ホウリンケイ酸ガラス

BPSGとして一般に知られるホウリンケイ酸ガラスは、ホウ素とリンの両方の添加物を含むケイ酸塩ガラスの一種です。PSGやホウリンケイ酸ガラスなどのケイ酸塩ガラスは、半導体デバイスの製造において、金属間層、つまり、上位の金属層または導電層の間に堆積される絶縁層としてよく使用されます。

BPSGは、ホウ素10同位体が宇宙線からの熱中性子を捕らえるのに優れているため、デバイスのソフトエラーに対する感受性を高めることに関係していると言われています。^{[1] [2]} その後、核分裂を起こしてガンマ線、アルファ粒子、リチウムイオンを生成します。これらの生成物は近くの構造に電荷を放出し、データ損失（ビットフリッピングまたはシングルイベントアップセット）を引き起こす可能性があります。

重要な設計では、この影響を回避するために、放射線耐性強化策として、ほぼ完全にホウ素 11 で構成される劣化ホウ素が使用されます。ホウ素 11 は原子力産業の副産物です。