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非等温プラズマとは、プラズマの異なる自由度に応じて、熱状態を複数の温度で近似できるプラズマです。自由度とは、各粒子タイプの並進(運動エネルギー)、回転、振動を指します。
非等温プラズマの例としては、高周波電場によって励起される低圧プラズマが挙げられます (プラズマの周波数分類を参照) 。一般に、非等温プラズマは、交流電場によって駆動される高温電子と、軽い電子と重い中性粒子およびイオン間のエネルギー伝達効率が低いため、かなり低温の中性粒子およびイオン成分を示します。
