子相互作用であるため、キャリア密度が非常に高い非平衡条件下でのみ顕著になります。オージェ効果プロセスは、第3の粒子が不安定な高エネルギー状態からプロセスを開始する必要があるため、容易には発生しません。
熱平衡状態ではオージェ再結合熱発生率互いに等しい[ 16 ]
どこはオージェ捕獲確率である。非平衡オージェ再結合率結果として生じる正味の組換え率定常状態条件下では[ 16 ]
LEDの効率低下を引き起こすメカニズムは、2007年にオージェ再結合であると特定されましたが、賛否両論がありました。[ 18 ] 2013年には、実験的研究により、オージェ再結合が効率低下の原因であると特定したと主張されました。[ 19 ]しかし、この研究で発見されたオージェ損失の量が、低下を説明するのに十分かどうかは依然として議論の的となっています。オージェが主な低下原因メカニズムではないという、よく引用される他の証拠は、このメカニズムの低温依存性であり、これは低下で発見されたものとは逆です。オージェメカニズムは量子ドットに用いられています。[ 20 ]
半導体の表面におけるトラップアシスト再結合は、表面再結合と呼ばれます。これは、半導体結晶の突然の不連続によって生じるダングリングボンドにより、半導体の表面または界面付近にトラップが形成されるときに発生します。表面再結合は、表面欠陥の密度に依存する表面再結合速度によって特徴付けられます。[ 21 ]太陽電池などの用途では、表面での自由キャリアの収集と抽出により、表面再結合が再結合の主要なメカニズムとなる場合があります。太陽電池の一部の用途では、表面再結合を最小限に抑えるために、ウィンドウ層としても知られる大きなバンドギャップを持つ透明材料の層が使用されます。表面再結合を最小限に抑えるために、パッシベーション技術も使用されます。[ 22 ]
低移動度系における自由キャリアの再結合率は、ランジュバン再結合率で表されることが多い。[ 23 ]このモデルは、有機材料などの無秩序系(したがって有機太陽電池[ 24 ]にも関連がある)やその他の同様の系によく用いられる。ランジュバン再結合強度は次のように定義される。。