ヴァレンティン・アレスコフスキー | |
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| 生まれる | ヴァレンティン・ボリソヴィッチ・アレスコフスキー 1912年6月3日 マリア、ロシア帝国 |
| 死亡 | 2006年1月29日(享年93歳) サンクトペテルブルク、ロシア |
| 国籍 | ソビエト連邦/ロシア |
| 母校 | レニングラード工科大学 |
| 知られている | 原子層堆積 |
| 科学者としてのキャリア | |
| フィールド | 材料科学 |
| 論文 | マトリックス仮説といくつかの活性固体化合物の合成方法 (Остовная гипотеза и опыт приготовления некоторых активных твердых тел. Диссертацию на соискание) ученой степени доктора химических наук) (1952) |
ヴァレンティン・ボリソヴィチ・アレスコフスキー(ロシア語:Валенти́н Бори́сович Алеско́вский、1912年6月3日 - 2006年1月29日)は、ソビエト連邦およびロシアの科学者、行政官であり、後に原子層堆積として知られるようになった薄膜堆積技術の基礎となった表面反応に関する先駆的な研究で知られている。彼はレニングラード工科大学(1962-75)およびレニングラード国立大学(1975-1986)の学長を務めた。 [1]
バイオグラフィー
アレスコフスキーは、当時ロシア帝国の一部であったトルクメニスタンのマリで、ボリス・ニコラエヴィチ・アレスコフスキーとその妻アンナ・セルゲイヴナ・アレスコフスキーの家庭に生まれた。1931年、中等学校を卒業した後、レニングラード工科大学の「シフト部門」に入学し、1年のうち半年間は勉強し、残りの半年間は国立応用化学研究所の実験工場の労働者として働いた。
1937年にレニングラード技術大学を卒業した後、海軍研究開発研究所(НИИ военно-морского флота)で1年間働き、その後レニングラード技術大学の大学院に入学した。
1940年に彼はこの論文「活性シリカ」によりカンディダット学位(博士号に相当する)を取得した。[2]
1941年6月、彼は赤軍に入隊し、レニングラード戦線第189師団第891狙撃連隊化学部隊の長を務めた。1943年、プルコヴォ高地の戦いで負傷。病院から戻った後、第102砲兵連隊に所属した。プスコフ、バルト諸国、バルカン半島、ハンガリー、チェコスロバキアでの戦闘に参加し、数々の軍事勲章やメダルを授与された。[2]
1945年9月からレニングラード工科大学の物理化学科の助教授として勤務。1949年に同大学の分析化学科の議長に任命された。1965年にレニングラード工科大学の学長に任命された。1972年にソ連科学アカデミーの通信会員に選出された。[2]
1975年、彼はレニングラード国立大学の学長に任命された。この役職で、彼は大学の科学部門のペトロドヴォレツへの物議を醸した移転を監督した。レニングラード工科大学学長およびレニングラード国立大学学長としての在任期間中、アレスコフスキーはほとんどの時間を行政業務に費やしていた。彼は「レニングラード高等学校学長会議」の議長を務め、ソビエト科学アカデミーのレニングラード支部を設立した。[2]
分子層形成 - 原子層堆積
1952年のアレスコフスキーの論文には、いわゆるマトリックス仮説が含まれており、これがコルツォフと他の同僚の実験の基礎となり、後に分子層形成と呼ばれる薄膜堆積技術につながりました。[3]今日、国際的にはこの技術は原子層堆積と呼ばれています。[4] [5]
この技術は、相補的な自己制限的な表面反応を利用して層ごとに材料を堆積させるもので、後にトゥオモ・サントラによって原子層エピタキシーという名前で独立して開発されました。[6] [5]
参考文献
- ^ “Валентин Борисович Алесковский (1912 年 6 月 3 日 - 2006 年 1 月 29 日)”. LTI-GTIの博物館。
- ^ abcd "Valentin Aleskovskii". サンクトペテルブルク国立大学. 2016年10月3日閲覧。
- ^ マリギン、アナトリー A.;ドロズド、ビクター E.マルコフ、アナトリー A.スミルノフ、ウラジミール M. (2016 年 10 月 3 日) 「VB Aleskovskii の「フレームワーク」仮説から分子層形成/原子層堆積法へ」。化学蒸着。21(10–11–12):216–40。土井:10.1002/cvde.201502013。ISSN 1521-3862。
- ^ Puurunen, Riikka L. (2005-06-15). 「原子層堆積の表面化学: トリメチルアルミニウム/水プロセスのケーススタディ」(PDF) . Journal of Applied Physics . 97 (12): 121301–121301–52. Bibcode :2005JAP....97l1301P. doi :10.1063/1.1940727. ISSN 0021-8979.
- ^ ab Ahvenniemi, Esko; Akbashev, Andrew R.; Ali, Saima; Bechelany, Mikhael; Berdova, Maria; Boyadjiev, Stefan; Cameron, David C.; Chen, Rong; Chubarov, Mikhail (2016 年 12 月 16 日)。「レビュー記事: 原子層堆積に関する初期の出版物の推奨読書リスト - 「ALD の歴史に関する仮想プロジェクト」の成果」Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 。35 ( 1 ): 010801。doi : 10.1116/1.4971389。ISSN 0734-2101。
- ^ Puurunen、Riikka L. (2016 年 10 月 3 日)。 「原子層堆積の短い歴史: Tuomo Suntola の原子層エピタキシー」。化学蒸着。20 (10–11–12): 332–44。土井:10.1002/cvde.201402012。ISSN 1521-3862。
