プロリス

PROLITH ( Positive R esist O ptical LITH ography の略) は、フォトリソグラフィの光学的および化学的側面をモデル化するコンピュータ シミュレータです。Chris Mackは、 1983年にNSA でフォトリソグラフィの分野で働き始めてから、PROLITH の開発を開始しました。

PROLITH は、最初はIBM PC上で開発されました。ソフトウェアによって実装されたモデルは、 IBMの Rick Dill 氏とカリフォルニア大学バークレー校の Andy Neureuther 氏の研究と、Chris Mack 氏自身の貢献である Mack モデルに基づいていました。

当初PROLITHは無料で配布されていましたが、NSAはクリス・マックの給料を支払っていました。^{[1] [2]} 1990年に彼はPROLITHを商用化するためにFINLE Technologiesを設立しました。ソフトウェアの最初の商用バージョンであるPROLITH/2は、その年の6月にリリースされました。PROLITHは使いやすくなり、リソグラフィシミュレーションの多くの側面を含むようになりました。

FINLE Technologies は 2000 年 2 月にKLA-Tencorに買収され、現在は PROLITH を販売しています。

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