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| 規律 | 半導体デバイス製造 |
|---|---|
| 言語 | 英語 |
| 編集 者 | レハ・ウズソイ |
| 出版の詳細 | |
| 歴史 | 1988年～現在 |
| 出版社 | IEEE |
| 頻度 | 四半期ごと |
| 2.874 (2020) | |
| 標準略語 | |
| ISO4 規格 | IEEE Trans. Semicond. Manuf. |
| インデックス作成 | |
| 国際郵便 | 0894-6507 （印刷） 1558-2345（ウェブ） |
| LCCN | 88659341 |
| OCLC 番号 | 16152423 |
| リンク | |
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IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturingは、IEEEが発行する四半期ごとの査読付き 科学雑誌です。工場から詳細なプロセスレベルまでのシミュレーションとモデリング、欠陥管理、歩留まり分析と最適化、生産計画とスケジューリング、半導体製造における環境問題、製造性の改善など、半導体デバイス製造に関する研究を扱っています。編集長はReha Uzsoy（ノースカロライナ州立大学）です。Journal Citation Reportsによると、この雑誌の2020年のインパクトファクターは2.874です。[1]
このジャーナルは、 IEEE Solid-State Circuits Society、IEEE Components, Packaging & Manufacturing Technology Society、IEEE Electron Devices Society、およびIEEE Reliability Societyの共同出版物です。
参考文献
- ^ 「IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing」。2020年ジャーナル引用レポート。Web of Science（サイエンス編集）。クラリベイト・アナリティクス。2020年。
外部リンク
- 公式サイト