Loading article…
トーマス・ユージン・エバーハート | |
|---|---|
 1987年のエバーハート | |
| カリフォルニア工科大学の第5代学長 | |
| 在任期間 ：1987年～1997年 | |
| 先行 | マーヴィン・ゴールドバーガー |
| 後継者 | デビッド・ボルティモア |
| イリノイ大学アーバナ・シャンペーン校第4代総長 | |
| 在任期間 1984年～1987年 | |
| 先行 | ジョン・E・クリベット |
| 後継者 | モートン・W・ウィアー |
| 個人情報 | |
| 生まれる | 1932年2月15日米国 ミズーリ州カンザスシティ |
| 教育 | ハーバード大学( BA ) カリフォルニア大学ロサンゼルス校( MS ) ケンブリッジ大学クレアカレッジ( PhD ) |
| 受賞歴 | IEEE 100周年記念メダル (1984) クラーク・カー賞 (1992) ASEE 100周年記念メダル(1993) IEEE 創設者賞 (2002) 大川賞(2002) |
| 科学者としてのキャリア | |
| フィールド | 電気工学、応用物理学 |
| 機関 | カリフォルニア大学バークレー校、コーネル大学、イリノイ大学アーバナ・シャンペーン校、カリフォルニア工科大学、ケンブリッジ大学 |
| 論文 | 走査型電子顕微鏡におけるコントラスト形成 （1958年） |
| 博士課程の指導教員 | チャールズ・オートリー |
トーマス・ユージン・エバー ハート（1932年2月15日生まれ、ミズーリ州カンザスシティ）[1]は、アメリカの教育者、物理学者です。専門分野は電子ビームの物理学です。リチャード・FM・ソーンリーとともにエバーハート・ソーンリー検出器を設計しました。最初の検出器が利用可能になったのは1956年ですが、 これらの検出器は現在でも走査型電子顕微鏡で使用されています。
エバーハートは、走査型電子顕微鏡の電子光学と、その電子工学および生物学への応用に対する貢献により、1978年に米国工学アカデミーの会員に選出された。 1990年には王立工学アカデミーの国際フェローに任命された。 [2]彼は、1984年から1987年までイリノイ大学アーバナ・シャンペーン校の学長を務め、1987年から1997年までカリフォルニア工科大学の学長を務めた。
幼少期と教育
エバーハートの両親はウィリアム・E・エバーハートとエリザベス・A・ウェストである。エバーハートは1953年にハーバード大学で物理学の学士号を取得し、 1955年にカリフォルニア大学ロサンゼルス校で応用物理学の修士号を取得した。彼はケンブリッジ大学クレア・カレッジでマーシャル奨学金を受け、 1958年にチャールズ・オートリー教授の指導の下、物理学の博士号を取得した。[1]
キャリア
エバーハート・ソーンリー検出器
エバーハートは1955年にケンブリッジ大学のチャールズ・オートリーのもとで電子検出と走査型電子顕微鏡（SEM）の設計に取り組み始めた。 [3]最初のプロトタイプであるSEM1はデニス・マクマレンによって開発され、彼は1952年に学位論文「電子顕微鏡の設計に関する調査」を発表した。 [3] [4]これはケン・CA・スミスによってさらに改良され、低エネルギーの二次電子を効率的に検出する方法が開発された。[5]オートリーと彼の学生はSEMを使用して、表面トポグラフィーを研究するためのさまざまな新しい技術を開発した。[3] [6]
エバーハートは低エネルギー二次粒子を検出する技術を開発した。1958年の博士論文は「走査型電子顕微鏡におけるコントラスト形成」であった。[6] SEMで検出された電子を分析し、測定された信号の約67％が試料からの低エネルギー二次粒子に起因すると報告した。[7]約3％は高エネルギー反射電子によるものであった。[5]また、導入されたノイズをモデル化する方程式も提示した。[3] [7]
試料に印加される電圧とその結果生じる画像コントラストの関係を説明するために「電圧コントラスト」という用語を使用したのはエバーハートによるものである。[8] [9] 1959年、エバーハートはバイアスされたシリコンダイオードのpn接合の最初の電圧コントラスト画像を生み出した。[10]試料の表面電位の変化を検出する能力である電圧コントラストは、現在では半導体の特性評価、診断、および故障解析に使用されるいくつかの画像モードの1つである。販売されたSEMの半分は半導体用途に使用されていると考えられている。[11]
エバーハートはコントラストのメカニズムを詳細に研究し、固体からの電子の反射に関する新しい理論を開発しました。[12]彼はまた、SEMにおけるビームの浸透が画像形成に与える影響についての最初の定量的研究を行いました。
1960年、エバーハートとリチャード・FM・ソーンリーは、二次電子検出器の改良設計に関する説明を発表しました。これは、エバーハート・ソーンリー検出器として知られています。エバーハートとソーンリーは、走査型電子顕微鏡の真空試料室内のシンチレータからチャンバー外の光電子増倍管に光子信号を運ぶための光パイプを追加することで、既存の検出器の効率を高めました。[13] これにより、収集された信号が強化され、信号対雑音比が向上しました。1963年、ピーズとニクソンは、後にケンブリッジ・サイエンティフィック・インスツルメンツ・マークI ステレオスキャンとして開発された最初の商用SEMのプロトタイプにエバーハート・ソーンリー検出器を組み込みました。このタイプの二次電子および後方散乱電子検出器は、現代の走査型電子顕微鏡（SEM）で今でも使用されています。[14]
SEMで様々なタイプの検出器を使用することで、検査対象の試料の地形、結晶学、組成をマッピングすることが可能になります。[4] 1960年代に、ウェルズ、エバーハート、マッタはピッツバーグのウェスティングハウス研究所で半導体研究と微細加工用の高度なSEMを構築しました。彼らは信号を組み合わせてアクティブデバイスの複数の層をより効果的に検査することができ、EBICイメージングの初期の例となりました。[15] [16]
カリフォルニア大学バークレー校
1958年から1978年まで、エバーハートはカリフォルニア大学バークレー校で工学とコンピュータサイエンスの教授、後に学部長を務めた。[1] そこで彼は米国の大学で最初の走査型電子顕微鏡の構築を支援した。[17]
コーネル大学
1979年1月、ニューヨーク州イサカにあるコーネル大学工学部のジョセフ・シルバート学部長に就任した。 [18]
イリノイ大学
エバーハートは1984年から1987年までイリノイ大学アーバナシャンペーン校の学長を務めた。学長として、エバーハートは、アーノルド・オービル・ベックマンへの呼びかけによって大幅に資金提供された学際的な研究機関であるベックマン先端科学技術研究所の提案と開発に携わった。[19] : 9–14 ベックマン研究所の管理委員会の提案メンバーへの正式な招待状の中で、エバーハートは、ベックマン研究所の設立は「特別な機会であり、おそらく私たちの職業人生で目にする最も劇的でエキサイティングな機会である」と書いている。[19] : 97
カリフォルニア工科大学
エバーハートは1987年から1997年までカリフォルニア工科大学の学長を務めた。[20]カリフォルニア工科大学の学長として、エバーハートは重力波を検出し、それを物理学と天文学の基礎研究に利用することを目指す大規模な実験であるレーザー干渉計重力波観測所（LIGO）プロジェクトを承認した。[21]
カリフォルニア工科大学在学中、エバーハートは大学の大幅な拡張に携わり、3億5000万ドルの資金調達活動を指揮した。1989年、彼はカリフォルニア工科大学に生物学、化学、および関連科学の研究センターであるベックマン研究所を設立するのを手伝った。[22]これはアーノルド・オービル・ベックマンと妻のメイベルが支援する5つの研究センターのうちの2番目だった。エバーハートはまた、 WMケック財団が支援するハワイのWMケック天文台、[23]インテルのゴードン・ムーアが支援するゴードン・アンド・ベティ・ムーア工学研究所、[ 24]およびシャーマン・フェアチャイルド財団 が支援するフェアチャイルド工学図書館の開発にも関わった。[20] [25]
エバーハートは、より多くの女性教員を雇用し、女性の入学者数を増やす取り組みを推進した。彼がカリフォルニア工科大学で学んだ最終学年では、新入生の女性数は彼が入学した年の2倍になった。[20]
1998年以来、エバーハートはカリフォルニア工科大学の理事を務めている。[26]彼はレイセオンやカブリ財団など の理事会にも所属している。 [18]
ハーバード大学
1999年、エヴァーハートはハーバード大学の理事に6年間の任期で選出された。2001年に理事執行委員会のメンバーとなった。彼は2000年から2001年にかけて大学の学長選考委員会に参加した3人の理事のうちの1人であった。2004年、彼は2004年から2005年にかけてハーバード大学の理事長に選出された。[27]
受賞と栄誉
エバーハートは、以下を含む数多くの科学団体に選出されている。[1]
- 1969年、電気電子技術者協会フェロー
- 1978年、米国工学アカデミー会員
- 1984年、ベーミッシェ物理学会科学会員
- 1988年、アメリカ科学振興協会フェロー
- 1990年、王立工学アカデミー外国人会員
エバーハートは、以下のような数々の賞を受賞しています。[1]
- 1984年、IEEEセンテニアルメダル
- 1992年、クラーク・カー賞
- 1993年、ASEE 100周年記念メダル
- 2002年、IEEE創立者賞
- 2002年 大川賞
参考文献
- ^ abcde Brock, David C.; Mody, Cyrus (2011年5月3日). Thomas E. Everhart, David C. BrockとCyrus Modyが電話インタビューおよびカリフォルニア州サンタバーバラで2007年3月28日と2011年5月3日に実施したインタビューの記録(PDF)。フィラデルフィア、ペンシルバニア州: Chemical Heritage Foundation。
- ^ 「フェロー一覧」王立工学アカデミー。
- ^ abcd Rodenburg, JM (1997). 電子顕微鏡と分析 1997: 物理学研究所電子顕微鏡と分析グループ会議の議事録、ケンブリッジ大学キャベンディッシュ研究所、1997年9月2日〜5日。ブリストル: 物理学研究所出版。pp. 11–16。ISBN 978-0750304412. 2015年6月19日閲覧。
- ^ ab Ratinac, Kyle R. (2008). 「偉大な瞬間 9: 走査型電子顕微鏡法」。Ratinac, Kyle R. (編)。「50 の偉大な瞬間: シドニー大学電子顕微鏡ユニット創立 50 周年を祝う」。シドニー大学、ニューサウスウェールズ州: シドニー大学出版局。pp. 71–81。ISBN 9781920898762. 2015年6月19日閲覧。
- ^ ab Everhart, TE (2004)。「走査型電子顕微鏡におけるコントラスト形成」。Hawkes, Peter W. (編)。イメージングと電子物理学の進歩: 第 133 巻、Sir Charles Oatley と走査型電子顕微鏡(第 1 版)。オックスフォード: Elsevier Academic Press。pp. 137–145。ISBN 978-0123859853。
- ^ ab Holt, DB; Joy, DC (1989). SEM による半導体の微細特性評価。Elsevier Science。pp. xi–xii. ISBN 9780123538550. 2015年6月18日閲覧。
- ^ ab ホークス、ピーター W. (2004)。イメージングと電子物理学の進歩：第 133 巻、サー・チャールズ・オートリーと走査型電子顕微鏡（第 1 版）。オックスフォード：エルゼビア アカデミック プレス。ISBN 978-0123859853。
- ^ ブレトン、バーニー C.「走査型電子顕微鏡の初期の歴史と開発」ケンブリッジ大学。 2015年6月18日閲覧。
- ^ Oatley, CW; Everhart, TE (1957). 「走査型電子顕微鏡によるpn接合の検査」. Journal of Electronics . 2 (6): 568–570. doi :10.1080/00207215708937060.
- ^ Everhart, TE; Wells, OC; Oatley, CW (1959). 「走査型電子顕微鏡のコントラストと解像度に影響を与える要因」. Journal of Electronics Control . 7 (2): 97–111. doi :10.1080/00207215908937191.
- ^ ニューベリー、デール D.; ジョイ、デビッド C.; エクリン、パトリック; フィオリ、チャールズ E.; ゴールドスタイン、ジョセフ I. (1986)。高度な走査型電子顕微鏡法と X 線分析。ニューヨーク: プレナム プレス社。p. 45。ISBN 9780306421402。
- ^ Everhart, TE (1960). 「固体からの電子の反射に関する簡単な理論」.応用物理学ジャーナル. 31 (8): 1483–1490. Bibcode :1960JAP....31.1483E. doi :10.1063/1.1735868.
- ^ Everhart, TE および RFM Thornley (1960)。「マイクロ アンペアの低エネルギー電子電流用広帯域検出器」(PDF)。Journal of Scientific Instruments。37 (7): 246–248。Bibcode : 1960JScI ...37..246E。doi : 10.1088/0950-7671/37/7/307。
- ^ Bogner, A.; Jouneau, P.-H.; Thollet, G.; Basset, D.; Gauthier, C. (2007). 「走査型電子顕微鏡の開発の歴史：「ウェットSTEM」イメージングに向けて」(PDF) . Micron . 38 (4): 390–401. doi :10.1016/j.micron.2006.06.008. PMID 16990007 . 2015年6月18日閲覧。
- ^ Wells, OC; Everhart, TE; Matta, RK (1965). 「走査型電子顕微鏡を使用したデバイス電極の自動配置」. IEEE Transactions on Electron Devices . ED-12 (10): 556–563. Bibcode :1965ITED...12..556W. doi :10.1109/t-ed.1965.15607.
- ^ Everhart , TE; Hoff, PH (1971). 「固体材料におけるキロボルト電子エネルギー散逸と浸透距離の測定」。応用物理学ジャーナル。42 (13): 5837–5846。Bibcode : 1971JAP ....42.5837E。doi :10.1063/1.1660019。
- ^ 「IEEE Founders Medal Recipients」。2010年4月8日時点のオリジナルよりアーカイブ。
- ^ ab "Thomas E. Everhart".カブリ財団. 2015年6月19日閲覧。
- ^ ab ブラウン、セオドア L. (2009)。分断を橋渡しする：イリノイのベックマン研究所の起源。アーバナ：イリノイ大学。ISBN 978-0252034848. 2014年12月11日閲覧。
- ^ abc Woo, Elaine (1996年5月23日). 「Caltech学長が辞任を発表」ロサンゼルス・タイムズ. 2015年6月19日閲覧。
- ^ 「History & Milestones」. Caltech . 2015年6月19日閲覧。
- ^ 「Dedicateting Beckman Institute」（PDF） . Caltech News . 23（6）：1–2。1989年。 2015年6月19日閲覧。
- ^ Copman, Linda; Kamisato, Peggi (2007). 「Visionary Philanthropy: A Home Run」. Cosmic Matters、Keck Observatory。2011-04-13時点のオリジナルよりアーカイブ。
- ^ フラニガン、ジェームズ（1996年1月10日）。「カリフォルニア工科大学は新しい研究室で不確実性を乗り越える方程式を持っている」ロサンゼルス・タイムズ。2015年6月19日閲覧。
- ^ ダグラス、キンバリー。「シャーマン・フェアチャイルド図書館：10年後」。カリフォルニア工科大学工学・応用科学部。 2015年6月19日閲覧。
- ^ 「元カリフォルニア工科大学学長トム・エバーハート氏が理事に選出」Caltech News and Events 1998年。 2015年6月19日閲覧。
- ^ 「エバーハートが2004-05年度オーバーシアーズ会長に指名」ハーバード・ガゼット2004年6月10日2015年6月19日閲覧。