エドワーズバキューム

エドワーズ株式会社

業界	エンジニアリング[1]
設立	1919年[2]
創設者	フレデリック・デイヴィッド（FE）エドワーズ[2] [3]
本部	バージェス ヒル 、 イングランド[1]
製品	真空ポンプ[1] 環境除去装置[1] 液封ポンプ[4] ターボ分子ポンプ[5] クライオポンプ[6] チタン昇華ポンプ[7] イオンポンプ[7] NEGポンプ[7] 拡散ポンプ[8] スクロールポンプ[9] クローポンプ[10] ルーツポンプ[9] スクリューポンプ[10] ピストンポンプ[11] ベーンポンプ[11] ダイヤフラムポンプ[9]
親	アトラスコプコAB [1]
Webサイト	公式サイト

エドワーズ社は、イギリスの多国籍真空ポンプおよび排ガス管理システムメーカーです。本社はイギリスのバージェスヒルにあり、2014年からアトラスコプコグループの一員となっています。 ^{[12] [13] [1]}エドワーズは、ドライ（オイルフリー）真空ポンプを含む1,700件の特許を保有しており、半導体製造、科学研究、凍結乾燥などの産業で使用される機器を生産しています。同社のポンプは、欧州原子核研究機構（CERN）の大型ハドロン衝突型加速器で汚染物質を除去します。^{[14] [15] [1] [16]製造は主に}チェコ共和国、韓国、米国、中国の子会社によって行われています。エドワーズの世界的な研究開発施設はイギリスに残っています。^[4]

2012年の主要顧客にはサムスン、ハイニックス、アジレント、LGなどが含まれていた。^[4]

1919年、物理学者で大学講師のフレデリック・デイビッド・エドワーズと父ウィリアムはロンドンのカンバーウェルにエドワーズ・イクイップメント・アンド・サービスという同名の会社を設立した。彼らはイギリス、フランス、ドイツ、アメリカの研究機関に真空ポンプを販売した。 ^{[17] [3] [2]}

第二次世界大戦が始まると、イギリスではドイツの特許が無効となり、エドワーズはドイツのサプライヤーから切り離された。これにより、エドワーズは1939年に自社製品の製造を開始した。同社は1940年にWエドワーズ・アンド・カンパニーに社名を変更し、1950年にはエドワーズ・ハイ・バキューム・インターナショナル社に改名され、1953年にロンドンからクローリーに移転した^{。[2] [18] [3] [19]}

エドワーズは1954年にイタリアの凍結乾燥装置メーカーであるアルト・ヴォート社を買収し、続いて1958年に元下請け業者であるJHホームズ・アンド・サン社のショアハム工場を買収した。[18][20] 1960年代に同社は株式公開さ^れ、ストライキに見舞われた。創業者のFDエドワーズが死去し、財政難の後、同社はBOCに売却された。^[17]

BOCグループは1968年にエドワーズ社を買収し、その後アジアを中心に国際展開を進め、クローリー、イーストボーン、ショアハム、バージェスヒルの各拠点に投資した。^{[21] [2] [22] [23]}

1984年、エドワーズは最初の実用的な高真空ドライ（オイル不要）ポンプを開発し、特許を取得しました。この設計は、急成長を遂げる半導体製造市場に採用されました。^[17] 1992年、エドワーズはエレクトロテック社の半導体製造排気ガス管理システムを買収しました。同社はネイルシーに拠点を置いていましたが、エドワーズの半導体製造環境除去技術を強化するために英国クリーブドンに移転しました。 ^[20] 4年後の1996年、バージェスヒルに新しい施設が開設されました。1997年、BOCはエレクトロニクスガス事業をエドワーズと合併し、BOCエドワーズとなりました。^{[18] [20]}

同年、同社は半導体製造に使用される超高純度化学物質の管理システムのサプライヤーであるSystems Chemistry Incを、米国アレンタウンのSubmicron Systems Corpから買収した。同社はエドワーズの化学物質管理部門となった。米国アレンタウン。同社はエドワーズの化学物質管理部門となった。^{[24] [20] [25]}

1999年、エドワーズはFSIインターナショナル社のミネアポリスに拠点を置く部門を3,800万ドルで買収した。^[24]その後、スミスグループからヒック・ハーグリーブスの 真空エジェクターおよび脱気装置、ウィルヘルム・クライン社、ストークスのピストンポンプ事業、ハイボン社を1,280万ポンドで買収した。^{[26] 2002年には}セイコーインダストリーのターボ分子ポンプ製造事業を7,​​000万ポンドで買収した。 ^[27]

その後エドワーズはハイボン、ヒックス・ハーグリーブス、ウィルヘルム・クライン低圧コンプレッサー事業を2006年にインガソル・ランドに売却した^。[28]

リンデAGは2006年にBOCを124億ユーロで買収し、2007年にエドワーズをCCMPキャピタルとそのア​​ジアファンドに9億100万米ドルで売却した。エドワーズはエドワーズグループ社に改名され、その後エドワーズグループplcとなった。ケイマン諸島に拠点を置く新しい持株会社エドワーズグループ社は、 2012年にADSを通じてティッカーシンボルEVACでナスダックに上場し、1億米ドルのIPOとなった。2014年にアトラスコプコが事業子会社のエドワーズ社を10億ポンドで買収した際に上場廃止となった。^{[12] [2] [15] [14] [29] [30] [23] [4]}

2011年にはチェコ共和国に工業、製薬、化学、科学市場向けの製造拠点が開設され、韓国には半導体市場向けの製造拠点が開設された。エドワーズの英国での製造能力の大半は移転され、除害システムはクリーブドンに残り、2005年にBOCで提案された計画は完了した。^{[4] [31]}

エドワーズは2012年に7度目のクイーンズ賞を受賞し、2013年に米国に拠点を置くガンマバキュームを買収し、現在までそのブランドを維持しています。^[32]ガンマバキュームはイオンポンプとチタン昇華ポンプを専門としており、顧客は主に科学産業です。^[7]

スウェーデンの多国籍工業企業アトラスコプコグループがエドワーズバキュームを買収。[ 12 ^]

エドワーズは2018年に、チェルムズフォードとモンテレーに拠点を置くブルックスオートメーションのCTI-CryogenicsとPolycoldブランドのクライオポンプ事業を6億7,500万ドルで買収した。 ^{[6] [33]} 2019年、エドワーズは創立100周年を迎えた。^[34]同年、ヒルズボロに新しい北米半導体技術センターをオープンした。^[35]エドワーズは、2018年に完成したMIT.nanoの創設メンバーに加わった。MIT.nanoは、ナノスケールの材料、構造、デバイス、プロセスの特性評価と製造に特化した214,000平方フィートの研究所である。^[36] 2020年、同社はダブリンに新しいサービステクノロジーセンターをオープンした。^[37]

2022年、エドワーズは米国アリゾナ州に半導体産業向け製品を製造するための新施設を建設する投資を行った。^{[38] [39]}

同年、エドワーズはセレス・テクノロジーズ社を買収した。セレス社は米国を拠点とし、半導体産業向けのガスおよび蒸気供給装置を製造・設計している。^{[40]また、}インドのベンガルールに拠点を置く真空ポンプの設計・製造会社であるHHV Pumps Pvt Ltdを1,090万ポンドで買収した。アトラスコプコも、中国の液封式真空ポンプ製造会社である山東静工ポンプ有限公司の資産を購入し、エドワーズの真空ポンプ事業に参入することに合意した。^[41]

真空技術は、電子機器の製造において常に重要なユーティリティでした。最初のテレビとラジオ技術は1920年代と1930年代に登場し、エドワーズ・バキュームは送信と受信を可能にする真空管アンプの製造用に真空ポンプを納入しました。 ^[42]エドワーズ・バキュームは創業当初、ドイツのライボルトから真空装置を輸入していました。^{[2] [3]真空チャンバーを使用した}凍結乾燥法は、1930年代に特許を取得しました。第二次世界大戦中、この技術はさらに完成され、インスタントコーヒーだけでなく、血漿やペニシリンの凍結乾燥にも利用されるようになりました。ペニシリン自体も真空技術を使用して製造されました。^[要出典]

第二次世界大戦は、真空技術の技術開発の加速のきっかけとなりました。真空ポンプ製造業者は製品を革新し、真空の新しい用途が生まれました。これには、作戦に使用されるレーダー送信機と受信機の開発、双眼鏡とフロントガラスのガラスコーティング、夜間飛行と作戦に使用される赤外線システム、レーダーシステムを混乱させるホイルコーティング、さまざまな製薬プロセスに適用される水分除去のための凍結乾燥の導入などが含まれますが、これらに限定されません。

戦後、発明のいくつかは新たな用途を見出した。最初のトランジスタラジオは1954年に発売され、その製造工程では真空ポンプが利用された。^[43]

最初の集積回路、つまり「チップ」が1950年代末に市場に登場し、真空ポンプは再びその製造に重要な役割を果たしました。これらの初期の発明は、エドワーズがエレクトロニクスおよび半導体業界に進出する最初の一歩であり、この業界は現在でも同社の最大の市場となっています。チップは数十年にわたってますます小型化され、真空純度の重要性が高まりました。^[43]

科学および医療市場はエドワーズにとって常に重要なものでした。X線技術の導入には真空の使用が必要でした。真空技術は、MRI、CT、PETスキャナーなどの神経画像診断装置（脳スキャナー）の開発にも重要な役割を果たしました。

最初の家庭用コンピュータが市場に登場したのは 1970 年代で、それ以来コンピュータ技術の発展は止まるところを知りません。CRTディスプレイと集積回路の大量生産により、電子機器会社は規模の拡大を余儀なくされ、真空設備はより大規模になり、真空純度に対する需要が高まりました。

1970年代には、エドワーズ・バキューム社はセイコー精機社と共同で磁気浮上式ターボポンプを発明した。この分子ターボポンプは磁気浮上ベアリングを使用しており、真空汚染のリスクを排除し、メンテナンスの必要性が少なく、騒音と振動のレベルが低い。このタイプの技術は、科学的な用途や半導体製造の過酷なプロセスに特に適している。^[44]

新たに登場したドライポンプとターボ分子ポンプは、その後数十年にわたって科学機器市場におけるイノベーションを支えました。科学機器市場は現在、エドワーズ バキュームにとって半導体およびエレクトロニクス業界に次ぐ第 2 位の市場となっています。

コンパクトディスクは1980 年代に発明されました。当初はデジタル オーディオ録音を保存および再生するために開発されましたが、数年後には一般的なデータ ストレージとしても使用されるようになりました。CD 表面の金属化には真空が使用されます。

1984年、エドワーズのヘンリー・ワイクリフはドライス​​ター・ルーツ/クロー・ドライポンプを発明し、エドワーズが特許を取得しました。ドライスターは、潤滑油を必要としない容積式ルーツ/クロー・ポンプでした。特に半導体産業は、オイルシールポンプから新しいドライポンプへと急速に移行しました。過酷な半導体プロセスでは、オイルシールポンプは頻繁なメンテナンスとオイル交換を必要としました。この新しいドライポンプ技術により、半導体産業のより複雑な製造プロセスが可能になりました。^[17]

1994 年に国連気候変動枠組条約が発効し、エレクトロニクス業界では環境ソリューションの必要性が高まりました。その 2 年前の 1992 年に、エドワーズ バキュームは半導体製造プロセスの排気ガスの削減を専門とする小規模な新興企業を買収し、より環境に優しい半導体製造プロセスを実現しました。

フラットスクリーン ディスプレイ技術は 2000 年代に始まり、前世紀のブラウン管ディスプレイに取って代わりました。その後、技術は進化し、ディスプレイはますます薄く、解像度が高く、大型になりました。その結果、必要な複合構造はますます複雑になり、製造方法はより要求が厳しくなりました。エドワーズ バキュームは、フラットスクリーン ディスプレイの製造に携わっており、ターボ分子ポンプはこれらのディスプレイの製造プロセスとコーティングに必要な高レベルの真空を実現します。除去設備は、地球温暖化ガス、有毒ガス、自然発火性ガス、腐食性ガスを安全かつ規制された方法で除去します。^{[引用が必要]}

真空コーティングは、太陽電池などの他の産業でも使用されています。これらは、結晶シリコン、CdTe、CIGS、シリコン薄膜技術などのプロセスで製造されており、いずれも真空が必要です。リチウムイオン電池は急速に成長している市場ですが、その製造のさまざまな段階で大量の真空も必要です。

Edwards CTI-Cryogenics および Edwards Polycold のクライオポンプとクライオチラーは、その技術と構造が複雑になるにつれて、液体ヘリウムを使用し極低温冷却を必要とする MRI 装置、大量の食品の保管、血液や組織サンプルの凍結、半導体などの極低温分野で役割を果たしています。

エドワーズ講演シリーズは、ロンドン大学シティ校で最も長く続いている講演シリーズであり、2023年に44回目を迎えました。この講演は、ロンドン大学シティ校の前身機関であるノーザンプトン研究所の職員であり、科学機器メーカーの名誉ある会社の元マスターでもある物理学者でエドワーズバキュームの創設者であるFDエドワーズの業績を記念しています。^[45]

この講義は輝かしい歴史があり、これまで5人のノーベル賞受賞者（デニス・ガボール教授、ハリー・クロト教授、ピーター・マンスフィールド教授、ポール・ナース教授、カルロ・ルビア教授）のほか、王立協会会員や王立工学アカデミー会員数名が講義を行ってきました。

2005年、ノミネットはドメイン名bocedwards.co.ukがイートン・エンジニアリング（ハーツ）社によって不正に登録されたと判断し、エドワーズの当時の所有者であるBOCグループ社に移転するよう命じた。^[22]

2019年、ホフマン・インストゥルメンテーション・サプライ社はエドワーズ社の米国子会社であるエドワーズ・バキュームLLCの部品供給業者であり、いくつかの品目の独占供給業者になることについて協議を行った。また、ホフマン社がサブアセンブリと完全なシステムを構築することも提案されたが、それはエドワーズ社専用であった。^[46]

ホフマンの主要顧客の1社が、エドワーズ以外のポンプでも動作する真空システムを提供できるかどうか問い合わせてきた。ホフマンはエドワーズにその旨を伝え、エドワーズはホフマンの購入を提案した。買収を進めるため、エドワーズには秘密保持契約に基づき、デューデリジェンスのためにホフマンに関する情報が提供された。その情報には、ポンプに依存しない真空システムの技術仕様とホフマンのコスト構造が含まれていた。^[46]

両当事者はホフマン買収の条件に合意できず、エドワーズは買収手続きから撤退した。^[46]

従業員の一団がエドワーズを離れてホフマンのもとで働くようになり、2020年にエドワーズはホフマンに対して元従業員の企業秘密の悪用を防ぐための差し止め命令を求めた。^{[47] [46]}

ホフマンは、エドワーズが機密のデューデリジェンス情報を利用し、ホフマンの主要顧客に自社製品をホフマンが意図した価格よりわずかに低い価格で売り込み、サプライヤーにホフマンが得た価格と同額のコスト削減を要求したと反論した。^[46]

ホフマンは、エドワーズが米国の統合真空ポンプフレームシステム市場で70％のシェアを持ち、競争を抑制し、サプライヤーに競業禁止条項を課し、従業員の脅迫、顧客への脅迫、悪意のある訴訟に関与したため、シャーマン法に違反する独占行為を行ったと主張した。^[46]

2021年5月、エドワーズは、ホフマンによるベローズ部品の販売に対して部分的な仮差し止め命令を認められた。判決は、エドワーズがノア・ペニントン原則を適用してホフマンの^[48]反競争的反訴を棄却することを認めなかった。^{[47] [49] [50]}

2022年6月、両当事者は秘密和解契約を締結し、両当事者の請求は棄却された。 [ ^51]

• 公式サイト