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フラッドガンは、目的のターゲットまたは「フラッド領域」に 低エネルギー電子を安定して流す電気機械装置です。
通常、ターゲットは、別の「書き込みガン」が正味の正電荷を残したばかりの 絶縁体または半導体上の領域です。
フラッドガンの電子のエネルギーが適切にバランスされている場合、衝突するフラッドガンの電子はそれぞれターゲットから 1 つの二次電子をノックアウトし、ターゲット領域の正味電荷を維持します。これを「電荷中和」と呼びます。
フラッドガンは、通常、光電子分光法、オシロスコープ、イオンビーム注入装置で二次電子銃として使用されます。
参考文献
- バーナード、BR「電荷中和用フラッドガン」、2005 年
