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| 会社種別 | 公共 |
|---|---|
| 業界 | 製造業 |
| 設立 | 1945年 |
| 創設者 |
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| 本部 | 米国ニューヨーク州プレインビュー |
主要人物 | |
| 収益 |  5億8,300万米ドル（2021年） |
| 5,700万米ドル（2021年） | |
| 2,600万米ドル（2021年） | |
| 総資産 | 8億9,900万米ドル（2021年） |
| 総資本 | 4億3,800万米ドル（2021年） |
従業員数 | 1,091 (2021年12月) |
| 子会社 | ウルトラテック |
| Webサイト | ウェブ |
| 脚注/参考文献 [1] | |
Veeco Instruments Inc. は、米国に本社を置く世界的な資本設備サプライヤーであり、先進的なパッケージング、フォトニクス、パワーエレクトロニクス、ディスプレイ技術などの用途向けに、半導体および 化合物半導体の製造、データストレージ、科学市場で使用される処理システムを設計および構築しています。
Veeco の処理システム機能には、レーザー アニーリング、フォトリソグラフィー、イオン ビーム エッチングおよび堆積、有機金属化学気相成長法(MOCVD)、ウェット ウェーハ処理、分子線エピタキシー(MBE)、原子層堆積法(ALD)、物理気相成長法(PVD)、ダイシングおよびラッピング、ガスおよび蒸気供給が含まれます。
これらの技術は、人工知能、仮想現実と拡張現実、高性能コンピューティング、自律走行車、5G無線通信ネットワーク、クラウドストレージを実現するために使用されます。[2]
歴史
Veeco は、ヘリウム漏れ検出器を開発した 2 人の科学者、フランク・レイブルとアル・ナーケンによって 1945 年に設立されました。社名の「Veeco」は Vacuum Electronic Equipment Company の略です。1960 年代に、元の Veeco は電源メーカーの Lambda と合併し、1980 年代後半にはイギリスのUnitech社に買収されました。
1990年、当時Veeco社の最高執行責任者だったエドワード・H・ブラウンと同社の上級役員グループが、Veeco社の計測機器事業をユニテック社から経営陣による買収で買収した。同社は再びVeeco Instrumentsの商号を使用し、 1994年にナスダック・ナショナル・マーケットで新規株式公開を行った（NASDAQ: VECO）。このIPOで同社は2,750万ドルの利益を得た。[3]
1994年に株式を公開して以来、Veecoは10件以上の買収を完了しています。同社は1999年にIon Tech Inc.を買収し、光学コーティング市場に参入しました。[4]
2001年にVeeco社は、現在MBE技術の世界的リーダー的地位を維持している分子線エピタキシーグループであるApplied EPI社を買収しました。[5]
2003年にVeecoはEmcoreを買収し、先進的なLED、垂直共振器面発光レーザー（VCSEL）、フォトニクス市場における独自の金属有機化学気相成長技術の道を開きました。 [6]
2007 年から 2018 年にかけて、Veeco は ALD 研究に多額の投資を行い、このテーマに関する多数の論文を発表しました。
2007年7月、当時68歳だったブラウンはVeecoの取締役会長に就任し、52歳のジョン・R・ピーラーが最高経営責任者として同社に加わった。ピーラーはJDSUの通信試験計測部門の元社長であった[7]
2008年、Veeco社は2003年にAsylum Research Corporation社に対して起こしていた特許訴訟を和解した。[8]
2010年10月、Veecoは計測事業をBruker Corporationに2億2,940万ドルの現金で売却すると発表した。[9]
2012年5月、ジョン・ピーラーがVeecoの取締役会長に就任した。[7]
2014年にVeecoはSolid State Equipment Co.を買収し、半導体および化合物半導体市場向けの溶剤ベースのウェットエッチングおよびクリーン技術のポートフォリオを拡大しました。[10]
2017年5月26日、Veecoは先端パッケージング市場への進出を目指し、半導体前工程制御機器メーカーのUltratechを買収した。 [11]これにより、ロジックおよびメモリデバイスの大量生産に使用される先端パッケージングリソグラフィー、レーザースパイクアニーリング、3Dウェーハ検査技術がポートフォリオに追加された。VeecoはUltratechの買収により、ボストンを拠点とする原子層堆積技術の革新企業であるCambridge Nanotechも買収した。[12]
2018年10月、ビル・ミラーがCEOに任命された。[13]ミラーは以前社長を務めており、世界中のVeecoの事業部門と運営チーム内でいくつかの成長イニシアチブを主導してきた。2020年5月、取締役会にジェンダーの多様性をもたらすためにガバナンスに変更が加えられた。会長兼元CEOのジョン・ピーラーは取締役会から退任した。ノースブリッジベンチャーパートナーズのゼネラルパートナーであり、以前はリード独立取締役であったリチャード・ダモーレが会長に任命され、II-VI Inc.の最高財務責任者兼財務担当役員であるメアリー・ジェーン・レイモンドが監査委員会に任命された。[14]
2020年、Veecoは研究開発を最適化し、コア技術を半導体および化合物半導体市場に拡大することで収益性を強化することに成功しました。[15]
2021年、Veeco社はカリフォルニア州サンノゼの施設から最初のLSA101レーザースパイクアニーリングシステムを大手半導体メーカーに出荷しました。[16]
2023年2月、Veecoが、電気自動車市場での高度なSiCアプリケーションを可能にするCVDエピタキシーシステムの製造元であるルンドに本社を置くEpiluvac ABを買収したことが発表されました。
財務
2021 年度、Veeco は年間収益 5 億 8,300 万ドルを報告しました。これは、半導体とデータ ストレージの業績が牽引し、2020 年比 28% 増です。この成長は収益性の向上によってもたらされ、非 GAAP 営業利益は 8,700 万ドル、希薄化後の非 GAAP EPS は 1.43 ドルまたは 66% 増加しました。
Veecoの営業キャッシュフローは6,800万ドルで、2020年比58%増加した。[17] [18]
市場
Veecoは、以下の主要技術市場分野向けの薄膜プロセス装置を専門としています。 [19]
- 半導体
- 化合物半導体
- データストレージ
- 科学的
- 高度なパッケージング
- MEMSおよびRFフィルター
Veecoシステムは、高度な材料堆積プロセス、洗浄、表面処理、および重要な材料の除去に使用されます。Veecoシステムを購入するハイテクメーカーは、デバイスを大量に生産します。また、より効率的でコスト効率が高く、より高度な次世代製品の開発にも使用されています。[20]
製品
フロントエンドオブライン（FEOL）半導体システムには以下が含まれます。
- 制御された温度で材料を精密にドーピングするためのレーザースパイクアニーリングシステム
- スピントルク転送磁気ランダムアクセスメモリ（「STT-MRAM」）アプリケーションで使用されるイオンビームエッチングツール。STT-MRAMは、不揮発性、速度、耐久性、消費電力など、従来のランダムアクセスメモリに比べて多くの利点があります。[21]
- 半導体、太陽光発電、医療機器用途の原子層堆積（ALD）ツール。Veecoは世界のALD市場の主要プレーヤーの1つです。 [22]
高度なパッケージング システムには次のものが含まれます。
- 銅ピラー、ファンアウト ウェーハレベル パッケージング(FOWLP)、シリコン貫通ビア(TSV)、シリコンインターポーザアプリケーションに使用されるリソグラフィー ツール
- バンプ下配線および再配線層アプリケーション用のウェットエッチングツール
- フォトレジストおよびドライフィルム除去、フラックス洗浄、パーティクル除去、TSV洗浄アプリケーション用のウェット溶剤ベースの表面処理ツール
MEMS デバイスおよび RF フィルターの製造に使用されるシステムには、次のものがあります。
- 基板上の薄膜や場合によっては基板自体をエッチングするためのウェットエッチングツール。[23]
- 金属リフトオフに浸漬・スプレー方式を採用したシングルウェーハウェットクリーンシステム。MEMSや複合半導体のアプリケーションで使用されています。このツールはSSECの買収の一部でした。[24]
- バルク音響波 (BAW) や表面音響波(SAW) RF フィルターなどの電気音響フィルターの製造においてイオンビーム リソグラフィーを実行するために使用される MBE およびイオンビーム エッチング ツール。
化合物半導体アプリケーションに使用されるシステム:
Veeco社のMOCVDツールは、リン化インジウム（InP）、ヒ化ガリウム（GaAs）、窒化ガリウム（GaN）などのIII-V族化合物半導体材料を単結晶層に堆積させて薄膜を形成するために使用されます。[25]
これは、 LEDで琥珀色と赤色の出力色を作成するために、非常に均一なヒ化物とリン化物 (「As/P」) のフィルムを堆積するために使用されます。
MOCVDの新しい用途としては、ミニLEDやLEDバックライトディスプレイに使用されるマイクロLEDなどがある。また、顔認識アプリケーションに使用されるVCSELや、GaNベースのRFおよびパワー半導体デバイスも実現すると期待されている。[25]
先端材料研究および産業応用に使用されるシステム
Veeco MBE システムは、材料科学の発見の一環として科学研究機関や大学で使用されています。
- アイントホーフェン工科大学のナノラボでは、Veeco MBEリアクターを使用してGaAsベースの材料のエピタキシャル層を成長させています。[26]
- タフツ大学では、Veeco GEN Xplore により、小さなバンドギャップ材料の成長が可能になっています。https://engineering.tufts.edu/epitaxycore/capabilities/molecular-beam-epitaxy
MBE、ウェットエッチング、クリーンシステムは、高出力レーザーや赤外線センサーの製造にも使用されます。
IBD、IBE、PVD、ラッピングおよびダイシングツールは、ハードディスクドライブなどのデータストレージアプリケーションで使用されます。IBDツールは、さまざまな基板上に先端材料の薄い層を堆積させ、光の反射と透過の方法を変更します。[27]
技術革新
VeecoはALD研究に投資し、2007年から2018年の間にこのテーマに関する多数の論文を発表してきたALD科学研究チームを支援しています。[28]
太陽電池用途では、2010年にVeeco MOCVDがセル成長速度を高め、性能を損なうことなくスループットを向上させるツールを開発しました。[29]
設備
ニューヨーク州プレインビューに本社を置くVeecoは、11か国に15の拠点を構えています。[要出典]
- ニュージャージー州サマセット
- ペンシルバニア州ホーシャム
- マサチューセッツ州ウォルサム
- カリフォルニア州サンノゼ
- ミネソタ州セントポール
- ミュンヘン、ドイツ
- 上海、中国
- 東京、日本
- ソウル、韓国
- 台湾、新竹
- タイ、バンコク
- ラグナ、フィリピン
- シンガポール
- マレーシア、ペナン
- ルンド、スウェーデン
参考文献
- ^ 「Veeco Instruments Inc. 2021 年次報告書 (Form 10-K)」。米国証券取引委員会。2022 年 2 月 18 日。
- ^ 「大きな成長分野：コネクティビティ、AI、信頼性」。半導体エンジニアリング。2020年1月14日。 2022年5月13日閲覧。
- ^ 「Veeco Instruments Inc. の歴史」。Funding Universe。2020年6月9日。 2020年6月9日閲覧。
- ^ 「VeecoがIon TechおよびOptiMagと合併」optics.org . 2020年6月9日閲覧。
- ^ 「Veeco、複合デバイス向けエピツール提供のためApplied Epiを1億3200万ドルで買収」EE Times 2001年9月7日2020年6月9日閲覧。
- ^ 「EmcoreがTurboDisc事業をVeecoに売却 - ニュース」。Compound Semiconductor 。 2020年6月9日閲覧。
- ^ ab 「ジョン・R・ピーラー、ウルトラテック社：プロフィールと経歴」。Bloomberg.com 。2022年5月13日閲覧。
- ^ 「StackPath」。www.laserfocusworld.com . 2020年6月9日閲覧。
- ^ LePedus, Mark (2010年8月16日). 「Veecoが計測ユニットをBrukerに売却」. EE Times . 2020年6月9日閲覧。
- ^ 「Veeco、Solid State Equipment Holdings LLCの買収を完了 | Semiconductor Digest」2020年6月9日閲覧。
- ^ Robert, Castellano (2017年2月6日)。「Veecoは自らを改革しているが、なぜUltratechを買収するのか?」Seeking Alpha 。 2020年6月9日閲覧。
- ^ Sieffert, Don (2012年12月21日). 「ケンブリッジナノテックの資産、カリフォルニアの半導体/ LED企業が買収」www.bizjournals.com . 2020年6月10日閲覧。
- ^ 「Veecoのビル・ミラー社長がCEOに就任、ジョン・ピーラーが会長に就任、CFOのマヘシュワリがCOOの役割を追加」www.semiconductor-today.com 。 2022年5月13日閲覧。
- ^ 「Veeco、取締役会のガバナンスと多様性の改善を発表」www.semiconductor-today.com . 2020年6月10日閲覧。
- ^ 「Veeco、再編を完了し営業キャッシュフローがプラスに回復」www.semiconductor-today.com . 2022年5月13日閲覧。
- ^ 「Evertiq - Veeco、新製造施設から最初のシステムを出荷」evertiq.com . 2022年5月13日閲覧。
- ^ Inc、Veeco Instruments (2022-02-16)。「Veecoが2021年度第4四半期および会計年度の財務実績を報告」。GlobeNewswireニュースルーム。2022年5月13日閲覧。
{{cite web}}:|last=一般的な名前があります (ヘルプ) - ^ 「VECO | Veeco Instruments Inc. 年間キャッシュフロー - WSJ」。www.wsj.com 。 2022年5月13日閲覧。
- ^ 「Veeco Instruments Inc. - AnnualReports.com」。www.annualreports.com 。 2022年5月13日閲覧。
- ^ 「Veeco Instruments Inc. - AnnualReports.com」。www.annualreports.com 。 2020年6月10日閲覧。
- ^ 張、李;趙、威生。チアン、イーチー。バオ、ジュンリン。王格飛。唐、花蓮。リー、コン。徐北麗（2013年11月14日）。 「セルフイネーブルスイッチングおよびプリチャージセンシングスキームを備えた16 Kbスピントランスファートルクランダムアクセスメモリ」。磁気に関するIEEEトランザクション。50 (4): 1-7。土井: 10.1109/TMAG.2013.2291222。ISSN 1941-0069。
- ^ LLP、Fior Market Research (2020-01-29)。「世界の原子層堆積（ALD）市場は2025年までに95億1000万米ドルに達すると予想：Fior Markets」。GlobeNewswire News Room 。2020年6月10日閲覧。
- ^ 「エッチングプロセス」。MNX - MEMSおよびナノテクノロジー交換。 2020年6月9日閲覧。
- ^ 「SSEC、MEMS向けシングルウェーハウェット処理ツールを発表 - ニュース」。Silicon Semiconductor 。 2020年6月10日閲覧。
- ^ ab 「MOCVDベンダーが新たなアプリケーションに注目」。半導体エンジニアリング。2020年2月20日。 2020年6月10日閲覧。
- ^ 「MBE Veeco GENxplorer」。www.tue.nl 。 2020年6月10日閲覧。
- ^ 「アーカイブコピー」（PDF） 。 2020年6月10日時点のオリジナル（PDF）からアーカイブ。 2021年1月12日閲覧。
{{cite web}}: CS1 maint: アーカイブされたコピーをタイトルとして (リンク) - ^ 「ALD研究アーカイブ」。Veeco 。 2020年6月10日閲覧。
- ^ Schmieder, Ken; Haughn, Chelsea; Pulwin, Ziggy; Dyer, Devon; Mutitu, James; Doty, Matt; Ebert, Chris; Barnett, Allen (2012 年 4 月 19 日)。「太陽電池デバイス測定による高成長率 MOCVD 構造の分析」。2011年 37 回 IEEE 光起電スペシャリスト会議。pp. 000542–000545。doi : 10.1109 /PVSC.2011.6186013。ISBN 978-1-4244-9965-6. S2CID 8736464。
外部リンク
- 公式サイト
- Veeco Instruments Inc. のビジネスデータ:
- ブルームバーグ
- グーグル
- ロイター
- SEC提出書類
- ヤフー！