原子ビーム

原子ビームは粒子ビームの特殊なケースで、中性原子の平行な束（ビーム）です。低速原子ビームを使用するイメージング システムでは、フレネル回折ミラーのフレネル ゾーン プレート（フレネル回折レンズ）を集束要素として使用できます。原子ビームを使用したイメージング システムは、サブ ミクロンの解像度を提供できます。

1911年、ルイ・デュノワイエは真空チャンバー内でナトリウム蒸気の「線」を観察しました。^[1]その経験から学んだオットー・シュテルンはヴァルター・ゲルラッハと協力し、歴史的なシュテルン・ゲルラッハ実験のために銀原子ビームを生成し、原子スケールの量子化の最初の証拠を提供しました。

1930年、イマニュエル・エステルマンとスターン^[2]はヘリウムビームをフッ化リチウムで反射させ、反射強度における最初の原子物質波 回折ピークを観測した^{[3] 。}