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ハーヴェイ・C・ナサニソン（1936年10月22日 - 2019年11月22日）はアメリカの電気技師であり、エンジニアのロバート・A・ウィックストロームとともに、現在iPhoneから自動車まで幅広い製品に使用されているタイプの最初のMEMS（微小電気機械システム）デバイスを発明しました。
MEMS デバイスは、集積回路製造技術を使用して製造され、通常 1 ～ 100 マイクロメートル (0.001 ～ 0.1 mm) のサイズの小さな可動機械要素で構成されています。一般的な MEMS デバイスには、スマートフォンやビデオゲーム コントローラーに搭載されている加速度計や、自動車やウェアラブル デバイスに搭載されているジャイロスコープなどがあります。
ネイサンソンとウィックストロムは、1965年にマイクロエレクトロニクスラジオのチューナーとして機能する最初のMEMSデバイスを考案しました。[1]これは、ペンシルベニア州ピッツバーグのウェスティングハウス研究所 のウィリアムE.ニューウェルと共同で開発され、マイクロエレクトリック周波数選択装置として特許を取得しました。[2]
このデバイスの改良版はその後、共振ゲートトランジスタとして特許を取得しました。[3]
同様のデバイスの開発において、ネイサンソン、ウィックストロム、およびチームは、マスクと犠牲層を使用してシリコンウェーハ上の絶縁体と金属の層を成形およびアンダーカットするバッチ製造方法を開発しました。このプロセスは後にMEMS製造の主流となりました。[4]
1973年に彼は、数百万個の極小の可動鏡を使用して、現在のデジタルプロジェクターに見られるタイプのビデオディスプレイを作成する特許を取得しました。[5]
2000年にネイサンソンは「電気電子学会と電子デバイスの分野への多大な貢献」により電気電子学会からミレニアムメダルを授与された。[6]
カーネギーメロン大学を卒業し、固体電子工学の分野で50件以上の特許を保有している。[7]
参考文献
- ^ 「高Qバンドパス特性を備えた共振ゲートシリコン表面トランジスタ」。Applied Physics Letters。1965年8月15日。 2010年12月25日閲覧。
- ^ 米国特許 3413573、Nathanson 他、「振動部材およびそれに応答する手段を備えたマイクロエレクトロニクス周波数選択装置」、1968 年 11 月 26 日発行
- ^ 米国特許 3590343、Nathanson 他、「共振部材に加えて固定位置の電子浮遊ゲート電極を備えた共振ゲートトランジスタ」、1971 年 6 月 29 日発行
- ^ 「MicroElectroMechanical Systems (MEMS)」ProQuest 2001年10月2010年12月25日閲覧。
- ^ 米国特許 3746911、Nathanson 他、「投影ディスプレイ用の静電的に偏向可能なライトバルブ」、1973 年 7 月 17 日発行
- ^ 「IEEE EDS Millennium Medal Winners」IEEE Electron Devices Society 2010年8月5日。2015年9月13日時点のオリジナルよりアーカイブ。 2010年12月25日閲覧。
- ^ 「Harvey C. Nathanson patents」。Google Patents 。 2020年8月14日閲覧。