バイモルフ

バイモルフは、2 つのアクティブ層で構成される、アクチュエーションまたはセンシングに使用されるカンチレバーです。2 つのアクティブ層の間にパッシブ層を配置することもできます。対照的に、圧電ユニモルフには、アクティブ (圧電) 層が 1 つとパッシブ (非圧電) 層が 1 つだけあります。

圧電バイモルフ

バイモルフという用語は、圧電バイモルフで最もよく使用されます。アクチュエータアプリケーションでは、電圧が印加されると、一方のアクティブ層が収縮し、もう一方のアクティブ層が膨張するため、バイモルフが曲がります。センシングアプリケーションでは、バイモルフを曲げると電圧が発生し、たとえば変位や加速度の測定に使用できます。このモードは、エネルギーハーベスティングにも使用できます。^[1]

バイメタルは熱活性化バイモルフとみなすことができます。熱活性化バイモルフの曲がりに関する最初の理論はストーニーによって提唱されました。^{[2]最近の進歩により、静電活性化バイモルフをマイクロ}エレクトロメカニカルシステムで使用することも可能になりました。^[3]

^ Al-Ashtari, W.; Hunstig, M..; Hemsel, T.; Sextro, W. (2013 年 7 月 14 日)、自律システムにおける圧電エネルギーハーベスターの特性。第 10 回圧電材料と応用に関する国際ワークショップおよび第 8 回エネルギーハーベスティングワークショップの議事録(PDF) 、 2016 年1 月 31 日取得^{[永久リンク切れ‍ ]}
^ Stoney, G. Gerald (1909年5月6日). 「電気分解により堆積した金属膜の張力」. Proceedings of the Royal Society of London . 82 (553): 172–175. Bibcode :1909RSPSA..82..172S. doi : 10.1098/rspa.1909.0021 .
^ Conrad, Holger (2015 年 12 月 11 日)。「 大きな偏向を実現する小ギャップ静電マイクロアクチュエータ」。Nature Communications。6 : 10078。Bibcode : 2015NatCo ... 610078C。doi :10.1038/ncomms10078。PMC 4682043。PMID 26655557。