トレーサーガス漏れ検査

トレーサーガスリークテスト法は、ガス漏れを検出する非破壊検査法です。感度の異なるさまざまな方法があります。トレーサーガスリークテストは、石油化学産業、自動車産業、建設産業^{[1] 、}半導体製造などで使用されています。

トレーサーガス漏れ検査方法には、次のようなものがあります。

• 高感度のヘリウム質量分析計による漏れ検出
• 最高の機動性を提供する水素リークテスト
• 冷凍用途向け冷媒ガス漏れ検出

製品またはプロセスの性質とプロセスガスによって、漏れ率の要件が設定されます。

目標とする漏洩率に基づいて、以下の表は最も適切な方法を選択するのに役立ちます。^[2]

トレーサーガス漏れ検査の一般的な用途は次のとおりです。

• 石油化学プラントでは、水素化分解、気化分解、接触改質、水蒸気改質はすべて水素ベースのプロセスであり、水素漏れテストが必要です。
• 半導体を製造する場合、拡散、酸化、 LPCVD、PECVD、PVD、イオン注入など、大気圧または真空下のプロセスチャンバー内で行われるすべてのプロセスには、ヘリウムまたは水素のリークテストが必要です。
• 車両では、エアバッグが長期間機能し続けるように、漏れがないかテストする必要があります。エアバッグだけでなく、空調システム、燃料システム、排気システムでも漏れのテストが必要です。
• ペースメーカーとカテーテルは、有効性と寿命についてテストする必要があります。
• 飛行機では、トレーサーガス漏れ検査は、燃料漏れを迅速かつ安全に特定するために使用され、^[3]酸素分配装置や客室与圧システムをチェックするために使用されます。
• 冷凍・空調設備では、冷媒ガスの損失率（オゾン層の破壊につながる）を可能な限り低く抑える必要があります。
• 下水道と飲料水のネットワーク。水の損失を減らし、飲料水が下水によって汚染されないようにします。

リーク テスト、特にトレーサー ガス リーク テスト方法には、次のようないくつかの規格が適用されます。

• BS EN 1779:1999; ガス漏れの指示または測定による気密性、
• BS EN 13185:2001 非破壊検査。リークテスト。トレーサーガス法、
• BS EN 13192:2002 非破壊検査。リークテスト。ガスの基準リークの校正。