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Nano-PSI は、オランダの基礎エネルギー研究所( 「DIFFER」)のプラズマ装置です。) アイントホーフェンにある研究機関で開発された装置です。プラズマ物理学と材料科学の接点における実験研究に使用されます。「PSI」はプラズマ表面相互作用の略で、「ナノ」はさまざまなナノ構造を合成するという装置の使命を強調するために選ばれました。Nano-PSI は DIFFER のプラズマ発生装置ファミリーに属し、Magnum-PSI および UPP-PSI リニア装置もホストしています。
プラズマは、球状の真空容器に排気するカスケードアークプラズマ源[ 1]によって生成されます。ヘリウム、水素、窒素、アルゴン、キセノンなどのガスを使用してプラズマを生成できます。サンプルはプラズマが直接見えるように設置されます。プラズマ種はサンプルの原子と相互作用し、表面改質を引き起こします。一般にこのプロセスはプラズマ処理と呼ばれます。
ラングミュアプローブを使用すると、密度や温度などのプラズマパラメータを測定できます。基板ホルダーは電気的にバイアスをかけることができ、必要な量のイオンや電子を引き付けることができます。また、加熱ターゲットホルダーまたは冷却ターゲットホルダーを使用して、動作中にサンプルを所定の温度にマウントすることもできます。プラズマソースをコンデンサバンクに接続すると、大きな過渡熱流束が生成されます。
参照
参考文献
- ^ Kroesen, GMW; Schram, DC & de Haas, JCM (1990). 「カスケードアークプラズマの説明」(PDF) .プラズマ化学およびプラズマ処理. 10 (4): 531–551 – alexandria.tue.nl (無料記事リポジトリ) 経由.
- ^ Bogaerts, A. ; Neyts, E.; Gijbels, R.; van der Mullen, J. (2002). 「ガス放電プラズマとその応用」(PDF) . Spectrochimica Acta . Part B. 57 : 609–658. 2004-09-27 にオリジナル(PDF)からアーカイブ。
さらに読む
- de Temmermana, Gregory; Bystrov, Kirill; Zielinski , Jakub J. (2012 年 6 月 27 日)。「低エネルギーヘリウムイオンによるモリブデンおよびタングステン表面のナノ構造化」。Journal of Vacuum Science & Technology A。30 (4): 041306。doi : 10.1116/1.4731196。hdl : 11858/00-001M-0000-0026-E51E-D。
- Wright (2012)。「タングステンの毛羽の成長」(PDF)。PSI。マサチューセッツ工科大学。
- Jaramillo (2010)。「太陽光による水素製造のためのナノ構造 MoS2 および WS2」(PDF)。カリフォルニア州パロアルト: スタンフォード大学。
- Labelle, Andre (2011 年 6 月)。同時照射下でのタングステン中の重水素保持に対するヘリウムの影響(PDF) (MASc 論文)。カナダ: トロント大学。