フッ化オキサリル

フッ化オキサリル
フッ化オキサリルの構造式	フッ化オキサリルの球棒モデル
名前
	推奨されるIUPAC名二フッ化オキサリル
	その他の名前 TL-108
識別子
CAS番号	359-40-0 ;
3Dモデル（JSmol）	インタラクティブ画像;
ケムスパイダー	9287 ;
ECHA 情報カード	100.006.029
EC番号	206-630-4;
パブケム CID	9668;
ユニ	2L7RR7QFL9 ;
CompTox ダッシュボード ( EPA )	DTXSID9059888;
	InChI InChI=1/C2F2O2/c3-1(5)2(4)6;
	笑顔 C(=O)(C(=O)F)F;
プロパティ
化学式	Ｃ2Ｆ2Ｏ2
モル質量	94.017グラム/モル
融点	−3 °C (27 °F; 270 K)
沸点	26.6 °C (79.9 °F; 299.8 K)
	特に記載がない限り、データは標準状態（25 °C [77 °F]、100 kPa）の材料に関するものです。確認する（何ですか？）インフォボックス参照

フッ化オキサリルは、地球温暖化係数が高い化合物の代替としてエッチングに使用することが研究されている。^[2]^[3]

参照

^ CW Tullock、DD Coffman (1960)。「フッ化ナトリウムを用いたメタセシスによるフッ化物の合成」。J . Org. Chem . 25 (11): 2016–2019. doi :10.1021/jo01081a050。
^ フッ素化カルボニル化合物を使用したエッチングおよび洗浄方法、米国特許第6635185号。
^ Simon Karecki、Ritwik Chatterjee、Laura Pruette、Rafael Reif、Terry Sparks、Laurie Beu、Victor Vartanian、Konstantin Novoselovc (2001)。「誘導結合プラズマエッチングツールにおける誘電体エッチングアプリケーションのためのオキサリルフッ化物の評価」。J . Electrochem . Soc . 148 (3): G141–G149。Bibcode :2001JElS..148G.141K。doi :10.1149/1.1348263。