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テクノロジーにおいて、ソフトリソグラフィーは「エラストマースタンプ、モールド、適合フォトマスク」を使用して構造を製造または複製する 一連の技術です。 [1]エラストマー材料、特にPDMSを使用するため、「ソフト」と呼ばれています。
ソフトリソグラフィーは、一般的にマイクロメートルからナノメートル スケールの特徴を構築するために使用されます。ロジャースとヌッツォ（2005）によると、ソフトリソグラフィーの開発は1995年から2005年にかけて急速に拡大しました。ソフトリソグラフィーツールは現在市販されています。[2]
種類
利点
ソフトリソグラフィーには、他の形式のリソグラフィー（フォトリソグラフィーや電子ビームリソグラフィーなど）に比べて、次のような独自の利点があります。
- 従来のフォトリソグラフィーよりも大量生産コストが低い
- バイオテクノロジーのアプリケーションに最適
- プラスチックエレクトロニクスの用途に最適
- 大きな表面や非平面（平らでない）表面を扱う用途に適しています
- 従来のリソグラフィー技術よりも多くのパターン転写方法（より多くの「インク」オプション）
- ナノ構造を形成するために光反応性表面を必要としない
- 実験室でのフォトリソグラフィーよりも細かいディテール（約30 nm対約100 nm）。解像度は使用するマスクに依存し、6 nmに達することもあります。[3]
参照
参考文献
- ^ Rogers と Nuzzo の言葉を借りれば、50 ページ、「参考文献」に引用されている。
- ^ 「マイクロスタンプの研究：テレビで市販されているマイクロスタンプ」RMS 。 2017年1月17日閲覧。
- ^ ワルドナー、ジャン＝バティスト(2008)。ナノコンピューターと群知能。ロンドン：ISTEジョン・ワイリー＆サンズ。 p. 93.ISBN 978-1-84704-002-2。
さらに読む
- Xia, Y.; Whitesides, GM (1998). 「ソフトリソグラフィー」. Angew. Chem. Int. Ed. Engl . 37 (5): 551–575. doi :10.1002/(SICI)1521-3773(19980316)37:5<550::AID-ANIE550>3.0.CO;2-G. PMID 29711088. 2011-08-12 にオリジナルからアーカイブされました。
- Xia, Y.; Whitesides, GM (1998). 「ソフトリソグラフィー」. Annu. Rev. Mater. Sci . 28 : 153–184. Bibcode :1998AnRMS..28..153X. doi :10.1146/annurev.matsci.28.1.153.
- Quake, SR; Scherer, A. (2000). 「ソフトマテリアルによるマイクロファブリケーションからナノファブリケーションへ」. Science . 290 (5496): 1536–1540. Bibcode :2000Sci...290.1536Q. doi :10.1126/science.290.5496.1536. PMID 11090344. S2CID 1386132.
- Rogers, JA; Nuzzo, RG ( 2005). 「2月」 。ソフトリソグラフィーの最近の進歩。Materials Today。8 (2): 50–56。doi : 10.1016 /S1369-7021(05)00702-9。