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| 規律 | 物理 |
|---|---|
| 言語 | 英語 |
| 編集 者 | エライ・アイディル |
| 出版の詳細 | |
| 歴史 | 1964年～現在 |
| 出版社 | |
| 頻度 | 隔月刊 |
| 2.427 (パートA ) 1.416 (パートB ) (2020) | |
| 標準略語 | |
| ISO4 規格 | ジャーナル オブ ヴァス サイエンス テクノロジー |
| インデックス作成 | |
真空科学技術ジャーナル | |
| 国際郵便 | 0022-5355 |
真空科学技術ジャーナルA | |
| コーデン | ＪＶＴＡＤ６ |
| 国際郵便 | 0734-2101 （印刷） 1520-8559（ウェブ） |
| LCCN | 83643441 |
| OCLC 番号 | 08697396 |
真空科学技術ジャーナル B | |
| コーデン | ＪＶＴＢＤ９ |
| 国際郵便 | 0734-211X |
| LCCN | 83642371 |
| OCLC 番号 | 08697479 |
| リンク | |
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『Journal of Vacuum Science and Technology』は、アメリカ物理学協会がアメリカ真空学会の委託を受けて発行する査読付き 科学雑誌で、A部とB部の 2 部構成です。1964 年に設立され、編集長は Eray Aydil (ミネソタ大学) です。
歴史
- 1964–1982真空科学技術ジャーナル
- 1983年～現在真空科学技術ジャーナルA：真空、表面、膜
- 1983–1990真空科学技術ジャーナル B: マイクロエレクトロニクス処理と現象
- 1991年～現在真空科学技術ジャーナル B: マイクロエレクトロニクスとナノメートル構造
一部あ
パートAは応用表面科学、電子材料と加工、核融合技術、プラズマ技術、表面科学、薄膜、真空冶金、真空技術をカバーしています。Journal Citation Reportsによると、このジャーナルの2015年のインパクトファクターは1.724です。[1]
一部B
パートBでは、様々な材料の真空およびプラズマ処理、その構造特性、マイクロリソグラフィー、サブミクロンおよびナノメートルの構造とデバイスの物理と化学について取り上げています。Journal Citation Reportsによると、このジャーナルの2014年のインパクトファクターは1.398です。[2]
参考文献
- ^ 「Journal of Vacuum Science and Technology、パートA」。2015 Journal Citation Reports。Web of Science（サイエンス編集）。Thomson Reuters。2016年。
- ^ 「Journal of Vacuum Science and Technology、パートB」。2015 Journal Citation Reports。Web of Science（サイエンス編集）。Thomson Reuters。2016年。
外部リンク
- 公式サイト