シリコン基板上の液晶(LCoSまたはLCOS)は、シリコン基板上に液晶層を設けた、小型の反射型アクティブマトリクス液晶ディスプレイ、いわゆる「マイクロディスプレイ」です。空間光変調器としても知られています。LCoSは当初、プロジェクションテレビ向けに開発されましたが、その後、波長選択スイッチング、構造化照明、近眼ディスプレイ、光パルス整形など、様々な用途で活用されています。
JVCが開発したLCoSはダイレクトドライブイメージライトアンプ(D-ILA)というブランド名で販売されている一方、ソニーが独自に開発したLCoSはシリコンX-tal反射型ディスプレイ(SXRD)というブランド名で販売されている。
LCoSは、光を遮断または透過させる透過型LCDパネルを使用するLCDプロジェクション技術とは異なります。LCoSはDLPディスプレイにより近い技術です。

ヒューズ液晶ライトバルブ(LCLV)は、増幅器が電気信号の振幅を増幅するのと概念的に似た、より弱い光源を使用して高強度の光ビームを変調するように設計されました。LCLVは、三極真空管の一般的な名称にちなんで名付けられました。[ 1 ]高解像度で低強度の光源(通常はCRT )を使用して、約10mVの交流電源で駆動される透明な酸化インジウムスズ電極によって励起されるCdSフォトセンサ層に画像を「書き込み」ます。CdTe遮光層は、低強度の書き込み光がデバイスを透過するのを防ぎます。フォトセンサと遮光層は整流接合を形成し、液晶層全体にDC電圧バイアスを生成し、ツイストネマティック液晶の偏光回転を変化させることによって画像を反射側に転送します[ 2 ]: 5 。反射側では、高強度の偏光投影光源が、光センサーによって制御される液晶内の偏光に基づいて、誘電体ミラーから選択的に反射される。誘電体ミラーは、 TiO2の層を交互にスパッタリングすることによって形成される。 2とSiO2、最終的なSiO液晶材料を整列させるために2層エッチングされた。 [ 3 ]: 10-12LCLVのその後の開発では、同様の半導体材料が同じ基本構造で配置された。 [ 4 ]: 10

LCLV の原理はデジタル LCoS ディスプレイ デバイスに引き継がれており、各ピクセルは単一の LCLV の反射面に相当するピクセル アレイを備えています。LCoS デバイス上のこれらのピクセルは、LCLV の低強度の「書き込み光」光源ではなく、反射光の強度を変調する信号によって直接駆動されます。たとえば、XGA 解像度のチップには、それぞれ独立してアドレス指定可能なトランジスタを備えた 1024×768 ピクセルのアレイがあります。[ 5 ] LCoS デバイスでは、相補型金属酸化膜半導体(CMOS) チップが、チップ表面のすぐ下に埋め込まれた正方形の反射アルミニウム電極の電圧を制御し、各電極が 1 つのピクセルを制御します。一般的なチップは、約1~3 cm (0.39~1.18インチ) の正方形で、厚さは約2 mm (0.079インチ)であり、ピクセル ピッチは2.79 μm (0.110 ミル)と非常に小さいです。[ 6 ]カバーガラス上の酸化インジウムスズ製の透明導電層によって、すべてのピクセルに共通の電圧が供給される。
LCoS プロジェクターの歴史は、ヒューズ研究所の科学者が社内研究開発プロジェクトで LCLV 技術を初めて開発した 1972 年 6 月に遡ります。[ 7 ]ゼネラル エレクトリックは 1970 年代後半に低解像度の LCoS ディスプレイを実証しました。[ 8 ] LCLV プロジェクターは、その大型でかさばるサイズのため、主に軍用フライト シミュレーターに使用されました。 [ 9 ]ヒューズ エレクトロニクスとJVCの合弁会社(Hughes-JVC) が 1992 年に設立され[ 10 ]、 ILA (Image Light Amplifer) ブランドで商業映画館向けの LCLV 技術を開発しました。 [ 11 ]一例として、高さ72.5インチ (1,840 mm)、重量1,670ポンド (760 kg)のプロジェクターがあり、7 kW のキセノン アークランプを使用していました。[ 12 ]

1997年、JVCのエンジニアはHughes LCLVからD-ILA(Direct-drive Image Light Amplifier)を開発し[ 10 ] [ 13 ]、3チップD-ILAデバイスを使用した小型で手頃な価格のデジタルLCoSプロジェクターが誕生しました[ 14 ] 。これらは映画館のILAプロジェクターほど明るくなく、解像度も低かったものの、重量が33ポンド(15kg)からと持ち運びが容易でした[ 15 ]。
初期のLCoSプロジェクターには課題がありました。「残像現象」と呼ばれる、本来消えるはずの画像が画面上に残ってしまう現象です。これはミラーが所定の位置に固着してしまい、画面にゴーストが発生することが原因でした。しかし、メーカーは技術改良を続け、今日のLCoSプロジェクターはこの問題をほぼ克服しています。
ソニーは2003年にフルHD解像度のSXRD(シリコンX-tal反射型ディスプレイ)技術を発表しました。 [ 16 ] SXRDはLCoS技術の進化形であり、さらに小さなピクセルとより高い解像度を使用することで、より正確な画像を実現しました。4K SXRDパネルは翌年に開発されました。[ 17 ] SXRD技術はソニーのハイエンドホームシアタープロジェクターに使用され、[ 16 ]優れた画質ですぐに評判になりました。

JVCは2006年に改良版のD-ILA技術を導入し、偏光フィルターを不要にすることで、より明るく鮮やかな映像を実現しました。以来、D-ILA技術はホームシアター愛好家の間で人気を集めています。
LCoSプロジェクターは進化を続け、メーカー各社は4K解像度やHDR(ハイダイナミックレンジ)対応といった機能を導入してきました。現在では、ホームシアター向けのお手頃価格モデルから、商業施設向けのハイエンドプロフェッショナルモデルまで、幅広い価格帯のLCoSプロジェクターが販売されています。
LCoSディスプレイ技術は、高画質と高解像度画像の表示能力により人気を集めているマイクロディスプレイの一種です。LCoSディスプレイシステムは通常、LCoSパネル、光源、光学系の3つの主要コンポーネントで構成されています。
LCoSパネルはディスプレイシステムの心臓部です。グリッド状に配置されたピクセルアレイで構成されています。各ピクセルは、液晶層、反射層、およびシリコン基板から成ります。液晶層は通過する光の偏光を制御し、反射層は光を光学系に向けて反射します。シリコン基板は個々のピクセルを制御するために使用され、LCoSパネルを駆動するために必要な電子回路を提供します。
光源は、LCoSパネルに必要な照明を提供するために使用されます。LCoSディスプレイシステムで最も一般的に使用される光源は、高輝度ランプです。このランプは広範囲の光を発し、その光はカラーホイールなどの光学部品を通してフィルタリングされ、ディスプレイシステムに必要な色域を実現します。
光学系は、光源からの光をLCoSパネルに導き、得られた画像をスクリーンなどの表面に投影する役割を担っています。光学系は、多数のレンズ、ミラー、その他の光学部品で構成されており、表示システムに必要な倍率、焦点、色補正を実現するために、綿密に設計・調整されています。
白色光は3つの成分(赤、緑、青)に分離され、3つのLCoSデバイスによる変調後に再び合成される。さらに、光はビームスプリッターによって偏光される。
東芝とインテルのシングルパネルLCoSディスプレイプログラムは、最終段階のプロトタイプに達する前に2004年に中止されました。[ 18 ]生産されていたシングルパネルLCoSディスプレイは、フィリップスとマイクロディスプレイ株式会社の2社製です。Forth Dimension Displaysは、QXGA、SXGA、WXGA解像度で利用可能な強誘電体LCoSディスプレイ技術(タイムドメインイメージングとして知られる)を提供し続けており、これは現在、トレーニング&シミュレーション、 AOI用の構造化光パターン投影などの高解像度近眼アプリケーションに使用されています。シチズンファインデバイス(CFD)も、FLCoS技術(強誘電体液晶)を使用したシングルパネルRGBディスプレイの製造を続けています。同社は、ピコプロジェクター、ハイエンドデジタルカメラの電子ビューファインダー、ヘッドマウントディスプレイで現在使用されている複数の解像度とサイズのディスプレイを製造しています。[ 19 ]
LCoSディスプレイは当初、大型プロジェクター向けに開発されたが、小型で低消費電力という特性がピコプロジェクターの制約にうまく適合するため、ピコプロジェクターの分野でニッチな市場を開拓した。
LCoS デバイスは、デジタル カメラ、フィルム カメラ、ヘッド マウント ディスプレイ (HMD)の電子ビューファインダーなどの近眼アプリケーションにも使用されています。これらのデバイスは強誘電性液晶を使用して作られており (そのため、この技術は FLCoS と呼ばれています)、他のタイプの液晶よりも本質的に高速で高品質の画像を生成します。[ 20 ] Google がウェアラブル コンピューティングに初めて参入した Google Glass [ 21 ]も近眼 LCoS ディスプレイを使用しています。
CES 2018で、香港応用科学技術研究所(ASTRI)とOmniVisionは、視野角60度(FoV)を実現できるワイヤレス拡張現実ヘッドセットのリファレンスデザインを展示した。これは、OmniVisionのシングルチップ1080p LCOSディスプレイとイメージセンサーをASTRIの光学および電子回路と組み合わせたものである。統合ドライバとメモリバッファを備えたシングルチップ設計のため、このヘッドセットは他のものよりも小型軽量であると言われている。[ 22 ]
LCoSは波長選択スイッチ(WSS)のスイッチング機構として特に魅力的です。LCoSベースのWSSは、当初オーストラリアのEngana社[ 23 ]によって開発され、現在はFinisar社の一部となっています[ 24 ] 。LCoSは、各ピクセルで光の位相を制御してビームステアリング[ 25 ]を生成するために使用でき、多数のピクセルによりほぼ連続的なアドレス指定が可能になります。通常、多数の位相ステップを使用して、図に示すような高効率で挿入損失の少ないスイッチを作成します。このシンプルな光学設計は、偏光多様性、モードサイズの制御、およびLCoSの分散軸における4f波長光イメージングを組み込んでおり、統合されたスイッチングと光パワー制御を提供します[ 26 ] 。
動作中、光はファイバーアレイから偏光イメージング光学系を通過し、そこで物理的に分離され、直交する偏光状態が整列されて、回折格子の高効率s偏光状態になります。アレイ内の選択されたファイバーからの入力光は、イメージングミラーで反射され、リトロー入射に近い回折格子によって角度分散され、イメージング光学系に反射されます。イメージング光学系は、各チャネルをLCoSの異なる部分に導きます。各波長の経路は、LCoSからの反射時に再トレースされ、LCoSに適用されるビームステアリングイメージによって、光はファイバーアレイの特定のポートに導かれます。波長チャネルはLCoS上で分離されているため、各波長の切り替えは他のすべての波長とは独立しており、他のチャネルの光に干渉することなく切り替えることができます。減衰や電力分割のための効率の低い「イメージ」を含め、ポート間の特定の結合を実現するために実装できるさまざまなアルゴリズムがあります。
MEMS [ 27 ]および/または液晶[ 28 ]技術に基づく WSS では、各チャネルに単一のスイッチング素子 (ピクセル) が割り当てられるため、各チャネルの帯域幅と中心周波数は製造時に固定され、使用中に変更することはできません。さらに、第一世代の WSS (特に MEMS 技術に基づくもの) の多くの設計では、これらの設計に固有の限られたスペクトル「フィルファクター」のために、各チャネル間の伝送スペクトルに顕著なディップが見られます。これにより、隣接するチャネルを単純に連結して単一のより広いチャネルを作成することができません。
しかし、LCoSベースのWSSでは、組み込みソフトウェアを介してピクセルアレイをオンザフライで変更することにより、チャネル中心周波数と帯域幅を動的に制御できます。チャネルパラメータの制御は非常に細かく、中心周波数とチャネルの上限または下限を1GHz以上の 分解能で個別に制御できます。これは製造性の観点から有利であり、単一のプラットフォームから異なるチャネルプランを作成でき、異なる動作帯域(CとLなど)でも同一のスイッチマトリックスを使用できます。さらに、デバイスの動作中にチャネルを再構成する機能も利用できます。50GHz チャネルと100GHz チャネル、またはチャネルの混合を、既存のトラフィックにエラーや「ヒット」を発生させることなく切り替えることができる製品が導入されています。最近では、FinisarのFlexgrid™ WSSなどの製品を通じて、ITU G.654.2に基づくフレキシブルネットワークまたはエラスティックネットワークの概念全体をサポートするように拡張されています。
LCoSベースのWSSが送信信号の振幅と位相の両方を独立して制御できる能力は、フーリエ領域パルス整形と呼ばれるプロセスを通じて光パルスの振幅や位相を操作するより一般的な能力につながります。[ 29 ]このプロセスでは、入力パルスの時間領域とスペクトル領域の両方で完全に特性評価する必要があります。
例えば、LCoS ベースのプログラマブル光プロセッサ (POP) は、モード同期レーザー出力を 20 nm のスーパーコンティニューム光源に広げるために使用され、別の同様のデバイスは出力を 400 fs の変換限界パルスに圧縮するために使用されました。[ 30 ]ファイバーレーザーの受動モード同期は高繰り返しレートで実証されていますが、LCoS ベースの POP を組み込むことで、スペクトルの位相成分を変更して、受動モード同期レーザーのパルス列を明るいパルスから暗いパルスに反転させることができました。[ 31 ]同様のアプローチでは、光周波数コムのスペクトル整形を使用して複数のパルス列を作成します。たとえば、10 GHz の光周波数コムは POP によって整形され、それぞれ 1540 nm と 1560 nm の暗い放物線パルスとガウスパルスが生成されました。[ 32 ]
高速強誘電体LCoSを用いた構造化光は、3D超解像顕微鏡技術や、3D自動光学検査のための干渉縞投影に用いられる。
LCoSの興味深い応用例の1つは、将来の高容量伝送システムの基盤として提案されている、モード数の少ない光ファイバーのモード間変換機能である[ 33 ]。同様に、LCoSは、空間分割多重化の一種として、マルチコアファイバー伝送システムの特定のコアに光を誘導するためにも使用されている。
LCoSは、半導体ダイオードレーザーとファイバーレーザーの両方において、フィルタリング技術、ひいてはチューニング機構として使用されてきました。[ 34 ]