リンケイ酸ガラス

リンケイ酸ガラスは、一般にPSGという略語で呼ばれ、アルカリイオンのゲッタリング効果があるため、半導体デバイスの製造において金属間層、つまり、上位の金属層または導電層の間に堆積される絶縁層として一般的に使用されるケイ酸ガラスです。リンケイ酸ガラスのもう 1 つの一般的なタイプは、ホウリンケイ酸ガラス(BPSG) です。

ソーダ石灰リンケイ酸ガラスは、生理学的体液中で化学的に石灰化骨（水酸化炭酸アパタイト）に変化する材料群である生体活性ガラス（例：バイオガラス）の基礎も形成します。