粗引きポンプ

粗引きポンプは、高真空または超高真空を達成するための最初の段階として、真空システムの初期排気に使用される真空ポンプ（通常は機械式）です。「粗引きポンプ」という用語は、1x10 ⁻³ torr（0.1 Pa ）を超える「粗真空」で動作する真空範囲に由来しています。高真空範囲で動作するポンプは通常、大気圧では動作しないか、非効率的に動作しますが、大気圧で効率的に動作するポンプは通常、約 1x10 ⁻³ torr未満の真空を生成できません 。  

粗引きポンプを選択する際の考慮事項の 1 つは、ポンプが真空にさらされる潤滑油を使用するかどうかです。ポンプ油がガスとして真空チャンバーに流れ込む「炭化水素の逆流」の懸念から、市場ではオイルフリーのポンプ設計が普及しています。

粗引きポンプには、主にオイルシール式粗引きポンプとドライ式粗引きポンプの 2 種類があります。この 2 つのカテゴリには、メンテナンスの問題、初期コスト、ポンプの寿命、真空レベルに基づいて異なるさまざまな設計があります。製造当初は、ドライ ポンプはオイル ベース ポンプよりも大幅に高価でしたが、時間の経過とともにコストの差は縮まりました。

それぞれの利点と欠点は次のとおりです。

• 真空システムの基本、ハシナ・ジャマル、メリーランド大学

• 粗引きポンプの比較、Roy Schmaus、アルバータ大学。2006 年 5 月 27 日時点のオリジナルよりアーカイブ。