Loading article…
フィギリングとは、光学表面の欠陥を除去したり、表面の曲率を修正したりして、特定の用途に必要な形状を実現するために、光学表面を最終的に研磨するプロセスです。 [1]
種類
フィギリングの一例としては、初期の段階で製造された滑らかな球面鏡を、正しい像を形成するために必要な非球面または放物面形状に変換する工程で、望遠鏡の 主鏡に使用されるフィギリングがあります。これは、異なるサイズと形状のツールで異なる研磨ストローク長を適用することによって行われます。手作業によるフィギリングは非常に手間のかかる工程です。研磨によって発生した熱を放散させてから、鏡の形状を再度測定し、後で研磨する場所を選択する必要があるためです。フィギリングのテストは、アマチュアの望遠鏡製作ではフーコーのナイフエッジ テストまたはロンキー テストによって行われ、研究用望遠鏡光学系では 非常に高度なヌル テスターを使用して行われます。
大型の鏡にはイオン研磨法がよく使われ、中性原子ビームを使って非常に制御された方法で光学系から材料を除去する。[2]これはセグメントミラー の製造に特に有用である。なぜなら、機械研磨技術では研磨工具が端から張り出すと歪みが生じる傾向があるのに対し、光学部品の形状を開口部の端まで正しく維持できるからである。イオン研磨法が最初に大きく使われたのは、ケック望遠鏡のセグメントミラーの製造であった。
X 線天文学や深紫外線リソグラフィーの光学面に対する超高精度の要件には、イオン測定が必要になることがよくあります。
イオンビームによる測定では再スパッタリングと汚染が問題となる。[3]
参考文献
- ^ 写真時代、第38巻、18ページ - 1906年
- ^ 「ITT Corporation - Ion Figuring」。2007年10月20日時点のオリジナルよりアーカイブ。2008年2月12日閲覧。
- ^ Schaefer, David (2018-08-07). 「イオンビームフィギリングの基礎と実際の光学処理の課題」。Rascher, Rolf、Schopf, Christian (編)。第5回ヨーロッパ精密光学製造セミナー。第 10829 巻。国際光学およびフォトニクス協会。p. 1082907。Bibcode :2018SPIE10829E..07S。doi : 10.1117/12.2318572。ISBN 9781510622708. S2CID 139240076。