パーフルオロデシルトリクロロシラン

パーフルオロデシルトリクロロシラン
名前
	IUPAC名トリクロロ(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-ヘプタデカフルオロデシル)シラン
	その他の名前 FDTS; パーフルオロデシルトリクロロシラン; パーフルオロオクチルエチルトリクロロシラン; 1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルトリクロロシラン; トリクロロ-1H,1H,2H,2H-パーフルオロデシルシラン;
識別子
CAS番号	78560-44-8;
3Dモデル（JSmol）	インタラクティブ画像;
ケムスパイダー	110171;
ECHA 情報カード	100.110.513
EC番号	616-629-4;
パブケム CID	123577;
CompTox ダッシュボード ( EPA )	ＤＴＸＳＩＤ２０７４３７６;
	InChI InChI=1S/C10H4Cl3F17Si/c11-31(12,13)2-1-3(14,15)4(16,17)5(18,19)6(20,21)7(22,23)8( 24,25)9(26,27)10(28,29)30/h1-2H2 キー: VIFIHLXNOOCGLJ-UHFFFAOYSA-N; InChI=1/C10H4Cl3F17Si/c11-31(12,13)2-1-3(14,15)4(16,17)5(18,19)6(20,21)7(22,23)8( 24,25)9(26,27)10(28,29)30/h1-2H2 キー: VIFIHLXNOOCGLJ-UHFFFAOYAV;
	笑顔 C(C[Si](Cl)(Cl)Cl)C(C(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F;
プロパティ
化学式	CF; 3（CF; 2) 7 ( CH; 2）2SiCl; 3
モル質量	581.556 [グラム/モル]
外観	無色の液体
臭い	刺激臭があり、HClに似ている
密度	1.7g/ cm3
沸点	224 °C (435 °F; 497 K)
水への溶解度	加水分解
溶解度	THF、THP、トルエン、その他の有機溶媒に可溶
危険
	労働安全衛生（OHS/OSH）：
主な危険	湿気に敏感
	特に記載がない限り、データは標準状態（25 °C [77 °F]、100 kPa）の材料に関するものです。インフォボックス参照

ペルフルオロデシルトリクロロシランは、 FDTSとも呼ばれ、分子式C ₁₀H ₄Cl ₃F ₁₇Siの無色の液体化学物質です。FDTS 分子は自己組織化単分子膜を形成します。ガラス、セラミック、シリカの表面などの遊離ヒドロキシル(–OH) 基にシリコンと酸素の共有結合を形成します。

FDTS 単分子膜は、末端基が高度にフッ素化されているため、表面エネルギーが低下します。FDTS 単分子膜の堆積は、分子蒸着(MVD)とも呼ばれる比較的単純なプロセスによって行われます。通常、室温から室温に近い温度 (50 °C) で気相から堆積するため、ほとんどの基板と互換性があります。このプロセスは通常、真空チャンバー内で実行され、水蒸気の存在によって促進されます。処理された表面は、撥水性と摩擦低減特性を備えています。

このため、FDTS単分子膜は、微小電気機械システム（MEMS）の可動マイクロパーツによく適用されます。^[3] FDTS単分子膜は表面エネルギーを低減し、固着を防ぐため、ナノインプリントリソグラフィー用のスタンプにマイクロおよびナノの特徴をコーティングするために使用されます。ナノインプリントリソグラフィーは、電子機器、有機フォトダイオード、マイクロ流体デバイスなどの製造に好まれる方法になりつつあります。

表面エネルギーの低減は、射出成形におけるポリマー部品の取り出し力と離型力の低減に役立ち、FDTSコーティングはいくつかの金属製射出成形金型とインサートに適用されました^[4]。

参考文献

Srinivasan, U.; Houston, MR; Howe, RT; Maboudian, R.; 、「シリコンマイクロマシンのスティクション低減のためのアルキルトリクロロシランベースの自己組織化単分子膜」、Microelectromechanical Systems、Journal of、vol.7、no.2、pp. 252–260、1998 年 6 月。doi: 10.1109/84.679393
Ruben BA Sharpe、Dirk Burdinski、Jurriaan Huskens、Harold JW Zandvliet、David N. Reinhoudt、およびBene Poelsema、「マイクロコンタクト印刷用の化学的にパターン化されたフラットスタンプ」、Journal of the American Chemical Society 2005 127 (29)、10344-10349。
Ashurst, WR、Carraro, C.、および Maboudian, R.、「MEMS 用気相アンチスティクションコーティング」、IEEE Transactions on Device and Materials Reliability、Vol. 3、No. 4、pp. 173–178、2003 年。doi: 10.1109/TDMR.2003.821540

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^ Ashurst, WR ( 2003年 12 月)。「MEMS 用気相アンチスティクションコーティング」。IEEE Transactions on Device and Materials Reliability。3 ( 4): 173–178。doi :10.1109/TDMR.2003.821540。
^ Cech J, Taboryski R (2012). 「アルミニウム射出成形ツール上のFDTS単層コーティングの安定性」.応用表面科学. 259 : 538–541. Bibcode :2012ApSS..259..538C. doi :10.1016/j.apsusc.2012.07.078.

[apolloscientific.co.uk-1] ttp://store.apolloscientific.co.uk/storage/msds/PC5979_msds.pdf ^{[ベア URL PDF ]}

[apolloscientific.co.uk2-2] ttp://www.apolloscientific.co.uk/downloads/msds/PC5979_msds.pdf ^{[リンク切れ‍ ]}

[3] ^ Ashurst, WR ( 2003年 12 月)。「MEMS 用気相アンチスティクションコーティング」。IEEE Transactions on Device and Materials Reliability。3 ( 4): 173–178。doi :10.1109/TDMR.2003.821540。

[4] Cech J, Taboryski R (2012). 「アルミニウム射出成形ツール上のFDTS単層コーティングの安定性」.応用表面科学. 259 : 538–541. Bibcode :2012ApSS..259..538C. doi :10.1016/j.apsusc.2012.07.078.