固体浸漬レンズ

固体浸漬レンズ（SIL）は、物体空間を高屈折率の固体材料で満たすことで、一般的なレンズよりも高い倍率と高い開口数を実現します。SILはもともと光学顕微鏡の空間分解能を高めるために開発されました。^[1] SILには2つのタイプがあります。

• 半球状 SIL: 理論的には、レンズの材料の屈折率だけ光学系の開口数を増やすことができます。${\displaystyle n}$
• ワイエルシュトラスSIL（超半球状SILまたはスーパーSIL）：切頂球の高さは、rがレンズの球面の半径である。理論的には光学系の開口数を 増加させることができる。^[2]${\displaystyle (1+1/n)r}$${\displaystyle n^{2}}$

すべての光学顕微鏡は光の波動性のため回折限界があります。現在の研究はレイリー基準として知られるこの限界を超える技術に焦点を当てています。SILを使用すると、遠距離場イメージング^{[3] [4]}と近接場イメージングの両方で、空気中の回折限界よりも優れた空間分解能を実現できます。

SIL は高い空間分解能を提供するため、SIL を通過するレーザービームのスポット サイズは空気中の回折限界よりも小さくなり、関連する光データ ストレージの密度を高めることができます。

液浸リソグラフィーと同様に、SIL を使用すると、投影されたフォトリソグラフィーパターンの空間解像度が向上し、ウェーハ上に小さなコンポーネントを作成できます。

発光顕微鏡

電気刺激の影響下での電子-正孔再結合からの微弱な光（光子）の放出を検出する半導体ウェーハ発光顕微鏡に利点を提供します。^[要出典]