モン・メガンティック天文台のアルミニウム蒸着真空チャンバーは、望遠鏡の鏡の再コーティングに使用されます[ 1 ]真空蒸着は、固体表面に原子または分子単位で材料の層を堆積させるために使用される一連のプロセスです。これらのプロセスは、大気圧よりもはるかに低い圧力（つまり真空）で実行されます。堆積された層の厚さは、原子1個分からミリメートルまで変化し、自立構造を形成します。たとえば、光学コーティングを形成するために、異なる材料の複数の層を使用できます。このプロセスは、蒸気源によって分類できます。物理蒸着は液体または固体の蒸気源を使用し、化学蒸着は化学蒸気を使用します。[ 2 ]
説明
真空環境は、以下の1つまたは複数の目的を果たす可能性がある。
- 粒子密度を下げて衝突の平均自由行程を長くする
- 望ましくない原子や分子（汚染物質）の粒子密度を低減する
- 低圧プラズマ環境を提供する
- ガスおよび蒸気の組成を制御する手段を提供する
- 処理室への質量流量を制御する手段を提供する。
凝縮粒子は様々な方法で生成できる。
反応性蒸着では、蒸着材料は気体環境の成分（Ti + N → TiN）または共蒸着種（Ti + C → TiC）と反応します。プラズマ環境は、気体種の活性化（N 2 → 2N）および化学蒸気前駆体の分解（SiH 4 → Si + 4H）を促進します。プラズマは、スパッタリングによる蒸発のためのイオン供給、スパッタクリーニングのための基板へのイオン照射、および構造を緻密化して特性を調整する（イオンプレーティング）ための蒸着材料へのイオン照射にも使用できます。
参考文献
- ↑ 「BBSO新太陽望遠鏡設置の日々の出来事と画像」。ビッグベア太陽観測所。 2020年1月6日取得。
- ↑ Quintino, Luisa (2014). 「コーティング技術の概要」.固体プロセスによる表面改質. pp. 1–24 . doi : 10.1533/9780857094698.1 . ISBN 9780857094681。
- ↑ Christensen, Thomas (2022). 「第9章：物理蒸着」『表面および薄膜科学の理解』（第1版）CRC Press. ISBN 9780429194542。
- ↑ Green, Julissa. 「表の比較：物理蒸着と化学蒸着」 . Stanford Advanced Materials . 2024年10月23日取得。
参考文献
- SVC、「第51回年次技術会議議事録」（2008年）SVC出版ISSN 0737-5921（以前の議事録はCDで入手可能）
- Anders, Andre (編)「プラズマ浸漬イオン注入および堆積ハンドブック」(2000) Wiley-Interscience ISBN 0-471-24698-0
- バッハ、ハンス、ディーター・クラウス（編）「ガラス上の薄膜」（2003年）シュプリンガー・フェルラークISBN 3-540-58597-4
- ブンシャ、ロイタン・F（編）「薄膜およびコーティングのための成膜技術ハンドブック」第2版（1994年）
- Glaser、Hans Joachim「大面積ガラスコーティング」(2000) Von Ardenne Anlagentechnik GmbH ISBN 3-00-004953-3
- グロッカーおよびI.シャー（編）「薄膜プロセス技術ハンドブック」第1巻・第2巻（2002年）物理学会ISBN 0-7503-0833-8（全2巻セット）
- マハン、ジョン・E.「薄膜の物理蒸着」（2000年）ジョン・ワイリー＆サンズISBN 0-471-33001-9
- Mattox, Donald M.「物理蒸着（PVD）プロセスハンドブック」第2版（2010年）Elsevier ISBN 978-0-8155-2037-5
- ドナルド・M・マトックス著『真空コーティング技術の基礎』（2003年）ノイズ出版ISBN 0-8155-1495-6
- ドナルド・M・マトックスおよびヴィヴィヴェンヌ・ハーウッド・マトックス（編）「真空コーティング技術50年と真空コーティング協会の成長」（2007年）、真空コーティング協会ISBN 978-1-878068-27-9
- ウェストウッド、ウィリアム・D.「スパッタリング堆積」、AVS教育委員会書籍シリーズ、第2巻（2003年）AVS ISBN 0-7354-0105-5
- ウィリー、ロナルド・R.「光学薄膜の実践的モニタリングと制御（2007）」ウィリー・オプティカル、コンサルタントISBN 978-0-615-13760-5
- ウィリー、ロナルド・R.「光学薄膜のための実用的な装置、材料、およびプロセス」（2007年）ウィリー・オプティカル・コンサルタンツISBN 978-0-615-14397-2
