スクラッチドライブアクチュエータ

スクラッチドライブアクチュエータ（SDA）は、電気エネルギーを1次元の動きに変換する微小電気機械システムデバイスです。 ^{[1] [2]}

アクチュエータコンポーネントは、使用される製造方法に応じて、さまざまな形状とサイズになります。これは「L」として視覚化できます。小さい方の端は「ブッシング」と呼ばれます。

アクチュエータは、薄い絶縁誘電体層が上部にある基板の上にあります。アクチュエータと基板の間に電圧が加えられ、その結果生じる電位がアクチュエータ本体を下方に引っ張ります。これが起こると、ブラシがわずかに前方に押し出され、エネルギーが歪んだアクチュエータに蓄えられます。電圧が除去されると、アクチュエータは元の形に戻りますが、ブッシングは新しい位置に留まります。パルス電圧を印加すると、SDA を前方に移動させることができます。

電圧は通常、「テザー」によってアクチュエータに印加されます。これは、SDAが追従する剛性コネクタまたはレールで構成されます。^[3]

SDA のサイズは通常、μmスケールで測定されます。