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| タイプ | 公共 |
|---|---|
| SDAX、TecDAX | |
| 業界 | 半導体 |
| 設立 | 1949  |
| 創設者 | カール・ズース |
| 本部 | ミュンヘン近郊のガルヒング 、ドイツ |
サービス提供エリア | 世界中で |
主要人物 | ブルクハルト・フリック（CEO）、コルネリア・バルヴィーザー博士（CFO）、トーマス・ローエ博士（COO）、デビッド・ディーン（監査役会会長）[ 1 ] |
| 製品 | マスクアライナー、コーター、ウェハーボンダー、インクジェットプリンター、プロジェクションスキャナー、計測システム、フォトマスク装置 |
| 収益 | 4億4610万ユーロ（2024年度）[ 2 ] |
従業員数 | 1,498 (2024年度) [ 2 ] |
| Webサイト | www.suss.com |
Suss Microtec SE（社名はSUSS MicroTec SE、2024年まではSüss MicroTec 、1999年まではKarl Süss GmbH & Co. KGとして知られていた）は、ドイツのミュンヘン近郊のガルヒングに本社を置く機械工学会社である。[ 3 ]同社は、半導体市場、ナノおよびマイクロシステム技術、および関連市場向けのシステムとプロセスを提供している。
微細構造化のためのシステムとプロセス[ 4 ]は、メモリチップ、プロセッサ、MEMS、LED 、その他のマイクロシステムコンポーネントの製造に使用されます。同社は、リソグラフィフォトマスクの処理と半導体バリューチェーンの高度なバックエンドのための製品を提供しています。同社は、産業用大量生産と研究開発分野の機関の両方に供給しています。
1949年4月1日、当時47歳だったカール・ズースはカール・ズースKGを設立し、バイエルン州の販売代理店としてエルンスト・ライツGmbHから光学機器（顕微鏡、カメラ、実験機器）の販売を引き継いだ。 [ 5 ] [ 6 ]技術力の向上に伴い、同社は従業員5名の純粋な販売会社から受託製造会社へと発展した。[ 7 ]
1963年、ズースはシーメンスからシンプルなフォトリソグラフィー装置の開発を依頼された。この依頼には、実体顕微鏡を接着した小型測定テーブルが含まれていた。シーメンスのために、ズースはフォトリソグラフィー用のマスクアライメント露光ツールである最初のマスクアライナーMJB3のプロトタイプを開発した。[ 8 ]この依頼は同社が半導体産業に参入する第一歩となり、後に半導体産業は同社の主要市場となった。[ 9 ] 1968年、同社は生産拠点と30人の従業員をガルヒングに移転した。[ 7 ]
半導体産業の発展に伴い、Süss はダイヤモンド スクライバーとスピン コーターの製造を開始しました。1974 年、マイクロメートル精度の両面露光を可能にする最初のマスク アライナーが Süss で開発されました。[ 10 ]研究開発分野でフォトリソグラフィーの代名詞となっていた同社は、製造業の顧客にも注目するようになりました。1975 年、MJB55 は量産向けに開発された最初のマスク アライナーとなりました。[ 7 ]
1980年代、ズースは国際的に事業を拡大した。最初の海外拠点は1980年に米国バーモント州ウォーターベリーに設立された。バーモント州では、その後ウェーハボンダーの量産を開始した。1983年にはタイにアジア子会社を設立し、続いて日本、中国、台湾に営業所を開設した。さらに、同社はX線ステッパーリソグラフィーという非常に専門的な分野にも進出した。[ 7 ]
1989年、ズースはマイクロシステムの需要の高まりに応えて最初の基板ボンダーを開発しました。[ 7 ]マイクロシステム技術では、基板ボンダーによって異種材料を構造化された表面に接合することが可能になりました。1982年にはすでに、ズースと東ドイツのVEB Elektromat Dresdenとの間で業務提携が行われていました。東ドイツ崩壊後、1990年9月に、元VEB取締役のラインハルト・ウェルシュと共に、ドレスデン近郊のザッカに子会社カール・ズース・ドレスデンGmbHが設立され、その後、そこでズースの生産が行われました。[ 11 ]
1993年、Süssはスピンコーターとデバイスボンダーを製造するフランス企業SETを買収し、製品範囲を拡大した。この買収により、Süssはデバイスボンダーを製品範囲に追加した。[ 7 ] 1994年、創業者カール・ズースと長男エッケハルト・ズースが相次いで死去した。エッケハルト・ズースの子供たちへのその後の分配により、ズース家は同社の過半数株式を手放した。しかし、カール・ズースの次男ウィンフリート・ズースは、2008年まで監査役会で家族を代表し続けた。[ 6 ] 1999年、ズースグループの持株会社がSüss Microtec AGとして上場した。[ 7 ]
その後、1999年にコンバック[ 12 ] （フェアチャイルド・セミコンダクターが売却）とフェアチャイルド・テクノロジーズが子会社として加わった[ 13 ] 。これにより、同社はコーティングシステムを製品ラインナップに組み込むことができた。フェアチャイルド・テクノロジーズの買収により、同社は2000年にコーティングシステムで上位市場セグメントに参入した。2001年にはイメージ・テクノロジーの買収が続いた。2002年からは、スイスのヌーシャテルに新設された子会社Suss MicroOpticsでマイクロオプティクス事業に参入した[ 14 ]。
2007年、デバイスボンダー製品部門は廃止され、マネジメント・バイアウトの一環としてフランスのSETSAS社に売却された。[ 15 ] 2000年代末には、シンガポールと韓国に新しいオフィスが開設された。[ 7 ]
2010年代は半導体製造装置市場の変動が特徴的でした。これに対応して、同社は事業戦略を変更し、中核事業と買収に注力し始めました。2010年、Süss Microtecはフォトマスク処理技術の装置メーカーであるHamaTech APEを買収しました。 [ 16 ] [ 17 ] 2012年、Süss Microtecはカリフォルニア州コロナに拠点を置くTamarack Scientificを買収しました。Tamarack Scientificは、微細構造を転写するためのレーザー加工技術を開発、製造、販売する企業です。[ 7 ] [ 18 ]
同時に、いくつかの事業売却が行われた。2010年、マイクロコンポーネントのテスト用システムを最近まで製造していたザクセン州ザッカの子会社[ 19 ]が、アメリカのCascade Microtech社に売却された。[ 20 ] [ 21 ]同年、基板ボンダーの製造がウォーターベリーからHamatech APE社から買収したシュテルネンフェルス工場に移管された。それ以降、コーティングシステム、ボンダー、フォトマスク処理システムが同じ施設で製造されるようになった。[ 22 ] 2011年、フォトマスクを扱っていたパロアルトに拠点を置くアメリカの子会社MicroTec Precision Photomask Inc.が、アメリカのOM Group社の子会社に売却された。[ 23 ]
Süss Microtecは2020年に台湾に新しい生産施設を建設し、生産能力を拡大した。[ 24 ]さらに同年には、太陽光発電機器メーカーMeyer Burgerのインクジェット印刷事業部門であるPiXDROを買収し、新たな技術も加わった。[ 25 ]
2023年以降のAIブームの結果、Süss Microtecは収益と市場価値が大幅に増加しました。これは、同社が市場リーダーであるNvidiaの拡張サプライチェーンの一部であるためです。その結果、同社は生産能力を増強する必要がありました。[ 26 ]
2002年に設立された光学マイクロレンズの子会社であるSuss MicroOpticsは、2024年にFocuslight Technologies Inc.に売却されました。Süss Microtecによると、売却の目的は半導体製造装置のコアビジネスに集中することでした。[ 27 ]また、国際的なプレゼンスを考慮して、ウムラウトを削除するために、2024年に社名をSÜSS MicroTec SEからSUSS MicroTec SEに変更しました。SUSSが新しいブランドとして導入されました。[ 28 ] [ 29 ]
Suss MicroTec SEはミュンヘン近郊のガルヒングに本社を置いています。[ 30 ]同社は3名の経営委員会と5名の監査役会によって運営されています。[ 31 ]ガルヒングの本社に加え、ドイツのシュテルネンフェルスと台湾の新竹にも生産拠点があります。[ 8 ] Suss Microtecの販売子会社は、タイ、日本、台湾、中国、韓国などにあります。
Suss Microtec は大部分が浮動株として保有されています。2025 年 6 月現在、3% を超える株式を保有する株主には、Van Lanschot Kempen (9.893%)、Teslin Capital Management (7.5%)、Janus Henderson (5.043%)、およびJPMorgan Asset Management (3.012%) が含まれます。[ 32 ]同社はSDAXとTecDAX の両方に上場しています。[ 33 ]
親会社 Suss MicroTec SE のドイツ子会社 (2024 年末時点) は以下のとおりです。[ 2 ]
Suss Microtecの国際子会社（2024年末時点）は以下のとおりです。[ 2 ]
同社の創設者は既に科学界と密接な交流を維持していた。Suss Microtecはイノベーションを促進するために研究開発分野への取り組みを拡大している。活発な開発活動や研究機関や大学との緊密な協力に加え、ユーザーへの付加価値を高めるために、すべてのプロセスは高い開発速度と効率性を目指している。Suss Microtecは世界中のさまざまな研究機関と協力している。[ 34 ]
Suss Microtec は半導体製造用のさまざまな装置を提供しています。[ 8 ]これには、コーターと現像装置、インクジェットプリンター、マスクアライナー、UV プロジェクションスキャナー、インプリントリソグラフィ装置、計測システム、ウェーハボンダー、フォトマスクシステムが含まれます。[ 35 ] [ 36 ]
同社は、とりわけ、AIアプリケーションに必要なマイクロチップの製造に使用される一時的なウェーハ接合のための装置とプロセスを提供している。[ 37 ] Suss Microtec は、 Nvidiaのサプライチェーンの一部でもある(2024 年現在)。[ 38 ] 2024 年、ヨアヒム・ホーファーは Handelsblatt 紙で、Nvidia はグラフィックス プロセッサ(GPU)の「不可欠な補完物」として、高帯域幅メモリ(HBM)を備えた高性能半導体に依存していると書いた。これらの HBM チップの製造に使用されるシステムの一部は Suss Microtec 製である。[ 26 ]
Suss Microtecが供給するセンサーおよびマイクロ電気機械システム（MEMS）[ 39 ]の主な最終用途アプリケーションは、民生用電子機器（民生用電子機器、家庭用電化製品、携帯電話、カメラなど）、機械工学、制御、計測および調整技術、プロセッサ、実験室技術、医療技術、自動車、航空宇宙、およびセキュリティアプリケーションです。