Loading article…

アルミニウムガリウムヒ素(ガリウムアルミニウムヒ素とも呼ばれる)(Al x Ga 1−x As)は、GaAsとほぼ同じ格子定数を持つが、バンドギャップが大きい半導体材料である。上記の式のxは0から1の間の数値であり、これはGaAsとAlAsの任意の合金を示す。
化学式AlGaAsは、特定の比率を表すものではなく、上記の略式と考えるべきです。
バンドギャップは1.42 eV(GaAs)から2.16 eV(AlAs)の間で変化する。x < 0.4の場合、バンドギャップは直接遷移である。
屈折率はクラマース・クローニッヒの関係式によってバンドギャップと関連付けられ、2.9 (x = 1) から 3.5 (x = 0) の間で変化します。これにより、 VCSEL、RCLED、および基板転写結晶コーティングで使用されるブラッグミラーを作製することが可能になります。
アルミニウムガリウムヒ素は、GaAsベースのヘテロ構造デバイスにおいてバリア材料として使用される。AlGaAs層は電子をガリウムヒ素領域に閉じ込める。このようなデバイスの一例として、量子井戸型赤外線光検出器(QWIP)が挙げられる。
これは、 GaAsベースの赤色および近赤外線発光(700~1100 nm)ダブルヘテロ構造レーザーダイオードで一般的に使用されています。
AlGaAsの毒性については十分に調査されていません。粉塵は皮膚、目、肺に刺激を与えます。アルミニウムガリウムヒ素源(トリメチルガリウムやアルシンなど)の環境、健康、安全面、および標準的なMOVPE源の産業衛生モニタリング研究については、最近のレビューで報告されています。[ 1 ]