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多層ソフトリソグラフィー（MSL ）は、エラストマーの結合層内に微細なチャンバー、チャネル、バルブ、ビアを成形する製造プロセスです。[1]
市販の PDMS スタンプは、光学接着剤などの材料を連続プロセスで成形して、結合層を作成できます。
多層ソフトリソグラフィー（MSL ）は、エラストマーの結合層内に微細なチャンバー、チャネル、バルブ、ビアを成形する製造プロセスです。[1]
市販の PDMS スタンプは、光学接着剤などの材料を連続プロセスで成形して、結合層を作成できます。