エドワーズ真空

1919年、物理学者で大学講師のフレデリック・デイビッド・エドワーズと彼の父ウィリアムは、ロンドンのキャンバーウェルにエドワーズ・イクイップメント・アンド・サービスという社名で会社を設立した。彼らは英国、フランス、ドイツ、米国の研究室に真空ポンプを販売した。 ^{[ 17 ] [ 3 ] [ 2 ]}

第二次世界大戦が始まると、イギリスではドイツの特許が無効になったため、エドワーズ社はサプライヤーとの取引を断たれました。そのため、同社は1939年に自社製品の製造を開始しました。1940年にW Edwards and Co.、1950年にEdwards High Vacuum International Ltd.と社名を変更し、1953年にロンドンからクローリーに移転しました。 ^{[ 2 ] [ 18 ] [ 3 ] [ 19 ]}

エドワーズは1954年にイタリアの凍結乾燥装置メーカーであるAlto Vuoto SpAを買収し、続いて1958年には以前の下請け業者JH Holmes and Son Ltdのショアハム工場を買収した。 ^{[ 18 ] [ 20 ]} 1960年代には同社は上場企業となり、ストライキに苦しんだ。創業者であるFDエドワーズが死去し、財政難の後、同社はBOCに売却された。^{[ 17 ]}

BOCグループによる1968年のエドワーズ買収に続き、特にアジアへの国際的な拡大と、クローリー、イーストボーン、ショアハム、バージェスヒルの各拠点への投資が行われた。^{[ 21 ] [ 2 ] [ 22 ] [ 23 ]}

1984年、エドワーズは実用的な高真空ドライ（オイルなし）ポンプを初めて開発し、特許を取得しました。この設計は、急速に成長していた半導体製造市場に採用されました。^{[ 17 ]} 1992年、エドワーズはエレクトロテック社の半導体製造排ガス管理システムを買収しました。同社はネイルシーに拠点を置いていましたが、エドワーズの半導体製造環境対策技術を補完するために英国のクレベドンに移転しました。 ^{[ 20 ]} 4年後の1996年、バージェスヒルに新しい施設が開設されました。1997年、BOCは電子ガス事業をエドワーズと合併し、BOCエドワーズとなりました。^{[ 18 ] [ 20 ]}

同年、同社は半導体製造に使用される超高純度化学物質の管理システムを提供するSystems Chemistry Incを、アレンタウン（米国）のSubmicron Systems Corpから買収した。同社はEdwardsの化学管理部門となった。アレンタウン、米国。同社はEdwardsの化学管理部門となった。^{[ 24 ] [ 20 ] [ 25 ]}

1999年、エドワーズはミネアポリスに拠点を置くFSIインターナショナル社の部門を3,800万米ドルで買収した。^{[ 24 ]}これに続いて、スミスグループからヒック・ハーグリーブス社の真空エジェクターおよび脱気装置、ヴィルヘルム・クライン社、ストークス社のピストンポンプ事業、およびヒボン社を1,280万ポンドで買収した。^{[ 26 ]} 2002年には、セイコー工業のターボ分子ポンプ製造事業を7,​​000万ポンドで買収した。 ^{[ 27 ]}

エドワーズはその後、ヒボン、ヒックス・ハーグリーブス、ウィルヘルム・クラインの低圧コンプレッサー事業を売却し、2006年にインガソール・ランドに売却した。 ^{[ 28 ]}

リンデAGは2006年にBOCを124億ユーロで買収し、2007年にエドワーズをCCMPキャピタルとそのア​​ジアファンドに9億100万米ドルで売却した。エドワーズはエドワーズグループ株式会社、その後エドワーズグループplcに社名変更された。ケイマン諸島に拠点を置くエドワーズグループ株式会社という新しい持株会社が、2012年にティッカーシンボルEVACでADSを通じてNASDAQに上場し、1億米ドルのIPOを実施した。2014年にアトラスコプコが事業子会社のエドワーズ株式会社を10億ポンドで買収した際に上場廃止となった。^{[ 12 ] [ 2 ] [ 15 ] [ 14 ] [ 29 ] [ 30 ] [ 23 ] [ 4 ]}

2011年にチェコ共和国に工業、製薬、化学、科学市場向けの製造拠点が開設され、韓国には半導体市場向けの製造拠点が開設された。エドワーズの英国における製造能力の大部分は移転され、アブレーションシステムはクレベドンに残され、2005年にBOCの下で提案された計画が完了した。^{[ 4 ] [ 31 ]}

エドワーズ社は2012年に7度目の女王賞を受賞し、2013年には米国に拠点を置くガンマ・バキューム社を買収し、今日までそのブランドを維持している。^{[ 32 ]}ガンマ・バキューム社はイオンおよびチタン昇華ポンプを専門としており、顧客は主に科学業界である。^{[ 7 ]}

スウェーデンの多国籍産業企業であるアトラスコプコグループがエドワーズバキュームを買収した。^{[ 12 ]}

エドワーズは2018年にブルックス・オートメーションのチェルムズフォードとモンテレーに拠点を置くCTI-CryogenicsおよびPolycoldブランドのクライオポンプ事業を6億7500万米ドルで買収した。 ^{[ 6 ] [ 33 ]} 2019年、エドワーズは創業100周年を迎えた。^{[ 34 ]}同年、ヒルズボロに新しい北米半導体技術センターが開設された。^{[ 35 ]}エドワーズは2018年の完成後、MIT.nanoの創設メンバーとして参加した。MIT.nanoはナノスケール材料、構造、デバイス、プロセスの特性評価と製造に特化した21万4000平方フィートの研究所である。^{[ 36 ]} 2020年、同社はダブリンに新しいサービス技術センターを開設した。^{[ 37 ]}

2022年、エドワーズは米国アリゾナ州に半導体産業向け製品を製造する新施設に投資した。^{[ 38 ] [ 39 ]}

同年、エドワーズはセレス・テクノロジーズ社を買収した。セレスは米国に拠点を置く半導体産業向けガス・蒸気供給装置の製造・設計会社である。^{[ 40 ]}また、インドのベンガルールに拠点を置く真空ポンプの設計・製造会社であるHHVポンプス社を1,090万ポンドで買収した。アトラスコプコ社も、エドワーズの真空ポンプ事業に加わるため、中国の液封式真空ポンプメーカーである山東京工ポンプ社の資産を買収することに合意した。^{[ 41 ]}

戦後、いくつかの発明品は新たな用途を見出した。最初のトランジスタラジオは1954年に発売され、その製造工程では真空ポンプが使用された。^{[ 43 ]}

最初の集積回路、いわゆる「チップ」は1950年代末に市場に登場し、真空ポンプは再びその製造において重要な役割を果たした。これらの初期の発明は、エドワーズ社がエレクトロニクスおよび半導体産業に参入する第一歩であり、この産業は今日に至るまで同社最大の市場となっている。チップは数十年にわたってますます小型化し、真空の純度の重要性が高まった。^{[ 43 ]}

科学・医療市場は、エドワーズにとって常に重要な市場でした。X線技術の導入には真空装置の使用が不可欠でした。真空技術は、MRI、CT、PETスキャナーといった神経画像診断装置（脳スキャナー）の開発においても重要な役割を果たしました。

家庭用コンピュータが初めて市場に登場したのは1970年代で、それ以来、コンピュータ技術の発展は止まることなく続いています。CRTディスプレイや集積回路の大量生産に伴い、電子機器メーカーは生産規模を拡大する必要に迫られ、真空設備は大型化し、真空の純度に対する需要も高まっていきました。

1970年代には、エドワーズ・バキューム社はセイコー精機と共同で磁気浮上式ターボポンプを発明しました。これらの分子ターボポンプは磁気浮上ベアリングを使用しており、真空汚染のリスクを排除し、メンテナンスの手間が少なく、騒音や振動レベルも低くなっています。この種の技術は、科学用途や半導体製造の過酷なプロセスに特に適しています。^{[ 44 ]}

新たに登場したドライポンプとターボ分子ポンプは、その後数十年にわたり、科学機器市場におけるイノベーションを支えました。現在、科学機器市場は、半導体・電子機器業界に次いで、エドワーズ・バキュームにとって2番目に大きな市場となっています。

コンパクトディスクは1980年代に発明され、当初はデジタル音声録音の保存と再生を目的としていましたが、数年後には一般的なデータストレージとしても利用されるようになりました。CD表面の金属化には真空が用いられています。

1984年、エドワーズ社のヘンリー・ウィクリフは、エドワーズ社が特許を取得したドライスター・ルーツ/クロー式ドライポンプを発明した。ドライスターは、潤滑油を必要としない容積式ルーツ/クローポンプである。特に半導体業界は、オイルシール式ポンプから新しいドライポンプへと急速に移行した。過酷な半導体製造プロセスでは、オイルシール式ポンプは頻繁なメンテナンスとオイル交換を必要としたが、この新しいドライポンプ技術により、半導体業界ではより複雑な製造プロセスが可能になった。^{[ 17 ]}

国連気候変動枠組条約が1994年に発効し、エレクトロニクス業界における環境対策の必要性が高まった。その2年前の1992年、エドワーズ・バキューム社は半導体製造工程の排ガス除去を専門とする小規模なスタートアップ企業を買収し、より環境に優しい半導体製造プロセスを実現した。

フラットスクリーンディスプレイ技術は2000年代に始まり、前世紀のブラウン管ディスプレイに取って代わりました。その後、技術は進化し、ディスプレイはますます薄く、高解像度で、大型化しました。その結果、必要な複合構造はますます複雑になり、製造方法もより高度なものになりました。エドワーズバキュームは、フラットスクリーンディスプレイの製造にターボ分子ポンプを使用して携わっており、これらのディスプレイの製造プロセスとコーティングに必要な高レベルの真空を実現しています。除去設備は、地球温暖化ガス、有毒ガス、自然発火性ガス、腐食性ガスを安全かつ規制に準拠した方法で除去します。

真空コーティングは、太陽電池などの他の産業でも使用されています。太陽電池は、結晶シリコン、CdTe、CIGS、シリコン薄膜技術などのプロセスで製造されますが、いずれも真空を必要とします。リチウムイオン電池は急速に成長している市場であり、その製造工程の様々な段階で大量の真空を必要とします。

Edwards CTI-CryogenicsおよびEdwards Polycoldのクライオポンプとクライオチラーは、液体ヘリウムを使用し極低温冷却を必要とするMRI装置、大量の食品の保管、血液や組織サンプルの凍結、そして技術と構造がより複雑化する半導体など、極低温分野で重要な役割を果たしています。

2005年、Nominetはドメイン名bocedwards.co.ukがEaton Engineering (Herts) Ltdによって不正に登録されたと判断し、当時Edwardsの所有者であったThe BOC Group Ltdに譲渡するよう命じた。^{[ 22 ]}

2019年、Hoffman Instrumentation Supply Incは、Edwardsの米国子会社であるEdwards Vacuum LLCの部品サプライヤーであり、一部の品目の独占サプライヤーになることについて協議を行っていた。また、Hoffmanがサブアセンブリや完成システムを製造することも提案されたが、それはEdwards向けのみであった。^{[ 46 ]}

ホフマンの主要顧客の1社が、エドワーズ社以外のポンプでも動作する真空システムを提供できるかどうかを問い合わせた。ホフマンはエドワーズ社にその旨を伝え、エドワーズ社はホフマンの買収を提案した。買収を進めるため、秘密保持契約に基づき、デューデリジェンスのためにホフマンに関する情報がエドワーズ社に提供された。これには、ポンプに依存しない真空システムの技術仕様とホフマンのコスト構造が含まれていた。^{[ 46 ]}

両当事者はホフマン買収の条件に合意せず、エドワーズは手続きから撤退した。^{[ 46 ]}

従業員グループがエドワーズを辞めてホフマンに転職し、2020年にエドワーズは元従業員の企業秘密の不正使用を防ぐためにホフマンに対して差止命令を求めた。^{[ 47 ] [ 46 ]}

ホフマンは、エドワーズが機密のデューデリジェンス情報を使用して、ホフマンの主要顧客に自社製品をホフマン自身が意図した価格よりわずかに低い価格で売り込み、ホフマンが得た価格と同等のコスト削減をサプライヤーに要求したと反論した。^{[ 46 ]}

ホフマンは、エドワーズが米国における統合真空ポンプフレームシステム市場で70％のシェアを占め、競争を抑制し、サプライヤーに競業避止義務を課し、従業員を脅迫し、顧客を脅し、悪意のある訴訟を起こしたため、シャーマン法に違反する独占行為を行ったと主張した。^{[ 46 ]}

2021 年 5 月、エドワーズはホフマンがベローズ部品を販売することに対して部分的かつ暫定的な差止命令を認められた。判決は、エドワーズがノアー・ペニントン原則を適用してホフマンの^{[ 48 ]}反競争的反訴を却下することを拒否した。^{[ 47 ] [ 49 ] [ 50 ]}

2022年6月、両当事者は秘密和解契約を締結し、両当事者の請求は棄却された。^{[ 51 ]}