マイクロオプトエレクトロメカニカルシステム

マイクロ光電気機械システム( MOEMS ) は、光MEMSとも呼ばれ、非常に小さなサイズで光信号を感知または操作する機械、光学、電気システムを統合したものです。 MOEMS には、光スイッチ、光クロスコネクト、チューナブルVCSEL 、マイクロボロメータなど、さまざまなデバイスが含まれます。 これらのデバイスは通常、シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、ガリウムヒ素などの材料を使用して、マイクロ光学と標準的なマイクロマシニング技術を使用して製造されます。

MOEMS には、マイクロエレクトロメカニカル システムとマイクロオプティクスという 2 つの主要テクノロジが含まれます。これら 2 つのテクノロジは、集積回路に類似したバッチ処理と、マイクロセンサーの製造に類似したマイクロマシニングにそれぞれ独立して関与します。

1991 年から 1993 年にかけて、マイクロエレクトロメカニカル システムとマイクロオプティクスの両分野でロックウェル インターナショナルのイノベーターを務めた M. エドワード モタメディ博士は、社内でマイクロオプトエレクトロメカニカル システムの頭字語として MOEMS を使用していました。これは、光学 MEMS と MOEMS を区別するためでした。光学 MEMS にはバルク光学系が含まれる場合がありますが、MOEMS は実際にはマイクロテクノロジーに基づいており、MOEMS デバイスは集積回路とまったく同じようにバッチ処理されますが、これは光学 MEMS のほとんどの場合には当てはまりません。

1993年、モタメディ博士は、サンディエゴで開催されたSPIE光科学技術批評会議での招待講演で、MEMSとマイクロオプティクスの強力な組み合わせであるMOEMSを初めて公式に紹介しました。この講演でモタメディ博士は、MOEMSがマイクロオプティクス、マイクロメカニクス、マイクロエレクトロニクスという3つの主要なマイクロテクノロジーの相互作用であることを示すために、以下の図を紹介しました。^[1]

• マイクロオプトメカニカルシステム
• ナノ電気機械システム
• 微細加工
• マイクロスキャナー

• Rai-Choudhury, P. 編 (2000)。MEMS と MOEMS。テクノロジーとアプリケーション。SPIE Press。ISBN 978-0-8194-3716-7。
• Solgaard, O.; Godil, AA; Howe, RT; Lee, LP ; Peter, Y. - A.; Zappe, H. (2014 年 6 月)。「光学 MEMS: マイクロミラーから複雑なシステムへ」。Journal of Microelectromechanical Systems。23 ( 3): 517–538。doi :10.1109/JMEMS.2014.2319266 。