マイクロオプトメカニカルシステム

マイクロオプトメカニカルシステム（MOMS ）は、マイクロオプトメカニカルシステムとも呼ばれ、電子部品ではなく光学部品と機械部品を使用するマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）の特殊なクラスです。 ^[1]

参照

^ Dragoman, D (2001). 「マイクロ/ナノオプトエレクトロメカニカルシステム」.量子エレクトロニクスの進歩. 25 (5–6): 229–290. doi :10.1016/s0079-6727(01)00012-x . 2024年12月13日閲覧。