ジェフリー・エラム

ジェフリー・エラム氏は、米国エネルギー省アルゴンヌ国立研究所応用材料部門の著名な研究員、上級化学者、グループリーダー^[1]です。同氏はアルゴンヌの原子層堆積（ALD）研究プログラムを率いており、エネルギー用途の薄膜コーティング技術の研究開発と商業化を指揮しています。

エラム氏はノースウェスタン・アルゴンヌ科学技術研究所の研究員であり^[2]、アルゴンヌ分子工学センターの職員でもある^[3] 。また、アルゴンヌ応用材料部門の機能性コーティンググループの管理職も務めており^[4] 、米国・イスラエル共同水・エネルギー研究センター（CoWERC）およびエネルギー・水システム先端材料センター（ DOEエネルギーフロンティア研究センター）^[5]の主任研究員も務めている。

エラムはコーネル大学で化学の学士号を取得し、その後シカゴ大学でドナルド・H・レヴィの研究室で物理化学の博士号を取得しました。^{[6]エラムは}コロラド大学でスティーブン・M・ジョージのもとで博士研究員として研究を続け、ALD薄膜成長法を開発しました。^{[7] [8]}

エラムはセス・ダーリングと共同でオレオスポンジ^[9]を発明した。これは水から油を吸収するように設計されたポリウレタンフォームである。研究者らは逐次浸透合成（SIS）^[10]を使用して、親油性と疎水性の両方を兼ね備えた材料を開発した。これはエラムが共同発明した特許取得済みの材料合成法であり、複数の企業によって引用されている。 [ ^{11] [12] [13]} SISは、フォームの内面を金属酸化物の「プライマー」の薄い層でコーティングするために使用され、親油性分子の単層を接着するための接着剤として機能した。その結果、重量の最大90倍の油を吸着できる再利用可能なスポンジが生まれた。^[14]

エラムは、世界最大のマイクロチャネルプレート（MCP）^[15]を開発したチームの一員でした。MCPは、さまざまなイメージングおよびセンシングアプリケーションに不可欠な固体2次元電子増幅器です。これは、ALDナノコンポジットコーティングを使用して、コストを削減し、パフォーマンスを向上させ、アプリケーションを拡大するMCPの製造戦略を作成することによって達成されました。^[16] ALDコーティングは、Incom, Inc.によって大面積MCPの製造に実装されており^[17]、大面積光検出器に組み込まれています。^[18]この技術を製造するための特許は、サムスン、ノバサイエンティフィック、日産を含む12社以上によって引用されています。^[19]

エラムはチームを率いて、太陽電池、フラットパネルディスプレイ、タッチスクリーンなどのデバイスによく見られる透明導電性薄膜であるITOフィルムをナノポーラス支持体上や大面積の基板上に堆積させるALD法を開発しました。特許取得済みの方法の1つ^[20]は、2つの酸素源を「相乗的に」^[21]使用して、通常よりも低い温度で材料を成長させ、ナノポーラス材料を高精度かつ均一にコーティングできることが 証明されました^{[20] 。}

エラムはALDに関する論文を300本以上執筆しており、その研究は34,000回以上引用されている。^[22] 2003年に発表された彼の最も引用された研究は、33℃という低温でAl ₂ O ₃ ALD膜（有機、ポリマー、または生物材料などの熱的に脆弱な基板をコーティングする可能性を秘めている）の成長を実証した。^[23]彼の研究グループは、ALDコーティング技術で50を超える発明を蓄積しており、多数の特許を保有している。^[24]

エラム氏はアメリカ真空学会のフェローである。2017年には、ALDにおける独創的な研究とリーダーシップにより、AVSからALDイノベーション賞^[25]を受賞した。2019年にはアルゴンヌ国立研究所から生涯功労賞を受賞した。^[26]

• 原子層堆積法で作製したリチウムイオン電池用金属フッ化物不動態コーティング（2019年）。^[27]
• マルチパターニングリソグラフィーを強化するための連続浸透合成（2015）。 ^{[12] [28]}
• 調整可能な抵抗コーティング（2014）。^[29]
• 表面機能化によるALDにおける成長速度制御（2015）。^[30]
• マイクロチャネルプレート検出器およびその製造方法（2015年）。^[31]