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| 名前 | |||
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| IUPAC名
トリブロモシラン
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| その他の名前
シリコブロモホルム; トリブロモモノシラン
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| 識別子 | |||
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3Dモデル（JSmol）
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| ケムスパイダー |
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| ECHA 情報カード | 100.029.250 | ||
パブケム CID
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| ユニ |
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CompTox ダッシュボード ( EPA )
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| プロパティ | |||
| Br 3 H Si | |||
| モル質量 | 268.805 グラムモル−1 | ||
特に記載がない限り、データは標準状態（25 °C [77 °F]、100 kPa）の材料に関するものです。
インフォボックス参照
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トリブロモシランは、化学式HBr 3 Siの化合物です。[1] 高温では分解してシリコンを生成し、半導体産業では超高純度シリコンの精製トリクロロシランの代替品として使用されています。
シューマッハ法は、ポリシリコンを製造するためにトリブロモシランガスを使用するシリコン堆積法であるが、ポリシリコンを製造するためのシーメンス法に比べてコストと安全性の面で多くの利点がある。[2]
結晶シリコンを臭化水素ガスと高温で加熱することで製造される。 [3]空気に触れると自然発火する。[4]