トレーサーガス漏洩試験

トレーサーガスリークテスト法は、ガス漏れを検出する非破壊検査法です。感度の異なるさまざまな方法があります。トレーサーガスリークテストは、石油化学産業、自動車産業、建設産業^{[ 1 ]} 、半導体製造など、さまざまな用途で使用されています。

トレーサーガスを用いた漏洩試験方法には、以下のようなものがある。

• 高感度なヘリウム質量分析計を用いた漏洩検知
• 最高の機動性を提供する水素漏洩試験
• 冷凍用途向け冷媒ガス漏れ検知

トレーサーガス漏洩試験の典型的な用途には、以下のようなものがあります。

• 石油化学プラントでは、水素化分解、蒸気分解、接触改質、および水蒸気改質はすべて水素をベースとしたプロセスであり、これらのプロセスでは水素漏洩試験が必要とされる。
• 半導体製造において、大気圧または真空下でプロセスチャンバー内で行われるすべてのプロセス（拡散、酸化、LPCVD、PECVD 、 PVD、イオン注入など）には、ヘリウムまたは水素のリークテストが必要です。
• 車両においては、エアバッグは長期間にわたって正常に機能し続けるために、漏れがないか検査する必要があります。エアバッグだけでなく、エアコン、燃料システム、排気システムも漏れがないか検査する必要があります。
• ペースメーカーやカテーテルは、有効性と耐久性について試験を受ける必要がある。
• 航空機では、トレーサーガス漏れ試験は燃料漏れを迅速かつ安全に特定するために使用され、^{[ 3 ]}酸素分配装置や客室加圧システムを点検するためにも使用されます。
• 冷凍・空調設備は、冷媒ガスの損失率（オゾン層破壊の一因となる）を可能な限り低く抑えなければならない。
• 下水道および飲料水ネットワークを整備し、水の損失を減らし、飲料水が下水によって汚染されないようにする。

漏洩試験、特にトレーサーガスを用いた漏洩試験方法には、いくつかの規格が適用されます。例えば、以下のとおりです。

• BS EN 1779:1999; ガス漏れの指示または測定による気密性、
• BS EN 13185:2001 非破壊検査。漏洩検査。トレーサーガス法、
• BS EN 13192:2002 非破壊検査。漏洩試験。ガスの基準漏洩の校正。