シート抵抗

シート抵抗は、シートの厚さが均一な場合の抵抗率の特殊なケースです。一般的に、抵抗率（体積抵抗率、比電気抵抗率、または体積抵抗率とも呼ばれる）は Ω·m の単位で表され、より正確には Ω·m ² /m (Ω·面積/長さ) の単位で表されます。シートの厚さ (m) で割ると、単位は Ω·m·(m/m)/m = Ω になります。「(m/m)」という項は相殺されますが、オームΩ/sq という答えが得られる特別な「平方」の状況を表しています。別の一般的な単位は「オーム平方」(${\displaystyle \Omega \Box }$「」）または「オーム/平方」（「Ω/sq」または「${\displaystyle \Omega /\Box }$（）は、寸法的にはオームに等しいが、シート抵抗にのみ使用される。これは利点であり、1  Ωのシート抵抗は文脈から切り離されて1 オームの体積抵抗と誤解される可能性があるが、1 Ω/sqのシート抵抗は 誤解されることはない。

「オーム/平方」という名前の理由は、シート抵抗が 10 オーム/平方の正方形のシートは、正方形のサイズに関係なく、 実際の抵抗が 10 オームになるからです。（正方形の場合、 ${\displaystyle L=W}$、 それで${\displaystyle R_{\text{s}}=R}$.) この単位は、大まかに「オーム×アスペクト比」と考えることができます。例：長さ3単位、幅1単位（アスペクト比＝3）のシートで、シート抵抗が21Ω/sqの材料で作られたものは、 1単位の辺を各辺全体に接触するオーム計 に取り付けると、63Ωと測定されます （1単位×1単位の正方形が3つ集まってできているため） 。

拡散または表面ピーク型イオン注入によってドーピングされた半導体の場合、平均抵抗率を用いてシート抵抗を定義します。${\displaystyle {\overline {\rho }}=1/{\overline {\sigma }}}$材料について：$${\displaystyle R_{\text{s}}={\overline {\rho }}/x_{\text{j}}=({\overline {\sigma }}x_{\text{j}})^{-1}={\frac {1}{\int _{0}^{x_{\text{j}}}\sigma (x)\,dx}},}$$多数キャリア特性を持つ材料では、（固有電荷キャリアを無視すると）次のように近似できる。$${\displaystyle R_{\text{s}}={\frac {1}{\int _{0}^{x_{\text{j}}}\mu qN(x)\,dx}},}$$どこ${\displaystyle x_{\text{j}}}$接合部の深さは、${\displaystyle \mu }$は、大多数の通信事業者の移動性です。${\displaystyle q}$は通信事業者の料金であり、${\displaystyle N(x)}$は深さ方向の純不純物濃度です。背景キャリア濃度がわかっている場合${\displaystyle N_{\text{B}}}$表面不純物濃度、シート抵抗と接合深さの積${\displaystyle R_{\text{s}}x_{\text{j}}}$これは、上記の方程式の数値解であるアービン曲線を用いて求めることができる。

• ヴァン・ザント、ピーター（2000）。マイクロチップ製造。ニューヨーク：マグロウヒル。431～432頁。ISBN  0-07-135636-3。

• Jaeger, Richard C. (2002).マイクロエレクトロニクス製造入門（第2 版）. ニュージャージー州：Prentice Hall. pp. 81–88 . ISBN  0-201-44494-1。

• シュローダー、ディーター・K. (1998).半導体材料およびデバイス特性評価. ニューヨーク: J Wiley & Sons. pp. 1–55 . ISBN  0-471-24139-3。

• シート抵抗の測定