智堂沙

萨支唐（簡体字中国語:萨支唐、繁体字中国語:薩支唐、ピンイン: Sà Zhītáng、1932年11月10日 - 2025年7月5日）は、中国系アメリカ人の電子工学者、凝縮系物理学者。 1963年にフェアチャイルド・セミコンダクターでフランク・ワンラスと共にCMOS（相補型MOS）ロジックを発明したことで最もよく知られている。^{[ 1 ]} CMOSは、現代のほぼすべての超大規模集積回路（VLSI）半導体デバイスで使用されている。^{[ 2 ]}

彼はピットマン特別研究員^{[ 3 ]}であり、 1988年から2010年までフロリダ大学の大学院研究教授を務めた。彼はイリノイ大学アーバナ・シャンペーン校の物理学教授および電気・コンピュータ工学名誉教授であり、26年間（1962年～1988年）教鞭を執り、電気工学と物理学の博士号取得者40名と電気工学修士論文34件を指導した。フロリダ大学では、電気工学の博士論文10件を指導した。彼は大学院生や研究員とともに300件以上の査読付き学術論文を発表し、中国、ヨーロッパ、日本、台湾、米国でトランジスタの物理学、技術、進化に関する招待講演約200件と寄稿論文60件を発表した。^{[ 4 ] [ 5 ]}

サハは、中国福州市の名門福州サハ家の出身で、元朝の著名な官僚サドゥラの末裔である。彼の父ペン・トン・サハは、中国中央研究院の創設メンバー（1928年～1949年）であり、厦門大学の学長（1937年～1945年）および中央研究院の事務総長（1945年～1949年）を務めた。^{[ 6 ]}サハには、ニューヨーク州立大学ストーニーブルック校の数学者で教授の弟チーハンもいた。^{[ 7 ]}

サハは1953年にイリノイ大学で電気工学と工学物理学の2つの理学士号（BS）を取得し、1954年と1956年にはそれぞれスタンフォード大学で理学修士号（MS）と哲学博士号（Ph.D.）を取得した。彼の博士論文の研究テーマは、カール・スパンゲンベルクの指導の下、進行波管に関するものであった。

固体電子工学における彼の産業界でのキャリアは、1956年にウィリアム・ショックレーのもとで始まり、 1959年から1964年までパロアルトのフェアチャイルド・セミコンダクター社で続き、その後25年間（1962年～1988年）イリノイ大学の物理学および電気工学の教授となった。フェアチャイルド社では、ゴードン・E・ムーア、ビクター・H・グリニッチ、ロバート・N・ノイスの指導の下、サハは64名のフェアチャイルド物理学部門を率いて、シリコンバイポーラトランジスタおよびMOSトランジスタの量産のための第一世代製造技術（酸化、拡散、エピタキシャル成長、金属導体薄膜堆積）の開発、不純物拡散のための酸化膜マスク、安定したシリコン（Si）MOSトランジスタ、CMOS回路、低周波ノイズの発生源、最初の回路シミュレータで使用されたMOSトランジスタモデル、薄膜集積抵抗、バイポーラ集積回路製造のためのSiエピタキシャルプロセスなどの集積回路技術の開発を行った。

1960 年初頭にベル研究所のMohamed AtallaとDawon KahngがMOSFET (金属酸化物半導体電界効果トランジスタ、または MOS トランジスタ) を初めて実証した後、Sah は1960 年後半に製作したMOS 制御テトロードでフェアチャイルドに MOS 技術を導入しました。 ^{[ 8 ]} 1963 年、Sah はフェアチャイルドでFrank Wanlassと共にCMOS (相補型 MOS)半導体デバイス製造プロセスを発明しました。^{[ 1 ]} CMOS は、現代のほぼすべてのLSIおよびVLSIデバイスで使用されています。^{[ 2 ]}

彼は、World Scientific Publishing Company, Singapore から、招待著者による 3 冊のタイトル (1990 年代) と、集積回路のコンピュータ支援設計のためのデバイスのコンパクト モデル化に関する招待著者による 8 冊のモノグラフ (2007 ～ 2013 年) を出版した、固体電子工学および技術の進歩に関する国際シリーズ (ASSET) [ 9 ] の創刊^編集者( 1991年) でした。彼の以前の研究 (1961 ～ 2013 年) は、MOS トランジスタ モデルに関する 1964 年の Sah、1965 年の Sah-Pao、1966 年の Pao-Sah の論文以来 40 年ぶりに、ナノメートルMOS 集積回路のコンピュータ支援設計のためのコンパクト モデルの開発をさらに支援するために、2004 年 10 月に若い同僚から招かれて参加したため、MOS トランジスタ モデルに関するものでした。2013 年以降、彼は若い同僚の Bin Bin Jie と共に凝縮系物理学、特に水の物理学を研究しています。

トランジスタ物理学および技術への貢献により、米国電気電子学会（IEEE）から、30歳未満の著者を対象としたBrowder H. Thomson最優秀論文賞（IRE-1962）、JJ Ebers電子デバイス賞（1981）、Jack Morton賞（1989）を受賞したほか、Franklin Institute功労賞、カリフォルニア州サンノゼのアジア系アメリカ人製造業者協会からハイテクノロジー分野における初の功績賞（1984）（ Morris Changと共同受賞）、半導体工業会第4回大学研究賞（1998）、中国系アメリカ人市民団体Committee-of-100から初のパイオニア表彰を集積回路技術で受賞（生物工学ではYung Cheng Fung）、中国工程院/米国が主催するアジア系アメリカ人エンジニア・オブ・ザ・イヤー第2回生涯功労賞（2003）、名誉博士号を授与された。ベルギーのルーヴェン大学から博士号（1975年）、台湾の交通大学から名誉博士号（2004年）、厦門大学から中国国家名誉博士号（2010年）を授与された。また、IEEE電子デバイス学会の著名な会員（2012年）にも選ばれた。

彼は、1963年から1978年にかけて、科学情報研究所（ISI）の調査で世界で最も引用された科学者1000人の一人に選ばれた。彼は、アメリカ物理学会、フランクリン研究所、IEEEの終身フェローであり、アメリカ科学振興協会のフェロー、米国工学アカデミー（1986年）、台北の中央研究院（1998年）、北京の中国科学院（2000年）の会員であった。彼は、中国の清華大学（2003年）、北京大学（2003年）、厦門大学（2004年）の名誉教授に任命された。

彼は『固体電子工学の基礎』 （FSSE、1991年）という3巻からなる教科書を執筆した。^{[ 10 ]} FSSEは2003年に中国語に翻訳された。