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近年、半導体デバイスの小型化により、集積回路の放熱問題に対する関心が高まっています。温度上昇は、半導体デバイスの正常な動作に影響を及ぼす可能性があるため、比較的断面積の小さい配線の場合に重要になります。
ジュール熱
ジュール熱は集積回路における発熱の主なメカニズムであり[1]、望ましくない効果である。
伝搬
分析対象となる問題の物理学を支配する方程式は、熱拡散方程式です。これは、空間における熱の流れ、時間による変化、および電力の生成を関連付けます。
ここで、は熱伝導率、は媒体の密度、は比熱です。
熱拡散率は、単位体積あたりの熱発生率です。熱は、次の式 ([eq:diffusion]) に従って熱源から拡散し、([eq:diffusion]) の均質媒体における解はガウス分布に従います。
参照
参考文献
- ^ T. Bechtold、EV Rudnyi、J. G Korvink、「マイクロシステムの動的電気熱シミュレーション - レビュー」、Journal of Micromechanics and Microengineering。第 15 巻、pp. R17–R31、2005 年
