Loading article…
炭素膜は、主に化学元素である炭素からなる薄膜コーティングです。これには、プラズマ重合膜、非晶質炭素膜（ダイヤモンドライクカーボン、DLC）、CVDダイヤモンド膜、およびグラファイト膜が含まれます。
炭素膜は、気相蒸着法（CVD）または物理蒸着法（PVD）といった気相蒸着プロセスを用いて成膜され、ほとんどの場合、真空中で行われます。成膜される膜の厚さはわずか数マイクロメートルです。
炭素膜を用いることで、特に摩擦学の分野、つまり摩耗が大きな要因となる用途において、数多くの表面機能を実現することが可能となる。