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リモートプラズマ（ダウンストリームプラズマまたはアフターグロープラズマとも呼ばれる）は、プラズマと物質の相互作用がプラズマアフターグロー内のプラズマから離れた場所で起こるプラズマ処理方法である。[1] [2]
参照
参考文献
- ^ トミ・ケアリアイネン;デビッド・キャメロン。マーヤ＝リーナ・カーリアイネン。アーサー・シャーマン（2013年5月17日）。原子層堆積: 原理、特性、およびナノテクノロジーの応用。ワイリー。 21ページ–。ISBN 978-1-118-74742-1。
- ^ Alexander Fridman (2008年5月5日). プラズマ化学. Cambridge University Press . pp. 532–. ISBN 978-1-139-47173-2。