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窒化タングステン(W 2 N、WN、WN 2)は、無機化合物であり、タングステンの窒化物です。[1]導電性があり、水中で分解する、 硬い固体の茶色のセラミック材料です。
マイクロエレクトロニクスでは、接触材料、導電層、シリコンと他の金属(タングステンや銅など)間のバリア層として使用されます。窒化チタンやタングステン膜ほど一般的には使用されていません。
白熱電球のフィラメントが加熱されて破損すると、 二酸化タングステン、三酸化タングステン、五酸化タングステンとともに窒化タングステンが形成されます。
タングステンシリサイドも同様の用途を持つ別の材料です。
