蛍光マイクロサーモグラフィー

蛍光マイクロサーモグラフィー( FMT ) は、小規模の温度分布を赤外線で画像化する顕微鏡技術です。達成可能な空間分解能は 0.5 マイクロメートル、温度分解能は 0.005 Kです。蛍光寿命はわずか約 200 マイクロ秒であるため、時間依存の測定が可能です。

蛍光体であるユーロピウムテノイルトリフルオロアセトネートの薄膜を表面（例えば集積回路のダイ）に塗布し、340～380 nmの紫外線で照射すると、主に612 nmの線で蛍光が刺激されます。蛍光の量子効率は温度とともに指数関数的に低下するため、放射される光の強度の違いから表面温度の違いを評価することができ、熱い部分はより暗く表示されます。^[1]

参考文献

^ シュローダー、ディーター・K.（2006年2月10日）。半導体材料とデバイスの特性評価。ジョン・ワイリー・アンド・サンズ。ISBN 9780471749080– Google ブックス経由。

[1] シュローダー、ディーター・K.（2006年2月10日）。半導体材料とデバイスの特性評価。ジョン・ワイリー・アンド・サンズ。ISBN 9780471749080– Google ブックス経由。