SEEC顕微鏡

表面増強エリプソメトリーコントラスト顕微鏡法（SEEC）は、直交偏光構成の正立または倒立光学顕微鏡と、観察用のサンプルが堆積されるサーフと呼ばれる特定の支持板を使用します。^{[ 1 ]}これは光学ナノスコピー技術として説明されています。

SEECは、表面における偏光の反射特性を精密に制御することで、光学顕微鏡の軸方向感度を横方向の解像度を低下させることなく2桁向上させます。^{[ 1 ]}応用例としては、空気中や水中における0.3マイクロメートル程度の薄膜や孤立したナノ物体のリアルタイム可視化などが挙げられます。

2006年の偏光コヒーレンスに関する研究により、クロス偏光子モードでの標準的な光学顕微鏡用のコントラスト増幅特性を持つ新しい支持体（サーフ）が開発されました。^{[ 2 ]}不透明または透明な基板上の光学層で構成されたこれらの支持体は、入射光源の開口数が大きくても、反射後の光の偏光を変化させません。この特性は、サーフ上にサンプルが存在すると変化し、分析後にゼロでない光成分が検出され、サンプルが見えるようになります。

これらの支持体の性能は、サンプルのコントラスト（C）を測定することによって評価されます。コントラストは、C = (I ₁ -I ₀ )/(I ₀ +I ₁ ) で定義され、I ₀と I _{1 は}それぞれ、裸の表面と表面上の分析サンプルによって反射される強度を表します。膜厚が 1 ナノメートルの場合、表面はシリコン ウェーハ上の表面よりも 200 倍高いコントラストを示します。

この高いコントラスト向上により、標準的な光学顕微鏡で厚さ0.3ナノメートルまでの薄膜やナノオブジェクト（直径2ナノメートルまで）を可視化することが可能になり、しかもサンプルに蛍光標識や放射性マーカーなどの標識を一切使用せずに観察できます。コントラスト向上の例は、シリコンウェハ上および表面上のラングミュア・ブロジェット構造のクロス偏光子間の光学顕微鏡観察について図に示されています。

NanolaneのSarfusマッピングステーションは、表面増強楕円偏光顕微鏡法に基づいています。^{[ 10 ]}