谷口典夫

谷口紀男（たにぐち のりお、 1912年5月27日- 1999年11月15日）は、東京理科大学の教授であった。彼は1974年にナノテクノロジーという用語を造語し^{[ 1 ]}、薄膜堆積やイオンビームミリングなど、ナノメートルオーダーの特性制御を示す半導体プロセスを説明するために用いた。ナノテクノロジーは「主に、1原子または1分子による材料の分離、統合、変形のプロセスから成る」^{[ 2 ] 。}

谷口氏は、硬脆性材料の高精度加工における研磨メカニズムの研究から研究を始めた。東京理科大学では、放電加工、マイクロ波、電子ビーム、光子（レーザー）、イオンビームなど、エネルギービーム技術を超精密材料加工に応用する研究を先駆的に行った。

彼は1940年から1970年代初頭までの機械加工技術の発展を研究し、1980年代後半には100nm以下の寸法精度が達成できるほど技術が進化すると正しく予測した。^{[ 3 ]}

欧州精密工学・ナノテクノロジー学会は、1999年5月にブレーメンで谷口教授に第1回生涯功労賞を授与した。^{[ 4 ]}

谷口教授の受賞理由には次のように記されていた。

超精密材料加工技術の研究開発における類まれな貢献、そして1974年にナノテクノロジーという用語を初めて提唱・使用した功績が認められ、この栄誉に輝きました。彼の先見性、著作、そして自らの専門分野への献身的な姿勢は、21世紀を牽引する主要技術の一つとなるであろうナノテクノロジーの発展を促進しました。

• ナノテクノロジー：超精密・超微細製品のための統合加工システム、編集：谷口典夫。共同編集者：河野次夫、丸山和夫、飯塚清、宮本巌、土肥俊夫。0198562837、ハードカバー、424ページ、1996年9月。