オキシフッ化イットリウム

オキシフッ化イットリウムは、化学式YOFで表される無機化合物です。^[1]通常の条件下では、この化合物は無色の固体です。^[2]

フッ化イットリウムは、真空中で 900 °C に加熱すると、 フッ化イットリウムの結晶性水和物が分解して形成されることがあります。

${\displaystyle {\mathsf {2YF_{3}\cdot 1/2H_{2}O\ {\xrightarrow {\tau ,900^{o}C}}\ YOF+YF_{3}+2HF}}}$

オキシフッ化イットリウムは、 800℃の 過熱蒸気でフッ化イットリウムを加水分解することによっても作ることができます。

${\displaystyle {\mathsf {2YF_{3}+H_{2}O\ {\xrightarrow {800^{o}C}}\ YOF+2HF}}}$

フッ化イットリウムは、正方晶系の無色の結晶を形成します。そのセルパラメータは、a = 0.3910 nm、c = 0.5431 nm です。六方晶系によると、セルパラメータは、a = 0.38727 nm、c = 1.897 nm、Z = 6 です。

安定したイットリウムオキシフッ化物材料はプラズマ処理装置の内壁に使用されています。^{[3] [4]}