
ナノメートル(国際度量衡局が使用する国際綴り、SI記号:nm)またはナノメートル(アメリカ綴り)は、国際単位系(SI)の長さの単位で、1メートルの10億分の1 (短尺)または10億分の1(長尺)( 0.000000001 m)および1000ピコメートルに相当します。1ナノメートルは、科学的表記法で1 × 10⁻⁹ mおよび 1 / 1,000,000,000 m 。
ナノメートルは、以前は「ミリマイクロメートル」、またはより一般的には「ミリミクロン」と略して呼ばれていました。これは 、マイクロメートルの 1/1000であるためです。 多くの場合、記号mμで表され、まれにμμと表記されることもありました(ただし、μμはマイクロメートルの100 万分の1を意味します)。[ 1 ] [ 2 ] [ 3 ]
この名称は、SI接頭辞のナノ-(古代ギリシャ語のνάνος、nanos、「小人」に由来)と、親単位名であるメートル(ギリシャ語のμέτρον、metron、「測定単位」に由来)を組み合わせたものである。
ナノテクノロジーは、ナノメートルスケールで起こる物理プロセスに基づいています(ナノスケールを参照)。[ 1 ]
ナノメートルは、原子スケールでの寸法を表すためによく使用されます。たとえば、ヘリウム原子の直径は約 0.06 nm、リボソームの直径は約 20 nm です。ナノメートルは、可視光スペクトルの近くの電磁放射の波長を指定するためにもよく使用されます。可視光は、約 400 ~ 700 nm の範囲です。[ 4 ] 0.1 nm に等しいオングストロームは、以前はこれらの目的で使用されていました。
1980年代後半以降、32nm や22nm 半導体ノードなどの用途において、半導体業界における小型半導体デバイス製造のためのITRSロードマップの次世代における典型的な特徴サイズを説明するためにも使用されてきました。