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ASM International NV（ASMはAdvanced Semiconductor Materialsの略）は、半導体デバイスの製造に使用される装置の設計、製造、販売、およびサービスを行うオランダの多国籍企業です。同社の製品は、半導体メーカーが原子層堆積、エピタキシー、化学気相堆積、拡散などのプロセスを行う製造工場で使用されています。[ 1 ]
同社は、1964 年に Arthur del Prado (1931–2016) によって設立されました。[ 2 ] 2008 年から 2020 年までは、Arthur del Prado の息子である Chuck del Prado がCEOを務めました。ASM は、リソグラフィ、蒸着、イオン注入、シングルウェーハエピタキシー、そして近年では原子層堆積など、業界で使用されている多くの確立されたウェーハ処理技術の重要な側面を開拓しました。半導体装置会社のASML、ASM Pacific Technology (ASMPT)、Besi は、ASM の旧部門です。[ 2 ] [ 3 ]
ASMの本社はオランダのアルメレにあります。同社は、アルメレ（オランダ）、ヘルシンキ（フィンランド）、ルーヴェン（ベルギー、IMEC近郊）、フェニックス（アリゾナ州）、多摩（日本）、東灘（韓国）に研究開発拠点を有しています。製造は主にシンガポールと東灘（韓国）で行われています。ASMは、米国、韓国、中国、台湾、日本、シンガポール、イスラエルなど、世界中に販売およびサービスオフィスも有しています。2021年現在、14か国に3,312人の従業員がいます。[ 1 ]
同社の株式はユーロネクスト・アムステルダムに上場されている。2020年3月、ASMはAEX指数に昇格した。[ 4 ] ASMは、半導体組立、パッケージング、表面実装技術を手掛ける香港拠点の企業、ASMパシフィック・テクノロジーの少数株主である。
半導体チップを製造するには、フォトリソグラフィによるパターニング、薄膜の成膜、材料除去のためのエッチング、熱処理など、さまざまなタイプのウェハ処理装置を用いて多くの工程が行われます。ASMのシステムは、さまざまな材料の薄膜（層）をウェハ上に成長または成膜する成膜プロセス向けに設計されています。チップ製造に必要な一連のプロセスを完了するために、多くの異なる薄膜層が成膜されます。
ASMの技術開発は、より高速で、より安価で、より高性能な半導体チップを、より低消費電力で製造したいという顧客の目標によって推進されています。この目標は、チップ上の部品の寸法を縮小し、 2年ごとにチップ上の単位面積あたりの部品数を倍増させる（ムーアの法則）必要性を生み出しています。この寸法縮小の一環として、ASMは顧客であるチップメーカーに、より薄い半導体材料膜を成膜する装置を提供しています。また、ASMは半導体製造に使用される新素材の成膜プロセスも開発しています。
過去 15 年間、チップの製造に新しい材料がますます多く導入されてきました。[ 5 ]これらの新しい材料は、ムーアの法則で概説されているように、チップの必要な性能向上を達成するために必要とされました。たとえば、2007 年にMOSFETトランジスタでは、酸化シリコンゲート誘電体が、酸化シリコンよりも高い誘電率を持つ材料である高 κに置き換えられました。この特定のケースでは、ASM は、10 年近くの研究開発を経て、化学プロセスと原子層堆積と呼ばれる新しい堆積方法を先駆けて開発しました。[ 6 ] [ 7 ]さらに、トランジスタなどのチップ上のコンポーネントが、過去 10 年間のFinFETのような平面構造から3D 構造に移行するにつれて、ますます精密な堆積方法が求められています。 [ 8 ] ASM は、シングル ウェーハ原子層堆積 (ALD) において主導的な地位を占めています。[ 7 ]
ASMは、これらの薄膜材料を成膜するためのさまざまな方法とそれに付随する装置を提供しています。同社は、成膜技術と装置の適用範囲を可能な限り拡大しようとしています。[ 9 ]研究開発はその取り組みにおいて非常に重要です。2021年、同社は研究開発に1億5100万ユーロ（年間収益の9%）を費やしました。[ 1 ] 研究開発活動は、新素材の基礎研究からチップ製造における新素材の応用まで多岐にわたります。
ASMは、ウェハを1枚ずつ成膜するシングルウェハ成膜装置と、複数のウェハに同時に成膜するいわゆるバッチ式成膜装置の両方を設計・販売しています。同社のシステムの価格は様々ですが、通常は1システムあたり数百万ユーロです。ASMの製品は、成膜方法によって以下のように分類できます。
原子層堆積法は、高度に制御された方法で一度に1原子層ずつ薄膜を堆積させる層状プロセスです。反応サイクル中に、前駆体と反応物を交互にパルスし、各パルスの間に不活性ガスでパージすることによって層が形成されます。ASMは、熱ALDとプラズマ強化ALD（PEALD）の2つの技術分野でシングルウェハALD装置を提供しています。ASMのALD装置には、Synergis、Pulsar、EmerALDがあります。PEALD装置には、Eagle XP8とXP8 QCMがあります。 [ 1 ]
エピタキシーは、半導体デバイスの電気特性にとって重要な、精密に制御された結晶シリコンベースの層を堆積するために使用されるプロセスです。シリコンエピタキシープロセスは、半導体チップの製造中にウェーハ表面の電気特性を変更して高性能トランジスタを作成するために使用できます。ASMのエピタキシーツールはシングルウェーハツールであり、IntrepidとEpsilonが含まれます。 [ 1 ]
化学気相成長法は、ウェハを1つ以上の揮発性前駆体に曝露し、それらが基板表面で反応および/または分解して目的の膜を生成する化学堆積プロセスです。化学気相成長法（CVD）において、ASMはシングルウェハプラズマ強化CVD（PECVD）とバッチ低圧CVD（LPCVD）の2種類の装置を提供しています。ASMはDragon XP8装置でシングルウェハPECVDプロセスを提供しています。ASMは垂直炉A400 DUOおよび新しいSonora装置でバッチLPCVD/拡散プロセスを提供しています。 [ 1 ]
1960年代：1964年、アーサー・デル・プラドはオランダのビルソーフェンで「Advanced Semiconductor Materials」としてASMを設立した。[ 10 ]当初、同社はヨーロッパで半導体製造技術の販売代理店として活動していた。1968年、同社は正式に非公開有限会社として上場した。
1970年代：ASMは化学気相成長装置の設計、製造、販売を開始した。[ 9 ] 1974年には、半導体金型 のオランダメーカーであるFico Toolingsを買収した。 1975年には、香港に販売事務所ASM Asia（現在はASM Pacific Technologyとして知られ、取引されている）が設立された。1976年には、アリゾナ州フェニックスにASM Americaが設立された。ASMの水平プラズマ強化化学気相成長炉の販売が同社の成長を牽引した。
1980年代： 1981年5月にナスダックで新規株式公開を行った後、同社は事業を拡大する。1982年にASMジャパンが設立される。[ 2 ] ASMは、リソグラフィー、イオン注入、エピタキシー、ワイヤボンディング などの新しい半導体製造技術に投資する。1988年、同社はASMLホールディングNV、ASMイオン注入を売却し、1989年に香港を拠点とする事業をASMパシフィックテクノロジーとして香港証券取引所に上場する。
1990年代：同社は1991年から1994年にかけて徹底的な再編を行った。[ 3 ] 1993年、ASMはASM FicoをBerliner Electro Holding（現在のBesi）に売却した。ASMは、ASM Europeによる垂直低圧化学気相成長炉、ASM Japanによるシングルウェーハプラズマ強化化学気相成長、ASM Americaによるシングルウェーハエピタキシーに注力した。1996年以降、同社はアムステルダムのユーロネクストにも上場した。ASMはASM Pacific Technologyの過半数株式を保有している。
2000年代：ASMは300mmウェハ技術と原子層堆積への投資により再び拡大する。2007年、同社は高κ金属ゲートアプリケーションを通じて原子層堆積を研究開発から大量生産へと成功裏に移行させた。[ 7 ] 同時に、ヘッジファンドはASM Pacific Technologyへの同社の出資について疑問を呈した。[ 11 ] 2008年、アーサー・デル・プラドは息子のチャック・デル・プラドにCEOの座を譲った。[ 10 ] 2009年、本社はビルソーフェンからオランダのアルメレに移転した。
2010年代：同社は、製品主導型組織の導入、単一のグローバル販売組織、シンガポールでの製造の統合、グローバルな人事、財務、IT、業務効率化、環境、健康、安全組織の設立を含む世界的な再編プログラムの実行後、構造的な収益性を回復した。多重パターニングと高κ金属ゲートへの（プラズマ強化）原子層堆積の応用がASMの成長を牽引している。[ 6 ] [ 7 ] その他の製品には、エピタキシー、PECVD、垂直炉がある。ASM Pacific Technologyへの出資比率は25%に減少した。
2020年代：2020年、ユーロネクストにおいて、同社はユーロネクスト・アムステルダム証券取引所に上場している上位25社で構成されるAEX指数に組み込まれた。 [ 4 ]同年、12年間CEOを務めたチャック・デル・プラドは退任を決意し、ベンジャミン・ローが後任となった。2020年から2022年の間に、ASMは垂直炉製品ラインをA400DUO（200mmウェーハ）とSonora（300mmウェーハ）で刷新した。
ASMは世界中の半導体メーカーに装置を販売しており、収益の大半はアジアの顧客からのものです。2021年の総収益17億3000万ユーロのうち、14億1000万ユーロは装置販売によるもので、残りはスペアパーツとサービスによるものでした。
ASMの株式は1996年からユーロネクスト証券取引所で取引されている。2020年3月以降、ASMはAEX指数に組み込まれている。[ 4 ] ASM Pacific Technologyの時価総額は、2013年にASMのASM Pacific Technologyへの出資比率が25%に低下した後は連結されなくなった。1981年から2015年の間、ASMはナスダックにも上場していた。
2018年の株価は平均48.62ユーロで、平均時価総額は25億3000万ユーロでした。2019年の平均終値は68.98ユーロで、平均時価総額は33億8000万ユーロでした。[ 12 ] 2021年12月31日のユーロネクスト・アムステルダムでの終値388.70ユーロに基づくと、2021年末の時価総額は188億8000万ユーロでした。
