弾道電子放出顕微鏡

弾道電子放出顕微鏡法（BEEM）は、さまざまな材料や材料界面を通る弾道電子輸送を研究するための技術です。BEEMは、1988年にカリフォルニア州パサデナのジェット推進研究所でL. Douglas Bell、Michael H. Hecht、William J. Kaiserによって発明された3端子走査トンネル顕微鏡（STM）技術です。^{[ 1 ] [ 2 ] [ 3 ] [ 4 ]}研究対象として最もよく用いられる界面は金属-半導体ショットキーダイオードですが、金属-絶縁体-半導体システムも研究対象となります。

BEEMを実行する際、STMチップからショットキーダイオードの接地された金属ベースに電子が注入されます。これらの電子のごく一部は、金属中を弾道的に移動して金属-半導体界面に到達し、そこでショットキー障壁に遭遇します。ショットキー障壁を乗り越えるのに十分なエネルギーを持つ電子が、BEEM電流として検出されます。STMチップの原子スケールでの位置決め能力により、BEEMはナノメートル空間分解能を実現します。さらに、 STMチップからトンネルする電子のエネルギー分布が狭いため、BEEMは高いエネルギー分解能（約0.02 eV）を実現します。