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| 名前 | |||
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| 推奨されるIUPAC名
ヘキサフルオロエタン | |||
| その他の名前
六フッ化炭素、1,1,1,2,2,2-ヘキサフルオロエタン、パーフルオロエタン、エトフォラン、ハロカーボン 116、PFC-116、CFC-116、R-116、アークトン 116、ハロン 2600、UN 2193
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| 識別子 | |||
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3Dモデル（JSmol）
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| チェビ |
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| チェムBL |
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| ケムスパイダー |
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| ECHA 情報カード | 100.000.855 | ||
| EC番号 |
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パブケム CID
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| RTECS番号 |
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| ユニ |
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| 国連番号 | 2193 | ||
CompTox ダッシュボード ( EPA )
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| プロパティ | |||
| Ｃ２Ｆ６ | |||
| モル質量 | 138.01 g.mol −1 | ||
| 外観 | 無色無臭のガス | ||
| 密度 | 24℃で 5.734kg.m −3 | ||
| 融点 | −100.6 °C (−149.1 °F; 172.6 K) | ||
| 沸点 | −78.2 °C (−108.8 °F; 195.0 K) | ||
| 0.0015% | |||
| ログP | 2 | ||
ヘンリーの法則
定数 ( k H ) |
0.000058 モル・kg −1・バール−1 | ||
| 危険 | |||
| NFPA 704 (ファイアダイヤモンド) | |||
| 引火点 | 不燃性 | ||
| 補足データページ | |||
| ヘキサフルオロエタン（データページ） | |||
特に記載がない限り、データは標準状態（25 °C [77 °F]、100 kPa）の材料に関するものです。
 確認する （何ですか ？）
 インフォボックス参照
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ヘキサフルオロエタンは炭化水素エタンのパーフルオロカーボンです。これは不燃性のガスで、水にはほとんど溶けず、メタノールにはわずかに溶けます。これは非常に強力で長寿命の温室効果ガスです。
物理的特性
ヘキサフルオロエタンの固相には2つの多形がある。科学文献では、異なる相転移温度が述べられている。最新の研究では、相転移温度は103 K（-170 °C）とされている。103 K未満ではわずかに無秩序な構造となり、転移点を超えると体心立方構造となる。[1]臨界点は19.89 °C（293.04 K）、30.39 barである。[2]
密度表:
蒸気密度は 4.823 (空気 = 1)、21 °C での比重は 4.773 (空気 = 1)、21 °C での比容積は 0.1748 m 3 /kg です。
用途
ヘキサフルオロエタンは、半導体製造における多目的エッチング剤として使用されています。金属基板に対する金属シリサイドおよび酸化物の選択エッチングや、シリコン上の二酸化ケイ素のエッチングにも使用できます。アルミニウムおよび半導体製造業界は、ホール・エルー法を使用するヘキサフルオロエタンの主な排出源です。
トリフルオロメタンとともに冷媒R508A (61%) および R508B (54%) に使用されます。
硝子体網膜手術後の網膜復位を助けるタンポナーデとして使用される。[3]
環境への影響
C−F結合の高エネルギーにより、ヘキサフルオロエタンはほぼ不活性であり、大気寿命が10,000年（他の情報源：500年）の極めて安定した温室効果ガスとして機能します。 [4]地球温暖化係数 （GWP）は9200、オゾン層破壊係数（ODP）は0です。ヘキサフルオロエタンは、IPCCの温室効果ガスリストに含まれています。
ヘキサフルオロエタンは、工業規模で製造される以前は、環境中に大量に存在していませんでした。ヘキサフルオロエタンの大気濃度は、21世紀初頭に3pptvに達しました。[5]スペクトルの赤外線部分の吸収帯は、約0.001W/m2の放射強制力を引き起こします。
健康リスク
相対的な密度が高いため、低地に集まり、高濃度になると窒息を引き起こす可能性があります。
参照
参考文献
- ^ Zeng, SX; Simmons, RO; Timms, DN; Evans, AC (1999). 「固体ヘキサフルオロエタンのダイナミクスと構造」. Journal of Chemical Physics . 110 (3): 1650–61. Bibcode :1999JChPh.110.1650Z. doi : 10.1063/1.477806 .
- ^ ヘルムート・シャン: Handbuch der reinsten Gase. Springer、2005、ISBN 978-3-540-23215-5、S. 307。
- ^ Andreas Kontos、James Tee、Alastair Stuart、Zaid Shalchi、Tom H Williamson (2016)。「硝子体網膜手術後の眼内ガス持続時間」Graefes Arch Clin Exp Ophthalmol . 255 (2): 231–236. doi :10.1007/s00417-016-3438-3. PMID 27460279. S2CID 23629379.
- ^ 「パーフルオロエタン CASRN: 76-16-4」。TOXNET毒性データネットワーク。国立医学図書館。2016年10月25日。
- ^ 「気候変動2001：科学的根拠」。2007年6月15日時点のオリジナルよりアーカイブ。2007年6月2日閲覧。